Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TPH 1600
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TPH 1600
- Seite 1 Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d‘emploi TPH 1600 / TPU 1600 Turbomolekularpumpe für die Korrosiv-Gas-Technik Turbomolecular Pump for Corrsosive Gas Processes Pompe turbomoléculaire pour corrosif gaz processus PM 800 302 BN/A (9403)
- Seite 2 Inhalt Contents Table des matières Allgemeines General Généralités Wichtige Hinweise Important Information Indications importantes Sicherheitsinstruktionen Safety Instructions Instructions de sécurité 1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbei- 1.2.1 Working with Turbomolecular 1.2.1 Instructions de sécurité pour le ten mit der Turbomolekular- Pumps; Safety Information travail avec la pompe turbo pumpe Product Description...
- Seite 3 Instandhaltung Maintenance Entretien Reinigung der Turbopumpe Cleaning the Turbo Pump Nettoyage de la pompe turbo 7.1.1 Reinigung der Turbopumpe im 7.1.1 Cleaning the Turbo Pump in fully 7.1.1 Nettoyage de la pompe turbo unzerlegten Zustand assembled Condition sans démontage 7.1.2 Reinigung und Lagerwechsel der 7.1.2 Cleaning the Pump Fluid Pump, 7.1.2 Nettoyage et changement des Betriebsmittelpumpe...
- Seite 4 Notizen / Notes...
- Seite 5 KURZANWEISUNG ABBREVIATED INSTRUCTIONS INSTRUCTIONS ABREGEES für pour Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps les pompes turbomoléculaires TPH/TPU 1600 for Corrosive Gas Processes TPH/TPU 1600 pour la techni- für Korrosiv-Gas-Technik TPH/TPU 1600 que de gaz corrosif 1 Hochvakuumflansch 2 Vorvakuumflansch 8 Kühlwasseranschluß 14 Flutanschluß 20 Sperrgasventil 30 Betriebsmittelpumpe 38 Betriebsmittel-Einfüllschraube...
- Seite 6 BETRIEB OPERATION FONCTIONNEMENT Turbopumpe Ein-Auschalten: Turbo pump switching ON and OFF: Mise en marche/à l’arrêt de la pompe turbo: (siehe 6.1 - 6.4*) (voir 6.1 - 6.4*) (see 6.1 - 6.4*) Vor dem ersten Einschalten: Avant la première mise en marche: Before switching on for the first time: –...
- Seite 7 Betriebsanweisung Operating Instructions Instructions de service für pour Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps les pompes turbomoléculaires TPH/TPU 1600 TPH/TPU 1600 TPH/TPU 1600 für die Korrosiv-Gas Technik for Corrosive Gas Processes pour la technique de gaz corrosif 1 Allgemeines 1 General 1 Généralités 1.1 Wichtige Hinweise 1.1 Important Information 1.1 Indications importantes...
- Seite 8 – Sie haben die Möglichkeit, die Gerä- – You can have the units decontamina- – Il vous est également loisible de ted by us (excepted are units with te durch uns dekontaminieren zu las- nous laisser le soin de décontaminer sen (ausgenommen sind radioaktiv radioactive contamination).
- Seite 9 1.2 Sicherheitsinstruktionen 1.2 Safety Instructions 1.2 Instructions de sécurité Die Turbopumpen sind nach dem neu- Turbomolecular pumps represent Les pompes turbo ont été construites esten Stand der Technik gebaut und state-of-the-art technology and are conformément à l’état le plus récent betriebssicher.
- Seite 10 1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbei- 1.2.1 Working with Turbomolecular 1.2.1 Instructions de sécurité pour le ten mit der Turbopumpe Pumps; Safety Information travail avec la pompe turbo – Turbopumpe niemals mit offenem – Never operate the pump with open – Ne jamais utiliser la pompe avec la HV-Flansch betreiben.
- Seite 11 TCP 380 or TCP 600 Electronic Drive la surveillance de la pompe turbo Unit. s’effectuent à l’électronique d’entraî- – TPH 1600: HV-Flansch DN 200 ISO-K nement TCP 380 ou TCP 600. oder DN 250 ISO-K, ohne Heizman- – TPH 1600: high vacuum flange schette.
