Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TurboDrag TMH 071
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TurboDrag TMH 071
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung TurboDrag Pumpe mit Antriebselektronik TC 600 TMH 071 TMU 071...
- Seite 2 3.7. Sperrgasventil anschließen......10 Herstellererklärung .... (letzte Seite) 3.8. Antriebselektronik TC 600 anschließen ..11 3.9. Netzteil installieren ......... 11 3.10. Pfeiffer Vacuum Anzeige- und ......12 Bediengeräte oder PC installieren 3.11. Anschluss der RS 485........12 3.12. Fernbedienung anschließen......13 3.13.
- Seite 3 1. Wichtig für Ihre Sicherheit ☞ Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung. 1.1. Zu Ihrer Orientierung ☞ Informieren Sie sich über: Anweisung im Text – Gefahren, die von der Pumpe ausgehen, ➡ Arbeitsanweisung: Hier müssen Sie etwas tun. –...
- Seite 4 2. Kennenlernen der Pumpen TMH 071 / TMU 071 Umgebungsbedingungen 2.1. Hauptmerkmale Die Turbopumpe ist unter Einhaltung folgender Umgebungs- Die Turbopumpen TMH 071 / TMU 071 mit Antriebselektronik bedingungen zu installieren: TC 600 bilden eine komplette Einheit. Die Spannungs- versorgung erfolgt über ein Netzteil (siehe Zubehör). Aufstellungsort: wettergeschützt (Innenräume)
- Seite 5 Abkürzungen auf dem Typenschild der Turbopumpe Abschnitt 3.3. angeschlossen sein. Zusatz ” ” P P ” ” : Sperrgasanschluss zur Verhinderung des Ein- – Zum Betrieb des TC 600 dürfen nur Pfeiffer Vacuum dringens aggressiver Gase in den Motor- und Netzteile verwendet werden. Verwendung anderer Lagerraum (Sperrgasventil siehe “Zubehör”).
- Seite 6 Anschluss über Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörper aufgenommen werden müssen. Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder über einen Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörper (siehe Kap. 11. Zubehör) an den Rezipienten angeflanscht werden. – Die maximal zulässige Rotortemperatur der Pumpe ist Bei Einsatz eines Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörpers müssen 80 °C.
- Seite 7 Abreißen der Turbopumpe kommen. Pratze Zentrierring, beschichtet Die Bauteile für die Installation sind Spezialausführungen Splitterschutz von Pfeiffer Vacuum. Schutzgitter – Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm 2 des Flanschmaterials ist zu beachten. Die Installation ist wie folgt durchzuführen: D oder E ISO-K Flansch mit ISO-K Flansch Für die Installation stehen folgende Bauteile zur Verfügung:...
- Seite 8 CF-F-Flansch S S e e c c h h s s k k a a n n t t s s c c h h r r a a u u b b e e u u n n d d D D u u r r c c h h s s t t e e c c k k b b o o h h r r u u n n g g Die Verbindungsarten für die Installation CF-F- mit CF-F- 6kt-Schraube und Durchsteckbohrung Flansch sind "Stiftschraube und Sackloch"...
- Seite 9 11 Rezipient bei verstärkter Konvektionskühlung < 0,1 mbar. Empfehlung: Ölfreie Membranpumpe oder Drehschiebervakuumpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum-Programm (Einbaulage Turbopumpe beachten, siehe Kap. 3.2.). Vorvakuumpumpe anschließen Alle Verbindungen der Vorvakuumleitung: Mit üblichen Klein- flansch-Bauteilen oder Schlauchverschraubungen. 90° Gasausstoß der Vorpumpe sicher ableiten!
- Seite 10 3.5. Flutventil anschließen Die Temperatur des Hochvakuumflansches darf ACHTUNG 120 °C nicht überschreiten (weitere Hinweise Das Flutventil TVF 005 (Zubehör) dient zum automatisches siehe unter Kap. 3.1.). Fluten bei Abschaltung und Stromausfall. Montage des Flutventils ➡ Flutschraube aus dem Flutanschluss der Turbopumpe Beim Ausheizen der Turbopumpe und des herausschrauben.
- Seite 11 3.8. Antriebselektronik TC 600 Nach Anlegen der Betriebsspannung führt das ACHTUNG TC 600 einen Selbsttest zur Überprüfung der anschließen Versorgungsspannung durch. Die Versorgungs- Turbopumpe und Antriebselektronik TC 600 sind spannung für die Turbomolekularpumpen HINWEIS immer fest miteinander verbunden und bilden TMH 071 / TMU 071 beträgt 24 VDC ±5% eine Einheit.
- Seite 12 3.10. Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Der Anschluss einer RS 232 (z.B. PC) ist über HINWEIS den Pegelumsetzer TIC 001 möglich (siehe Bediengeräte oder PC installieren Zubehör). Über den Anschluss mit der Bezeichnung ”RS 485“ am TC 600 ist mit einem geschirmten 8-poligen Modular-Verbindungs-...
- Seite 13 3.12. Fernbedienung anschließen Pinbelegung Remotestecker Fernbedienungsmöglichkeiten für verschiedene Funktionen sind über den Anschluss mit der Bezeichnung ”REMOTE“ am TC 600 über 15-poligen D-Sub-Stecker möglich. Es ist abgeschirmtes Kabel zu verwenden. Die Abschirmung ist auf der Steckerseite des TC 600 mit dem TC-Gehäuse zu verbinden.
