Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TMH 521
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TMH 521
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Compact Turbo TurboDrag Pumpe TMH 521 TMU 521...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Anschlüsse an der Turbopumpe ......14 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen 17 Fernbedienung anschließen . -
Seite 3: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermit- telt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Be- schreibung erfolgt nach den geltenden EU-Richtlinien. -
Seite 4: Anweisung Im Text
Zu dieser Anleitung Piktogramm Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang Definitionen mit einer Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwer- wiegenden Unfällen führen kann. Warnung vor der mit dem Symbol dargestellten Gefahr. Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit ei- ner Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwie- genden Unfällen führen kann. -
Seite 5: Sicherheit
HINWEIS Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausge- stattet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel "Zubehör". -
Seite 6: Nicht Bestimmungsgemäße Verwendung
Kräfte auf die Pumpe einwirken • Anschluss an Netzteile mit Erdung eines Pols der Gleichspannung • Die Verwendung von Zubehör- oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt oder durch Pfeiffer Vacuum autorisiert wurde. 3 Transport und Lagerung 3.1 Transport Transportbehältnis der Vakuumpumpen wiederverwenden. -
Seite 7: Produktbeschreibung
Die Pumpen TMH/U 521 bilden mit der Antriebselektronik TC 600 eine Einheit. Zur Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS oder DCU). Die Verwendung von anderen als den bestimmungsgemäß zugelassenen Netzteilen ist nur nach Absprache mit Pfeiffer Vacuum gestattet (Spe- zifikation der Netzteile auf Anfrage). -
Seite 8: Einsatzbereich
12 Flutschraube 15 Hochvakuumflansch 39 Vorvakuumflansch 98 Remotestecker Abb. 2: Ansicht CompactTurbo™ TMH 521 P HINWEIS Anschlusshinweise beachten! Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk für den "Remote-Betrieb" ausgelegt. Vor Betrieb mit DCU, HPU oder PC muss der 15-polige D-Sub Stecker (Remoteste- cker) von der TC 600 entfernt werden. -
Seite 9: Installation
• Die für den Einsatzbereich genannten Umgebungsbedingungen. • Die Temperatur des Hochvakuumflanschs darf 120 °C nicht überschreiten. • Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zulässig. • Das Einsetzen der Pumpen in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte auf die Pumpe einwirken, ist nicht zulässig. -
Seite 10: Splitterschutz Und Schutzgitter
Installation Splitterschutz und Die Installation eines Pfeiffer Vacuum Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutz- gitter im Hochvakuumflansch schützt die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Schutzgitter Rezipienten. Dadurch wird das Saugvermögen der Pumpe reduziert. Reduziertes Saugvermögen in % Splitterschutz DN 100 Splitterschutz DN 160... -
Seite 11: Installation Von Iso-K Flansch Mit Iso-K Flansch
Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. installieren Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden aufgeführten Bauteile verwendet werden. Die Bauteile für die In- stallation der Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials beachten. GEFAHR Lebensgefahr - Unzulässige Befestigung... - Seite 12 Installation Anschluss-Nennweite Benennung Bestell-Nr. Zentrierring (beschichtet) PM 016 210-U Zentrierring (beschichtet) mit PM 016 211-U Splitterschutz Zentrierring (beschichtet) mit PM 016 212-U Schutzgitter DN 100 ISO-F 6kt-Schraube (8 Stück verwen- N 3024 428 1C den) Stiftschraube mit Mutter (je 8 N 3169 428 2C Stück, bei Durchsteckbohrun- N 3433 047 8P...
