Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TMH 1600M
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TMH 1600M
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Turbomolekular-Drag-Pumpe magnetgelagert TMH 1600M TMU 1600M...
- Seite 2 4.2. Einschalten................ 13 4.3. Heizen (nur Pumpen mit Gehäuseheizung)....13 2. Kennenlernen der Pumpen 4.4. Betrieb mit TMS ............... 14 TMH 1600M/TMU 1600M ......4 4.5. Intervallbetrieb der Vorpumpe........14 2.1. Hauptmerkmale ..............4 4.6. Gasartabhängiger Betrieb..........14 Bestimmungsgemäße Verwendung ........5 4.7.
- Seite 3 1. Wichtig für Ihre Sicherheit ☞ Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung. Abkürzungen im Text ☞ Informieren Sie sich über: TMS = Temperature Management System TCM = Magnetlagerelektronik – Gefahren, die von der Pumpe ausgehen; TMP = Turbomolekularpumpe –...
- Seite 4 – Wird die Pumpe mit mehr als 50% der zulässigen Gaslast betrieben, so ist Sperrgas zu verwenden. – Die Turbopumpen dürfen nur mit einer Pfeiffer Vacuum- Magnetlagerselektronik TCM 1601 und zugehörigen Kabeln betrieben werden. – Die Turbopumpe muss an eine Vorvakuumpumpe nach Abschnitt 3.3.
- Seite 5 Zusatz ”H”: Hohe Gasdurchsätze für die Prozesstechnik 2.3. Temperature Management System (TMS) Die Pumpen mit der Bezeichnung TMH 1600M T/TMU 1600M T (siehe Typenschild) können im Bereich der Druckstufen mit im Gehäuse integrierten Heizern und Temperatursensoren bis max. 90 °C geheizt werden.
- Seite 6 – Blindflansche von Hoch- und Vorvakuumseite erst Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder über einen unmittelbar vor dem Anschließen entfernen! Pfeiffer Vacuum-Dämpfungskörper (siehe Kap. 10. Zubehör) – Bei Magnetfeldern > 4 mT muss eine geeignete Abschir- an den Rezipienten angeflanscht werden.
- Seite 7 Die Installation mit unterschiedlichen Flansch- Kreuz anziehen. typen erfolgt auf eigene Gefahr. Für sämtliche Anzugsdrehmoment: 10 Nm, 20 Nm, 38 ±3 Nm Schäden, die aus einer solchen Befestigung entstehen, übernimmt Pfeiffer Vacuum keine Variante 2 - Stiftschraube und Sackloch Haftung. Stiftschraube und Sackloch ISO-F-Flansch...
- Seite 8 Variante 3 - Stiftschraube und Durchsteckbohrung 6 6 k k t t - - S S c c h h r r a a u u b b e e u u n n d d D D u u r r c c h h s s t t e e c c k k b b o o h h r r u u n n g g ➡...
- Seite 9 Pumpe direkt anflanschen 3.3. Vorvakuumseite anschließen Empfohlene Vorvakuumpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum- Zulässige Einbaulagen der Turbopumpe Programm: 11 Rezipient – trocken verdichtende Membranvakuumpumpe – für große Rezipienten UniDry™ 050-3. Vorvakuumpumpe anschließen Alle Verbindungen der Vorvakuumleitung mit üblichen Kleinflansch-Bauteilen oder Schlauchverschraubungen anschließen.
- Seite 10 3.4. Kühlung anschließen Kühlung mit Wasserrückkühler TZK (Zubehör) Ein Schmutzfänger in der Vorlaufleitung ist nicht zulässig. Die Turbopumpen TMH/TMU 1600M sind serienmäßig Alle übrigen Schritte: wie Anschluss ans Kühlwassernetz. wassergekühlt. Zulässige Umgebungstemperatur bei Wasserkühlung: 40 °C. Bei Betrieb mit verminderter Gaslast ist alternativ Luftkühlung Kühlung mit Wasserrückkühler TZK möglich (siehe Zubehör).
- Seite 11 3.5. Flutventil anschließen 3.6. Sperrgas anschließen Unkontrolliertes Fluten kann zur Überlastung Zum Schutz der Turbopumpe, insbesondere bei korrosiven ACHTUNG des Axiallagers und damit zur und staubbehafteten Prozessen, ist es erforderlich, diese mit Fanglagerbeanspruchung führen. Sperrgas zu betreiben. Der Anschluss erfolgt über ein Sperr- Die TMH/TMU 1600M dürfen nur über das gasventil (siehe Zubehör).