- Seite 14 3.13. Anschlussplan TC 600 TC 750 n.c. +24 VDC* / max. 200 mA (Versorgungsspannung DCU) n.c. n.c. RS 485 RS 485+/ (DO/RI) GND* (Masseanschluss, DCU) RS 485- / (DO/RI) n.c. +24 VDC*/max. 50 mA Flutfreigabe Motor TMP Kontaktstrom: Pumpstand max. 6 mA / Kontakt Heizung/Reset (opt.
- Seite 15 4. Betrieb 4.1. Vor dem Einschalten 4.3. Betrieb über Fernbedienung Fernbedienung ist über den 15-poligen D-Sub-Stecker mit der Die Kapitel 4.1. bis 4.3. beziehen sich nur auf den Betrieb der Bezeichnung „REMOTE“ der TC 600 möglich (siehe Kap. 3.12. Pumpe im Auslieferungszustand ohne Anzeige-und Bediengerät. und 3.13.).
- Seite 16 Heizung/Reset Der Anschluss eines Relais erfolgt zwischen Pin 10 (Masse) und dem jeweiligen Schaltausgang Pin 8 oder Pin 9 (siehe Heizung (Option) 3.13. Anschlussplan). Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung ein- und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet. Analogausgang Reset Über den Analogausgang kann eine drehzahlproportionale Der Eingang Heizung ist mit einer Doppelfunktion belegt Spannung (0 - 10 VDC entspricht 0 - 100% *f end ) abgegriffen (siehe unter 3.12., Punkt 5 ”Reset“).
- Seite 17 Zweiter Schritt: Fluten mit einem beliebig großen Flutventil. Der Flutquerschnitt für die Flutrate von 15 mbar/s muss auf die Rezipientgröße abgestimmt werden. Bei kleinen Rezipi- enten kann das Pfeiffer Vacuum-Flutventil TVF 005 für das Fluten der ersten Stufe benutzt werden. ➡ Bei Wasserkühlung: Wasserzufuhr absperren.
- Seite 18 5. Überwachung des Betriebszustandes 5.1. Betriebsanzeige über LED 5.2. Temperaturüberwachung der Turbopumpe Über zwei in der Frontplatte des TC 600 eingebaute LED’s ist es möglich auf bestimmte Betriebszustände der Turbopumpe Bei unzulässiger Motortemperatur oder unzulässig hoher und des TC 600 zu schließen. Gehäusetemperatur wird der Motorstrom reduziert.
- Seite 19 • Bei Parameter 777 den Wert 1500 Hz (Parameter 777) eingeben (siehe Anleitung PM 0547 BN “Pumpenbetrieb mit DCU”). Ist kein DCU/HPU vorhanden, Pfeiffer Vacuum- Service verständigen. 1) Ist kein DCU oder HPU vorhanden, zum Überprüfen der Fehlerursache Pfeiffer Vacuum-Service verständigen.
- Seite 20 40a Innensechskantschraube M4 x 16 Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt. Das Lager der Turbopumpe ist mindestens alle 3 Jahre zu wechseln (Pfeiffer Vacuum Service verständigen). Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen: Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum-Service abklären. Die Antriebselektronik TC 600 und den Schmiermittelspeicher können Sie selbst austauschen.
- Seite 21 ➡ Schmiermittelspeicher 92 mit Hilfe von zwei Schrauben- 7.2. Schmiermittelspeicher ersetzen drehern heraushebeln. Schmiermittelspeicher mindestens alle 3 Jahre austauschen. Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen: Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum-Service abklären. Die Vorgehensweise beim Wechsel des ACHTUNG Schmiermittelspeichers ist abhängig vom Pumpentyp. Unbedingt die Bezeichnung auf...
- Seite 22 Y-Version (Einbau in allen Lagen) ➡ Porex-Stäbe 89 (8 Stück) mit Pinzette herausnehmen. Gilt nur für Pumpentypen mit einem “Y Y ” als ACHTUNG Eigenschaftsbezeichnung auf dem Typenschild. Schmiermittelspeicher 92 und Porex-Stäbe 89 WARNUNG können giftige Substanzen aus den gepumpten Medien enthalten.
- Seite 23 ➡ Pumpe durch Spülen mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren. ➡ Alle Öffnungen luftdicht verschließen. Wartung und Reparatur durch Pfeiffer Vacuum Service ➡ Pumpe oder Gerät in geeignete Schutzfolie einschweißen. Für eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende ➡ Pumpe/Gerät nur in geeigneten, stabilen Transportcontai- Schritte notwendig: nern einschicken.
- Seite 24 9. Technische Daten Größe Einheit TMH 071 P TMH 071 P TMU 071 P TMH 071 Y P TMH 071 Y P TMU 071 Y P Anschlussnennweiten: Eingang DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K DN 63 CF-F Ausgang DN 16 ISO-KF/G 1/4“ DN 16 ISO-KF/G 1/4“...
- Seite 25 9.1. Maßbild TMH 071 / TMU 071...
- Seite 26 10. Ersatzteile Pos. Benennung Stück Größe Teilenummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH 071 / TMU 071 Gummifuß P 3695 700 ZD Antriebselektronik TC 600 PM C01 720 Verschlussdeckel PM 083 021 -X O-Ring (Verschlussdeckel) 68 x 3 P 4070 972 PV Schmiermittelspeicher (Standardversion) PM 103 593 -T incl.
- Seite 27 11. Zubehör B B e e n n e e n n n n u u n n g g G G r r ö ö ß ß e e T T e e i i l l e e n n u u m m m m e e r r B B e e m m e e r r k k u u n n g g / / z z u u g g e e h h ö...
- Seite 28 Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung bei nicht vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 29 Zusätzlich entspricht das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen der EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 071 / TMU 071 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale...
- Seite 30 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...