- Seite 12 – Gegen zu hohe Temperaturen sind – The pumps are thermally protected – Les pompes sont thermiquement die Turbopumpen thermisch against excessive ambient tempera- protégées contre les températures geschützt. Bei unzulässigen Tempe- tures. If the temperatures of the bea- ambiantes trop élevées. En cas de raturen der Lager, des Antriebes rings, the drive or pump casing are température excessive des paliers,...
- Seite 13 2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Caractéristiques techniques Turbomolekularpumpe Turbomolecular pump Pompe turbomoléculaire TPH/TPU 1600 TPH/TPU 1600 Anschlußnennweite Nominal connection Diamètre nominal des of diameter raccords Eingang Inlet Entrée DN 200 ISO-K/ DN 250 ISO-K/ DN 200 CF-F DN 250 CF-F Ausgang Outlet Sortie...
- Seite 14 2.1 Maße 2.1 Dimensions 2.1 Encombrements Fig. 2 Hochvakuumanschluß Vorvakuumanschluß Flutanschluß Kühlwasseranschluß Anschluß Antriebselektronik Sperrgasanschluß High vacuum connection Fore vacuum connection Venting connection Cooling water connection Connection for electronic drive unit Sealing gas connection Raccordement vide élevé Raccordement de vide primaire Raccordement remise à...
- Seite 15 2.3 Enddruck 2.3 Ultimate Pressure 2.3 Pression finale Unter dem Enddruck von Turbopum- According to German Industrial Stan- On entend par pression finale des pen wird nach DIN 28 428 der Druck dards DIN 28 428, the ultimate pressu- pompes turbomoléculaires, la pressi- verstanden, der in einem Meßdom re of turbomolecular pumps is the on suivant DIN 28 428 qui sera atteinte...
- Seite 16 4 Installation 4 Installation 4 Installation 4.1 Hinweis zur Installation 4.1 Note concerning Installation 4.1 Remarque concernant l’instal- Vor Inbetriebnahme muß das The turbo pump must be filled with lation Betriebsmittel in die Turbopumpe ein- pump fluid before first time operati- Avant la mise en marche la pompe gefüllt werden.
- Seite 17 – Weicht die Einbaulage von der Verti- – If the installation attitude deviates – Si la position de montage s’écarte kalen ab, muß die Turbopumpe mit from the perpendicular, the turbo de la verticale, la pompe turbo doit dem Vorvakuumanschluß 2 nach pump must be installed with the fore être installée avec le raccord de vide unten eingebaut werden.
- Seite 18 4.3 Vorvakuumanschluß 4.3 Fore Vacuum Connection 4.3 Raccord de vide primaire Fig. 8 Fig. 8 Fig. 8 – Anschluß 2 an Turbopumpe: – Connection 2 on turbo pump: – Raccord 2 à la pompe turbo: DN 40 ISO-KF. DN 40 ISO-KF. DN 40 ISO-KF.
- Seite 19 In geschlossenen Kühlsystemen muß In closed cooling systems it must be Dans des systèmes de refroidissement damit gerechnet werden, daß ohne taken into account that in the absence fermés, il faut tenir compte que sans besondere Maßnahmen der Sauer- of special measures, the oxygen con- mesures spéciales, le quantité...
- Seite 20 Umlaufkühlung: Circulatory system cooling: Refroidissement par circulation: – Einsatz des Kühlaggregats 13 nur – Use cooling unit 13 only without dirt – Utilisation d’un système de refroidis- ohne Schmutzfänger; Kühlwasser- trap; cooling water monitor 12 in the sement 13 seulement sans collecteur wächter 12 im Rücklauf.
- Seite 21 Betriebsanweisungen/Operating instructions/Instructions de service TVF 012 - PM 800 126 BD,E,F TCP 600 - PM 800 234 BD,E,F TSF 012 - PM 800 168 BD,E,F TCF 103 - PM 800 196 BD,E,F TSF 010 - PM 800 032 BD,E,F TCS 304 - PM 800 192 BD,E,F TCP 380 - PM 800 188 BD,E,F TCS 130 - PM 800 205 BD,E,F 4.5.1 Montage der Fluteinrichtung...
