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Pfeiffer Vacuum Compact Turbo TMH 262 N Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum Compact Turbo TMH 262 N Betriebsanleitung

Turbodrag pumpe

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Betriebsanleitung • Operating Instructions
Original-Betriebsanleitung
Compact Turbo™
TurboDrag Pumpe
TMH 262 N
TMU 262 N

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum Compact Turbo TMH 262 N

  • Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Compact Turbo™ TurboDrag Pumpe TMH 262 N TMU 262 N...
  • Seite 2 Anschlüsse an der Turbopumpe ......12 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen 15 Fernbedienung anschließen .
  • Seite 3 Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermit- telt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Be- schreibung erfolgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4 Zu dieser Anleitung Piktogramm Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang Definitionen mit einer Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwer- wiegenden Unfällen führen kann. Warnung vor der mit dem Symbol dargestellten Gefahr. Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit ei- ner Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwie- genden Unfällen führen kann.
  • Seite 5 HINWEIS Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausge- stattet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel "Zubehör".
  • Seite 6 • Einsetzen der Pumpen in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vib- rationen oder periodische Kräfte auf die Pumpe einwirken • Die Verwendung von Zubehör- oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt oder durch Pfeiffer Vacuum autorisiert wurde 3 Transport und Lagerung 3.1 Transport Transportbehältnis der Vakuumpumpen wiederverwenden.
  • Seite 7 Hochvakuumanwendungen Y = Beliebige Einbaulage D = "Drag"-Pumpe für den Feinva- N = Integriertes Netzteil kuumbereich Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum im- mer alle Angaben des Typenschildes bereithalten. D-35614 Asslar PM 063 265 -T Oil: TMH 261 P Mod.:...
  • Seite 8 Produktbeschreibung Sperrgasanschluss Hochvakuumflansch Antriebselektronik TC 100 Integriertes Netzteil Flutschraube 20a Vorvakuumflansch Netzanschluss X1 Anschlussstecker X3 Abb. 2: Ansicht CompactTurbo™ TMH 262 N Kühlung • Luftkühlung Die Antriebselektronik regelt die Rotordrehzahl bei Übertemperaturen automatisch herunter. Je nach Einsatzgebiet und Typ der CompactTurbo™ stehen verschiedene Kühlvarianten zur Auswahl.
  • Seite 9 • Die für den Einsatzbereich genannten Umgebungsbedingungen. • Die Temperatur des Hochvakuumflanschs darf 120 °C nicht überschreiten. • Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zulässig. • Das Einsetzen der Pumpen in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte auf die Pumpe einwirken, ist nicht zulässig.
  • Seite 10 • Der Betriebsmittelspeicher ist bei den Turbopumpen TMH/U 262 N bereits fertig montiert und gefüllt. Splitterschutz oder Die Installation eines Pfeiffer Vacuum Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutz- gitter im Hochvakuumflansch schützt die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Schutzgitter verwen- Rezipienten. Dadurch wird das Saugvermögen der Pumpe reduziert.
  • Seite 11 Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. installieren Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden aufgeführten Bauteile verwendet werden. Die Bauteile für die In- stallation der Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials beachten. HINWEIS Mögliche Beschädigung der Pumpe...
  • Seite 12 Im Anschluss das Drehmoment kontrollieren, da durch das Fließen des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann. 5.4 Anschlüsse an der Turbopumpe Der Anschluss von Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten und wahlweise zwei Zubehörgeräten ist mit der Anschlussbox TCS 010 möglich.
  • Seite 13 TCS 010 TCS 010 auf die Antriebselektronik stecken und befestigen. Vorvakuumseite an- Empfehlung: Als Vorvakuumpumpe eine trockenverdichtende Membranpumpe oder Drehschieberpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vor- schließen vakuumpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 mbar erzeugen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein.
  • Seite 14 Installation Pumpenunterteil Sperrgasanschluss Verschlussschraube O-Ring Sperrgasventil O-Ring 3b 3c Abb. 5: Sperrgasventil anschließen Verschlussschraube mit Dichtring aus dem Sperrgasanschluss der Turbopumpe herausschrauben. Sperrgasventil mit Dichtring in den Sperrgasanschluss einschrauben. Details zum Einstellen der Sperrgasmenge der entsprechenden Betriebsanlei- tung entnehmen. • Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50% der zulässigen Gaslast, ist zur Gewähr- leistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden.
  • Seite 15 Installation 5.5 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen USB/RS485-converter RS-232 TIC 001 RS-485 TC 100 TC 100 HPU 001 TC 100 + TCS 010 Abb. 6: Serielle Schnittstelle RS485 anschließen Über den Anschluss mit der Bezeichnung ”RS485“ an der Anschlussbox TCS 010 ist die Anbindung eines externen Bedienteils (DCU oder HPU 001) oder eines ex- ternen Rechners möglich.
  • Seite 16 Installation VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlags Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt. Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen. Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS485 aufzubauen. Alle Geräte mit RS485 D+ und RS485 D- am Bus anschließen. •...
  • Seite 17 Installation Pin Funktion Offen (low) Geschlossen (high) Standby ein: Pumpe wird auf 66 % der Nenndrehzahl gere- gelt. Reset: Durch Anlegen eines Standby / Reset Standby aus Pulses (T < 2 s) mit einer Amp- litude von 24 V kann eine Feh- lerquittierung vorgenommen werden.
  • Seite 18 Installation 5.7 Anschlussplan TC Externe Beschaltung TC 100 Remote/Local Remote/Local Zubehör 1 Zubehör 1 Zubehör 2 Flutventil Zubehör 2 Lüfter Relais Pumpstand Pumpstand Standby/Reset Standby/Reset 24 VDC* 24 VDC* Flutventil Lüfter Relais Zubehörausgang 1 24 VDC/max. 200 mA Zubehörausgang 1 Zubehörausgang 2 24 VDC/max.
