Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TMH 071 Y P
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TMH 071 Y P
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Turbomolekular-Drag-Pumpe mit Antriebselektronik TC 100 TMH 071 Y P TMU 071 Y P...
- Seite 2 1.2. Piktogramm-Definition ........3 5.2. Temperaturüberwachung der Turbopumpe..19 Kennenlernen der Pumpen Was tun bei Störungen?....20 TMH 071 Y P/TMU 071 Y P .... 4 2.1. Hauptmerkmale ..........4 Wartung ......... 21 Bestimmungsgemäße Verwendung....5 7.1. Austausch der Antriebselektronik TC 100 ..21 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung..
- Seite 3 1. Wichtig für Ihre Sicherheit ☞ Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung. 1.1. Zu Ihrer Orientierung ☞ Informieren Sie sich über: A A n n w w e e i i s s u u n n g g i i m m T T e e x x t t –...
- Seite 4 2. Kennenlernen der Pumpen 2.1. Hauptmerkmale Umgebungsbedingungen Die Turbopumpe ist unter Einhaltung folgender Umgebungs- Die Turbopumpen TMH 071 Y P/TMU 071 Y P mit TC 100 bilden bedingungen zu installieren: eine Einheit. Die Spannungsversorgung erfolgt über ein Netz- teil (siehe Zubehör).
- Seite 5 Bestimmungsgemäße Verwendung 2.2. Unterschiede zwischen den Pumpen- typen – Die Turbomolekularpumpe TMH 071 Y P/TMU 071 Y P darf nur zur Vakuumerzeugung eingesetzt werden. Merkmal TMH 071 Y P TMU 071 Y P – Mit den Turbopumpen dürfen nur solche Medien gepumpt werden, gegen die sie chemisch beständig sind.
- Seite 6 – Wird die Pumpe ausgeheizt, müssen die Heizmanschette und der Pumpenkörper gegen Berührung geschützt werden. – Die Bodenbefestigung der Turbopumpe ist nur nach Verwendung von Pfeiffer Vacuum Splitterschutz oder Rücksprache mit dem Hersteller zulässig. Schutzgitter – Das Anschließen von wahlweise zwei Zubehörgeräten ist Die Installation eines Zentrierringes mit Splitterschutz oder mit der Anschlussbox TCS 010 (siehe Kap.
- Seite 7 Anschluss über Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörper ISO-K Flansch mit ISO-F Flansch Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder über einen Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörper (siehe Kap. 11. Zubehör) Bei einer Befestigung der Pumpen mit ISO-K WARNUNG an den Rezipienten angeflanscht werden. Flansch an einen Rezipienten mit ISO-F Flansch kann es zu einem Verdrehen am Flansch im Bei Einsatz eines Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörpers...
- Seite 8 CF-F-Flansch 6 6 k k t t - - S S c c h h r r a a u u b b e e u u n n d d D D u u r r c c h h s s t t e e c c k k b b o o h h r r u u n n g g ➡...
- Seite 9 Ölfreie Membranpumpe oder Bei waagerechter Montage der Turbopumpe und ölgedichte- Drehschiebervakuumpumpen aus dem ter Vorvakuumpumpe (z.B. Drehschieberpumpe) sollte der Pfeiffer Vacuum-Programm (Einbaulage Vorvakuumflansch der Turbopumpe nach unten weisen Turbopumpe beachten, siehe Kap. 3.2.). (Abweichung max. ± 20°). Andernfalls kann die Turbopumpe durch rückströmendes Betriebsmittel aus der...
- Seite 10 3.4. Kühlung anschließen 3.6. Gehäuseheizung anschließen Die Turbopumpen TMH 071 Y P/TMU 071 Y P sind wahlweise Um den Enddruck schneller zu erreichen, können Turbopum- mit verstärkter Konvektionskühlung, Luft- oder pe und Rezipient ausgeheizt werden. Wasserkühlung zu versehen. Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (>...
- Seite 11 3.7. Sperrgasventil anschließen Zum Schutz der Turbopumpe, insbesondere bei korrosiven und staubbehafteten Prozessen, ist es erforderlich, diese mit Sperrgas zu betreiben. Auch bei nichtkorrosiven Prozessen ist Sperrgas ab 50 % der Maximalen Gaslast zu verwenden, um die Rotorkühlung zu gewährleisten. Der Anschluss erfolgt über ein Sperrgasventil 66 (siehe Kap.
- Seite 12 3.8. Antriebselektronik TC 100 3.9. Netzteil installieren anschließen Zur Spannungsversorgung dürfen nur ACHTUNG Pfeiffer Vacuum Netzteile (Zubehör) verwendet werden. Verwendung anderer Netzteile nur in Turbopumpe und Antriebselektronik TC 100 sind HINWEIS Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit immer fest miteinander verbunden und bilden der gültigen Spezifikation (Spezifikation der...
- Seite 13 3.11. Fernbedienung anschließen Fernbedienungsmöglichkeiten für verschiedene Funktionen sind über den Anschlussstecker X3 (Pin 2 - Pin 6) an TC 100 möglich. Es ist abgeschirmtes Kabel zu verwenden. Die Abschirmung ist auf der Steckerseite der Antriebselektronik TC 100 mit der Metallkappe des Steckers zu verbinden. Die Eingänge 2-6 werden aktiviert, indem man sie mit +24 VDC* an Pin 7 (aktiv high) verbindet (siehe 3.13.