- Seite 22 Fig. 11 20 Sperrgasventil 21 Schlauchnippel 22 Schlauchverbindung 23 Druckminderer 24 Gasflasche 20 Sealing gas valve 21 Hose nipple 22 Hose connection 23 Pressure reducer 24 Gas cylinder 20 Vanne de gaz blocage 21 Collier de jonction 22 Connecteur-tuyau 23 Régulateur-détendeur 24 Bouteille à...
- Seite 23 5 Umlaufschmierung 5 Circulatory Lubrication 5 Lubrification par circulation Fig. 13 Fig. 13 Fig. 13 Die Betriebsmittelpumpe 30 fördert Pump fluid pump 30 supplies the La pompe de fluide moteur 30 amène das Betriebsmittel an die Spritzmut- pump fluid to splash nut 49 (Fig. 30). le fluide moteur à...
- Seite 24 – bei Einsatz eines Pumpstandsteuer- – If a Pumping Station Control Unit – En cas d’utilisation d’une commande gerätes TCS 303, TCS 304 R oder TCS 303, TCS 304 R or TCS 130 is de groupe de pompage TCS 303, TCS 130 die Vorpumpe und, falls employed, the backing pump and, if TCS 304 R ou TCS 130, la pompe pri-...
- Seite 25 6.2 Betriebsverhalten mit Gaslast 6.2 Operating Characteristics 6.2 Comportement avec charge Bei Nenndrehzahl hat die Turbopumpe under Gas Load de gaz ohne Gaslast nur eine geringe Strom- When running at its nominal rotation En vitesse nominale de rotation, la aufnahme. Mit zunehmender Gaslast speed without gas load the turbo pompe turbo fonctionnant sans char- steigt die Stromaufnahme bis zum...
- Seite 26 Zur Vermeidung der Kondensation It can also be advantageous to heat Afin d’éviter la condensation de pro- von Reaktionsprodukten in der Turbo- the turbo pump during the process in duits réactifs dans la pompe turbo, il pumpe kann es vorteilhaft sein, diese order to avoid condensation of the est avantageux de la chauffer pendant während des Prozesses zu beheizen.
- Seite 27 6.5 Stillsetzen der Turbopumpe 6.5 Shutting down the Turbo 6.5 Immobilisation de la pompe Zum Stillsetzen über länger als ein Pump turbo Jahr muß die Turbopumpe gemäß When shutting down the turbo pump Afin d’assurer l’immobilisation de la Abschnitt 7.1.1 gereinigt werden (mit for longer than a year the turbo pump pompe turbo pour une période de Betriebsmittelwechsel!)
- Seite 28 Ein Zeichen für die Verschmutzung der Contamination of the turbo pump is Le degré de salissure de la pompe Turbopumpe ist, wenn der gewünsch- indicated if the desired working pres- turbo vous sera signalé lorsque la te Arbeitsdruck nicht mehr in der übli- sure can no longer be attained in the pression de travail souhaitée ne sera chen Zeit erreicht wird, obwohl sich...
- Seite 29 – Gereinigte Betriebsmittelpumpe – Re-fit the cleaned pump fluid pump – Remonter la pompe de fluide gemäß Abschnitt 7.1.2 wieder mon- and screw in the drain screw; check moteur suivant chapitre 7.1.2 et tieren und Ablaßschraube wieder the seating of the O-rings. revisser la vis de vidange;...
- Seite 30 7.1.2 Reinigung und Lagerwechsel der 7.1.2 Cleaning the Pump Fluid Pump, 7.1.2 Nettoyage et changement des Betriebsmittelpumpe including Bearing Replacement paliers de la pompe de fluide Fig. 13 Fig.13 moteur Bei Störung der Betriebsmittelversor- In case of a malfunction of the pump Fig.
- Seite 31 Betriebsmittelpumpe 30 wie folgt Remove pump fluid pump 30 as Démonter la pompe de fluide ausbauen: follows: moteur 30 comme ci-dessous: Achtung! Please note: Attention! Pumpe muß zuerst in waagerechte The pump must first be placed in a La pompe doit d'abord être posi- Position gebracht werden (siehe horizontal position (see fig.
- Seite 32 7.2 Betriebsmittelwechsel 7.2 Changing the Pump Fluid 7.2 Changement du fluide moteur Fig. 13 Fig. 13 Fig. 13 Vorgeschriebenes Betriebsmittel: Prescribed pump fluid: “F3” - approx. Fluide de moteur prescrit: “F3”, env. “F3”, ca. 65 ml (Bestell Nr. - siehe 65 ml,(order nr.