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Seite 13: Installation Von Cf-F- Flanschen
Installation Installation von CF-F- Flanschen HINWEIS Erhaltung der Dichtfähigkeit Folgende Hinweise beachten, um die Dichtfähigkeit zu erhalten: Die Dichtung nur mit Handschuhen anfassen. Auf unbeschädigte Dichtlippen achten. Die Verbindungsarten für die Installation CF-F- mit CF-F-Flansch sind "Stiftschraube und Sackloch" sowie "6kt-Schraube und Durchsteckbohrung". Folgende Elemente werden benötigt: •... -
Seite 14: Anschlüsse An Der Turbopumpe
FV PUMP Abb. 5: Anschlussbezeichnungen an Turbopumpen mit Antriebselektronik TC 600 Vorvakuumseite an- Empfehlung: Als Vorvakuumpumpe eine trockenverdichtende Membranpumpe oder Drehschieberpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vor- schließen vakuumpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 mbar erzeugen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase... -
Seite 15: Gehäuseheizung
Installation • Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 mbar) und/oder Betrieb mit Gaslasten muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden. • Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden. Luftkühlung für den entsprechenden Pumpentyp gemäß der Betriebsanleitung des Zubehörs anschließen. Wasserkühlung für den entsprechenden Pumpentyp gemäß der Betriebsanlei- tung des Zubehörs anschließen. -
Seite 16: Antriebselektronik An Netzteil Anschließen
Einheit. Für die Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile Netzteil anschließen verwendet werden (z.B.TPS 300 oder DCU 300). Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum und Abgleich mit der gültigen Spezifikation (Spe- zifikation der Netzteile auf Anfrage). WARNUNG Gefahr des elektrischem Schlags Bei Defekt können die mit dem Netzteil verbundenen Teile unter Spannung stehen. -
Seite 17: Pfeiffer Vacuum Anzeige- Und Bediengeräte Oder Pc Anschließen
Nach Anlegen der Betriebsspannung führt die TC 600 einen Selbsttest zur Überprü- fung der Versorgungsspannung durch. Die Versorgungsspannung für die Tur- bomolekularpumpen TMH/U 521 beträgt 72 VDC ± 5% gemäß Norm EN 60 742. 5.5 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen HINWEIS Anschlusshinweise beachten! Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk für den "Remote-Betrieb"... -
Seite 18: Vernetzung Über Den Anschluss Rs485
Installation Bezeichnung Wert Startbits Stopbits 1..2 Belegung nicht angeschlossen +24 V Ausgang ≤ 210 mA belastbar nicht angeschlossen 1 ..8 nicht angeschlossen RS485: D+ RS485: D- nicht angeschlossen Vernetzung über den TIC 001/ Anschluss RS485 USB/RS485-converter RS 485 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlags Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt. - Seite 19 Installation Die Abschirmung auf der Steckerseite der TC 600 mit dem TC-Gehäuse verbin- den. Pinbelegung und Bezugsspannung Funktion des An- Pin Funktion schluss "Remote" +24 V Bezugsspannung für alle Remote Ein- und Ausgänge Masse (Ground) Bezugsmasse für alle Remote Ein- und Ausgänge Eingänge Pin Funktion Offen (low)
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Seite 20: Anschlussplan Tc
Installation 5.7 Anschlussplan TC TC 600 TC 750 n.c. +24 VDC* / max. 200 mA (Versorgungsspannung DCU) n.c. n.c. RS 485 RS 485+/ (DO/RI) GND* (Masseanschluss, DCU) RS 485- / (DO/RI) n.c. +24 VDC*/max. 50 mA Flutfreigabe Motor TMP Kontaktstrom: Pumpstand max. -
Seite 21: Betrieb
6.2 Betriebsarten Folgende Betriebsarten sind möglich: • Betrieb ohne Bedieneinheit • Betrieb über Fernbedienung • Betrieb über RS485 mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC 6.3 Funktionsbeschreibung HINWEIS Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausge- stattet werden. -
Seite 22: Betrieb Ohne Bedieneinheit
Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil oder am DCU 300 einschalten. DCU oder HPU Einstellungen sind über die RS485 der TC 600 mit DCU, HPU oder PC möglich. Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Dokumente beachten: • Betriebsanleitung DCU •... - Seite 23 Betrieb Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung ein- und nach Unter- schreitung wieder abgeschaltet. Optional kann hier ein Sperrgasventil gesteuert werden. Reset Der Eingang Heizung ist mit einer Doppelfunktion beleg (siehe S. 18, Kap. 5.6), Punkt 5 ”Reset“). Standby Die Turbopumpe kann mit der Einrichtung ”Standby“...