  • Seite 19 Folgende Betriebsarten sind möglich: • Betrieb ohne Bedieneinheit • Betrieb über Fernbedienung • Betrieb über RS485 mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC 6.2 Inbetriebnahme Folgende Einstellungen sind werkseitig fest in der TC 100 programmiert. • Anlaufzeit: 8 min •...
  • Seite 20 Betrieb Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Dokumente beachten: • Betriebsanleitung DCU • Betriebsanleitung HPU 001 • Pumpenbetrieb mit DCU Betrieb mit Fernbe- Fernbedienung ist über den 15-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung ”X3“ an der TC 100 möglich. Die Eingänge 2 - 6 werden aktiviert, wenn man sie mit dienung +24 VDC* an Pin 7 (aktiv high) verbindet (siehe S.
  • Seite 21 Das Pumpen von Gasen mit der Molekülmasse ≥ 40 im falschem Gasmodus kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen Pfeiffer Vacuum kontaktieren. Hochlauf D-C = Gas mode «0» B-A = Gas mode «1»...
  • Seite 22 Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 mbar/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 mbar/s muss auf die Größe des Rezipienten abgestimmt werden. – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 verwenden. Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten.
  • Seite 23 HINWEIS Haftungsausschluss Für Schäden und Betriebsstörungen, die aufgrund unsachgemäß ausgeführter War- tung entstehen, übernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung für Personen- oder Materi- alschäden. Der Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt. 7.1 Wartungsintervalle und -zuständigkeiten • Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen.
  • Seite 24 Wartung / Austausch 7.2 Integriertes Netzteil austauschen Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Netzstecker vom Netzteil abziehen. Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen. Flanschöffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschließen. Anschlussstecker X3 von der Antriebselektronik abschrauben und abnehmen. Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen. Innensechskantschrauben 10e der Netzteilbefestigung herausschrauben.
  • Seite 25 Wartung / Austausch 7.3 Betriebsmittelspeicher ersetzen WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen. Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Pumpe können giftige Substanzen aus den gepumpten Medien enthalten. Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen. Sicherheitsda- tenblatt auf Anfrage oder unter www.pfeiffer-vacuum.net Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen bei Kontamination durch ent- sprechende Sicherheitsvorkehrungen verhindern.
  • Seite 26 Wartung / Austausch Standardvariante Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen. Flanschöffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschließen. Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen. Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E he- rausschrauben.
  • Seite 27 HINWEIS Filzscheibe im Schmiermittelspeicher Paket Die Filzscheibe im Betriebsmittelspeicher Paket ist nur für besondere Servicearbeiten notwendig und durch den Pfeiffer Vacuum Service auszutauschen. Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fusselfreien Tuch entfernen. Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden! Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Hilfe einer Pinzette einsetzen.
  • Seite 28 Wartung / Austausch 7.4 Antriebselektronik austauschen WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe Span- nungen > 50 V . Es besteht die Gefahr eines elektrischen Schlags beim Berühren eff. offener Kontakte an stromführenden Teilen. Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen.
  • Seite 29 Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verständigen. Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten. Betriebsmittelspeicher wechseln.
  • Seite 30 HPU möglich – Erdschluss der Versorgungsspan- Rote LED an der TC 100 blinkt Netzteilspannung überprüfen nung Netzteilspannung auf Erdschluss überprü- – Netzausfall Netzanschluss des Netzteils überprüfen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service verstän- digen.
  • Seite 31 Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Geräte werden grundsätz- lich nicht angenommen. "Schadstoffe" sind Stoffe und Verbindungen entsprechend der Gefahrstoff-Verordnung in der derzeit gültigen Fassung. Bei kontaminierten Pumpen oder bei Fehlen der Unbedenklichkeitserklärung führt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch. Einsendung kontaminierter Pumpen oder Geräte Pumpe durch Spülen mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren.
  • Seite 32 Ersatzteile TMH/U 262 N 11 Ersatzteile TMH/U 262 N Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge Verschlussdeckel M40 x 1 PM 003 619 Schmiermittelspeicher PM 063 265 -T incl. O-Ring incl. 8 x Porexstab (7a), O- Schmiermittelspeicher ("Y") PM 063 266 -T Ring, Filzscheibe Antriebselektronik TC 100 PM C01 692...
  • Seite 33 PF 144 020 Dämpfungskörper DN 100 ISO-K PM 006 459 -X Dämpfungskörper DN 100 CF-F PM 006 488 -X Pfeiffer Vacuum Protokoll RS232/RS485 PM 0488 BN Schnittstellenprotokoll TIC 001 Schnittstellenkonverter RS232 in RS485 PM 051 054 -T PM 0549 BN...
  • Seite 34 Technische Daten 13 Technische Daten Größe TMH 262 P N TMU 262 P N Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Anschlussflansch (Ausgang) DN 25 ISO-KF / G 1/4" DN 25 ISO-KF / G 1/4" Flutanschluss G 1/8" G 1/8'' Drehzahl ±2% 60000 1/min 60000 1/min...
  • Seite 35 Technische Daten 13.1 Maßbilder DN 25 ISO-KF / G1/4" DN 25 ISO-KF / G1/4" 94.5 94.5 DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Ø 138.5 Ø 138.5 Abb. 9: TMH 262 PN / TMH 262 YPN Abb. 10: TMU 262 PN / TMU 262 YPN...
  • Seite 36 Zusätzlich entspricht das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen der EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH/U 262 N Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale...
  • Seite 37 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...

Diese Anleitung auch für:

Compact turbo tmu 262 n