- Seite 33 – Hallspannung mit Oszilloskop oder – Measure the Hall voltage at points – Mesurer la tension de Hall avec un Drehspulinstrument an den Punkten L-H and J-K using an oscilloscope or oscilloscope ou un instrument de L-H und J-K messen. Fig. 14 (Oszillo- moving-coil voltmeter.
- Seite 34 7.4 Lagerwechsel Turbopumpe 7.4 Turbo Pump Bearing Replace- 7.4 Changement des paliers de la Achtung! ment pompe turbo Die Turbopumpe muß frei von Schad- Important: Attention! stoffen sein. Wichtige Hinweise - The turbo pump must be free from La pompe turbo doit être exempte de Abschnitt 1.1 - beachten.
- Seite 35 7.4.1 Demontage 7.4.1 Dismantling: 7.4.1 Démontage Fig. 17 - 25 und 31 Fig. 17 - 25 and 31 Fig. 17 - 25 et 31 Für den Lagerwechsel muß die Turbo- For bearing changes the pump must Pour le changement de palier, la pumpe kalt und auf Atmosphären- be cold and vented to atmospheric pompe turbo doit être froide et aérée...
- Seite 36 Fig. 18 Fig. 19 Fig. 20 Steckverbindung 83 zur Betriebsmittel- Betriebsmittelbehälter 43 lösen und Rändelmutter “D” auf die Gewindebolzen pumpe lösen abheben “B” aufschrauben Removing operating medium pump plug Lift out operating medium reservoir 43 Screw the knurled nuts “D” onto the and socket connection 83 Desserrer du réservoir de fluide d’exploi- threaded bolts “B”...
- Seite 37 7.4.2 Montage 7.4.2 Assembly 7.4.2 Montage Fig. 26 - 31 Figs. 26 - 31 Fig. 26 - 31 – Alle neuen Teile vor der Montage – Before fitting, moisten all new parts – Imprégner toutes les pièces neuves mit Betriebsmittel “F3” benetzen. with pump fluid “F3”.
- Seite 38 Fig. 26 Fig. 27 Fig. 28 Neuen Ausgleichsring 81 in das Unterteil Lagerfassung 51 ins Unterteil 31 Lagerfassung 51 aufschieben 31 einsetzen einführen Push bearing housing 51 up to the stop Fit new compensating ring 81 into the Push bearing housing 51 into lower Monter le châssis de palier 51 lower part 31 part 31...
- Seite 39 Fig. 31...
- Seite 40 8 Service-Hinweis 8 Service Information 8 Service après-vente 8.1 Kunden-Schulung 8.1 Technical Training for Custo- 8.1 Stages de formation In unserem Stammhaus in mers Nous proposons dans notre maison FL 9496 Balzers, Liechtenstein und bei Product orientated technical training mère Balzers à FL- 9496 Liechtenstein, der Balzers-Pfeiffer GmbH in courses are held regularly by our ainsi que chez Balzers-Pfeiffer GmbH...
- Seite 41 Ersatzteilliste/Spare parts list/Liste des pièces de rechange TPH 1600, TPU 1600 für Korrosiv Gas Technik/pour corrosif gaz processus Pos. Benennung/Description/Désignation Stück Item Quantity Pos.
- Seite 42 79 49 Fig. 32 Fig. 33...
- Seite 43 10 Betriebsmittel 10 Operating Medium 10 Fluide d'exploitation Art/Type/Type Menge/Quantity/Quantité Bestell-Nr./Order nr./Référence 0,05 l PM 006 336-T 0,25 l PM 006 313-T 11 Zubehör 11 Accessories 11 Accessoires Bauteile zum Heizen Components for Eléments pour le und Kühlen heating and chauffage et cooling refroidissement...
- Seite 44 Weiteres Zubehör Additional accessories Accessoires additionnels Antriebselektronik Electronic drive unit Commande électronique TCP 380 PM C01 490 Antriebselektronik Electronic drive unit Commande électronique TCP 600 PM C01 320 Anschlußkabel Turbo- Connection cable turbo- Câble de raccordement PM 031 603 -T TCP 380, 3 m TCP 380, 3 m turbo-TCP 380, 3 m...