- Seite 14 3.12. Serielle Schnittstelle RS 485 Anschluss der RS 485 anschließen Anschluss an ein festes Bussystem: Der Anschluss eines Anzeige- und Bediengerätes DCU 001, ➡ Alle Geräte mit D+ (Pin 13 / X3) und D- (Pin 14 / X3) am Bus DCU 100 oder HPU 001 ist über die Anschlussbox TCS 010 anschließen.
- Seite 15 3.13. Anschlussplan...
- Seite 16 4. Betrieb 4.1. Vor dem Einschalten 4.3. Betrieb über Fernbedienung (siehe Tabelle unter 3.11. und Anschlussplan unter 3.13.) Die Kap. 4.1. bis 4.3. beziehen sich nur auf den Betrieb der Fernbedienungsmöglichkeiten für verschiedene Funktionen Pumpe im Auslieferungszustand ohne Anzeige-und Bediengerät. sind über den Anschlussstecker X3 (Pin 2 - Pin 6) an TC 100 möglich.
- Seite 17 Schaltausgänge Die Maximalleistung ist gasartabhängig. Um das Leistungsvermögen der Pumpe bei jeder Gasart voll ( ( P P i i n n 8 8 / / X X 3 3 u u n n d d P P i i n n 9 9 / / X X 3 3 ) ) auszuschöpfen, stehen zwei Kennlinien zur Verfügung: Die Schaltausgänge 1 und 2 können mit maximal 24 V / 50 mA pro Ausgang belastet werden.
- Seite 18 Vorvakuumflansch evakuieren. die Rezipientgröße abgestimmt werden. Bei kleinen Rezipi- ➡ Turbopumpe über Flutanschluss mit trockener Luft oder enten kann das Pfeiffer Vacuum-Flutventil TVF 005 für das Stickstoff fluten. ➡ Vorvakuum- und Flutanschluss mit Blindflanschen Fluten der ersten Stufe benutzt werden.
- Seite 19 5. Überwachung des Betriebszustandes 5.2. Temperaturüberwachung der 5.1. Betriebsanzeige über LED Turbopumpe Über zwei in der Frontplatte des TC 100 eingebaute LEDs ist es möglich, auf bestimmte Betriebszustände der Turbopumpe Bei unzulässiger Motortemperatur oder unzulässig hoher und der Antriebselektronik TC 100 zu schließen. Gehäusetemperatur wird der Motorstrom reduziert.
- Seite 20 • Falsche Einstellung Solldrehzahl • Bei Parameter 777 den Wert 1500 Hz (Parameter 777) eingeben (siehe Anleitung PM 0547 BN “Pumpenbetrieb mit DCU”). Ist kein DCU/HPU vorhanden, Pfeiffer Vacuum- Service verständigen. 1) Ist kein DCU/HPU vorhanden, zum Überprüfen der Fehlerursache Pfeiffer Vacuum-Service verständigen.
- Seite 21 Personen- oder Materialschäden und der Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt. Das Lager der Turbopumpe ist mindestens alle 3 Jahre zu wechseln (Pfeiffer Vacuum Service verständigen). Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen: Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum-Service abklären. Das Antriebselektronik TC 100 und den Schmiermittelspeicher können Sie selbst austauschen.
- Seite 22 7.2. Schmiermittelspeicher ersetzen Schmiermittelspeicher mindestens alle 3 Jahre austauschen. Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen: Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum-Service abklären. ➡ Turbopumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten (siehe Kapitel 4.5.) und gegebenenfalls abkühlen lassen. ➡ Turbopumpe, wenn erforderlich, aus der Anlage ausbauen.
- Seite 23 ➡ Vollständig ausgefüllte Kopie dem Gerät beifügen; zusätz- liches Exemplar direkt an den zuständigen Pfeiffer Vacuum- Service schicken. Bei allen Fragen oder Unklarheiten bezüglich Kontaminierung wenden Sie sich bitte an die nächste Pfeiffer Vacuum-Vertre- tung.
- Seite 24 9. Technische Daten G G r r ö ö ß ß e e E E i i n n h h e e i i t t T T M M H H 0 0 7 7 1 1 Y Y P P T T M M H H 0 0 7 7 1 1 Y Y P P T T M M U U 0 0 7 7 1 1 Y Y P P Anschlußnennweiten:...
- Seite 25 9.1. Maßbild TMH 071 Y P / TMU 071 Y P...
- Seite 26 10. Ersatzteile Pos. Benennung Stück Größe Nummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH/TMU 071 Y P Antriebselektronik TC 100 PM C01 692 A siehe Kap. 7.1 Verschlussdeckel PM 083 021 -X O-Ring 68x3 P 4070 972 PP Schmiermittelspeicher PM 103 794 -T siehe Kap.
- Seite 27 11.Zubehör B B e e n n e e n n n n u u n n g g G G r r ö ö ß ß e e N N u u m m m m e e r r B B e e m m e e r r k k u u n n g g / / B B e e s s t t e e l l l l m m e e n n g g e e z z u u g g e e h h ö...
- Seite 28 Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung bei nicht vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 29 EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 071 Y P / TMU 071 Y P Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale...
- Seite 30 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...