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Seite 24: Überwachung Des Betriebszustands
Das Pumpen von Gasen mit der Molekülmasse ≥ 40 im falschem Gas Mode kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gas Mode achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen Pfeiffer Vacuum kontaktieren. Hochlauf D-C = Gas mode «0»... -
Seite 25: Ausschalten Und Fluten
Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 mbar/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 mbar/s muss auf die Größe des Rezipienten abgestimmt werden. – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 verwenden. Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten. -
Seite 26: Wartung / Austausch
HINWEIS Haftungsausschluss Für Schäden und Betriebsstörungen, die aufgrund unsachgemäß ausgeführter War- tung entstehen, übernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung für Personen- oder Materi- alschäden. Der Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt. 7.1 Wartungsintervalle und -zuständigkeiten • Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. - Seite 27 Wartung / Austausch Standardvariante Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen. Flanschöffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschließen. Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen. Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit dem Spezialwerkzeug E herausschrauben. Auf O-Ring achten. Schmiermittelspeicher mit Hilfe einer Pinzette herausheben.
- Seite 28 HINWEIS Filzscheibe im Schmiermittelspeicher Paket Die Filzscheibe im Betriebsmittelspeicher Paket ist nur für besondere Servicearbeiten notwendig und durch den Pfeiffer Vacuum Service auszutauschen. Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fusselfreien Tuch entfernen. Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden! Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Hilfe einer Pinzette einsetzen.
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Seite 29: Antriebselektronik Austauschen
Wartung / Austausch 7.3 Antriebselektronik austauschen WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe Span- nungen > 50 V . Es besteht die Gefahr eines elektrischen Schlags beim Berühren eff. offener Kontakte an stromführenden Teilen. Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen. -
Seite 30: Außerbetriebnahme
Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verständigen. Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten. Betriebsmittelspeicher wechseln. -
Seite 31: Störungen
HPU möglich – Erdschluss der Versorgungsspan- Rote LED an der TC 600 blinkt Netzteilspannung überprüfen nung Netzteilspannung auf Erdschluss überprü- – Netzausfall Netzanschluss des Netzteils überprüfen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service ver- ständigen. -
Seite 32: Service
Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Geräte werden grundsätz- lich nicht angenommen. "Schadstoffe" sind Stoffe und Verbindungen entsprechend der Gefahrstoff-Verordnung in der derzeit gültigen Fassung. Bei kontaminierten Pumpen oder bei Fehlen der Unbedenklichkeitserklärung führt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch. Einsendung kontaminierter Pumpen oder Geräte Pumpe durch Spülen mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren. -
Seite 33: Ersatzteile Tmh/U 521
Ersatzteile TMH/U 521 11 Ersatzteile TMH/U 521 Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge Antriebselektronik TC 600 PM C01 720 Verschlussdeckel M40 x 1 PM 003 619 A Schmiermittelspeicher PM 063 265 -T incl. O-Ring incl. 8 x Porexstab (34a), Schmiermittelspeicher ("Y") PM 063 266 -T O-Ring, Filzscheibe... -
Seite 34: Zubehör
Dämpfungskörper DN 160 CF-F PM 006 493 -X PWM-Box Drehzahlreglung 15 - 30 V DC PM 051 028 -U PM 0563 BN Pfeiffer Vacuum Protokoll RS232/RS485 PM 0488 BN Schnittstellenprotokoll TIC 001 Schnittstellenkonverter RS232 in RS485 PM 051 054 -T... -
Seite 35: Technische Daten
Technische Daten 13 Technische Daten DN 100 TMH 521 P TMH 521 P TMU 521 P TMH 521 YP TMH 521 YP TMU 521 YP Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F Anschlussflansch (Ausgang) DN 25 ISO-KF / G 1/4"... - Seite 36 Technische Daten DN 160 TMH 521 P TMH 521 P TMU 521 P TMH 521 YP TMH 521 YP TMU 521 YP Anschlussflansch (Eingang) DN 160 ISO-K DN 160 ISO-F DN 160 CF-F Anschlussflansch (Ausgang) DN 25 ISO-KF / G 1/4"...
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Seite 37: Maßbilder
Technische Daten 13.1 Maßbilder DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF 122.7 122.7 DN 160 ISO-K DN 100 ISO-K Ø 208 Ø 208 DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF 122.7 122.7 DN 100 CF-F DN 160 CF-F Ø 208 Ø 208 DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF 122.7... -
Seite 38: Konformitätserklärung
Zusätzlich entspricht das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen der EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 521 / TMU 521 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale... -
Seite 39: Herstellererklärung
Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...