- Seite 12 3.9. Temperature Management System (TMS) anschließen ➡ Verbindungskabel Magnetlagerelektronik–Turbopumpe einstecken. Pumpen mit der Bezeichnung TMH 1600M T/TMU 1600M T (siehe Typenschild) können im Bereich der Holweckstufen mit Die Kabelstecker müssen gerade auf die im mittleren Gehäuseteil integrierten Heizern und ACHTUNG Einbaustecker aufgesetzt werden (Gefahr von Temperatursensoren (TMS) bis max.
- Seite 13 4. Betrieb 4.1. Vor dem Einschalten 4.3. Heizen (nur Pumpen mit Gehäuseheizung) Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher WARNUNG Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmutzungsgrad und Geschwindigkeit. Bei offenem Hochvakuum- dem gewünschten Enddruck. Die Heizdauer sollte mindestens flansch Verletzungsgefahr und Gefahr der Zer- 4 Stunden betragen.
- Seite 14 Frequenz einzustellen. <710: BkP Poff> = 150 W und <711: BkP Pon> = 280 W verwendet werden. Kennlinie Gasarten Die TMH 1600M P C H kann nicht in Verbindung HINWEIS mit einer Membranpumpe betrieben werden. Hochlauf D-C = Gas mode «0»...
- Seite 15 -25 °C bis +55 °C erfolgen. ➡ In Räumen mit feuchter oder aggressiver Atmosphäre: Zum Fanglagerwechsel verständigen Sie bitte Ihren zuständi- gen Pfeiffer Vacuum-Service. Pumpe zusammen mit einem Beutel Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschweißen. 4.8. Ausschalten und Fluten Zum Ausschalten und Fluten der Turbopumpe muss beachtet werden, dass verschiedene Flutarten zur Verfügung stehen...
- Seite 16 • Undichtigkeit an Rezipient, • Lecksuche, ausgehend vom Rezipienten Leitungen oder Pumpe • Undichtigkeit beseitigen Ungewöhnliche Betriebsgeräusche • Beschädigung des Rotors • Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum-Service verständigen • Splitterschutz sitzt nicht fest • Splitterschutz auf festen Sitz überprüfen (falls vorhanden) (siehe Abschnitt 3.2.) •...
- Seite 17 Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Anlagen-Verfüg- kontaminierte Pumpen nicht versenden! barkeit aufrecht zu erhalten: – Pumpe vor Ort durch den Pfeiffer Vacuum-Service reparie- ren lassen; – Pumpe zur Reparatur ins Stammwerk einsenden; Kontaminierte Geräte versenden –...
- Seite 18 8. Technische Daten Größe Einheit TMH 1600M TMH 1600M TMH 1600M H TMU 1600M TMU 1600M Anschlussnennweiten: Eintritt DN 200 ISO-K DN 250 ISO-K DN 200 ISO-K DN 250 ISO-K DN 250 ISO-F DN 250 ISO-F DN 200 CF-F DN 250 CF-F...
- Seite 19 8.1. Maßbild 9° M8 (8x) DN 200 CF-F DN 200 ISO-K DN 250 CF-F DN 250 ISO-K ø295 DN 40 ISO-KF ø250 DN 10 ISO-KF...
- Seite 20 9. Ersatzteile Pos. Benennung Stück Kenngröße Nummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH/U 1600M Kunststoffuß P 4098 582 FA siehe unter 2.1. USIT-Ring P 3529 133 -A Flutventil TVF 005 G 1/8” PM Z01 135 siehe unter 2.1. Temperatursensor; komplett PM 073 593 -X siehe unter 3.9.
- Seite 21 10. Zubehör Benennung Kenngröße Nummer Zugeh. Anleitung/ Bestellmenge Bemerkung Magnetlagerelektronik TCM 1601 90 - 265 V; 50/60 Hz PM C01 675 PM 0478 BN Verbindungskabel Turbopumpe – TCM PM 051 003 -T Andere Längen auf Anfrage Pumpstandsteuergerät TCS 180 100 - 115/230 V; PM C01 665 PM 0384 BN 50/60 Hz...
- Seite 22 Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung bei nicht vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 23 EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 1600 M / TMU 1600 M Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale...
- Seite 24 Roots Pumps Dry Vacuum Pumps Leak Test Units Valves Flanges, Feedthroughs Vacuum Measurement Gas Analysis System Technology Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...