Werbung
4. Vakuumanlage
Die Vakuumanlage (Bild 5) erzeugt das zum Mikroskopieren notwendige Hoch-
vakuum. Sie ist als kompakter Pumpstand (Bild 3) aufgebaut und besteht in1
wesentlichen aus der Vorvakuumpumpe (27), zwei hintereinandergeschalteten
Hochvakuumpumpen (28, 29), einer Anzahl (meist elektromagnetischer) Va-
kuumventile und der Vakuummeßeinrichtung. Weitgehend automatisierte Schalt-
vorgänge und verschiedene Sicherheitseinrichtungen machen die Anlage stör-
unempfindlich und leicht bedienbar.
Die Vorvakuumpumpe (VP) liefert das für den Betrieb der Hochvakuumpumpen
(HGD und OD) benötigte Vorvakuum und dient zum Vorevakuieren des Mikro-
skoprohres
(MR), der Objektschleuse (OB) und der Aufnahmekammer (AK) sowie
zum Evakuieren des Exsikkators (EX). Sie läuft beim Eintasten des gewünschten
Betriebszustandes an, schaltet sich bei einem Vakuum von 0,2 Torr (0,26 mbar)
selbsttätig aus und startet wieder bei einem Druckanstieg auf 6 Torr (8mbar).
Vor dem Anlaufen der Vorvakuumpumpe leuchtet bei
5
Torr (7 mbar) die Taste
,,P"
(621) auf. M i t dieser Taste kann die Vorvakuumpumpe von Hand ein- und aus-
geschaltet werden, wenn z. B. ein besseres Vorvakuum gewünscht wird oder das
Anlaufen der Pumpe während einer Aufnahmeserie vermieden werden soll. Der
Vorvakuumbehälter (VB) verlängert durch sein Puffervolumen die Schaltpausen
der Vorvakuumpumpe.
Die Hochvakuumpumpen (HGD und OD) werden elektrisch geheizt und zum
Kondensieren der Quecksilber- oder Oldämpfe mit Wasser gekühlt. Während der
Anheizzeit von 1 5 bis 20 Minuten hält ein Thermoschalter an der Oldiffusions-
pumpe (ÖD) das Hochvakuumventil (V3) geschlossen. Die Wasserkühlung wird
von einem Durchflußwächter kontrolliert, der bei zu schwachem Wasserdurchfluß
A 1 Federgehäuse für Rückstellfeder
A 2 Stellmotoren für Kathodenverschiebung
A 3 Erdungsbügel
A 4 Blendentrieb für Kondensor-Aperturblenden
A 5 Schleusengriff
A 6 Schleusenknebel
A 7 Schleusmtür
A 8 Blendentriebe für Objektiv-Aperturblenden
A 9 Tischverstellspindel
A l 0 Blendentrieb für Selektorblenden
A l I Stelltrieb für Zwischenlinse 1
A l 2 Einblickfenster für Zwischenbild
A l 3 Binokularlupe
A l 4 Einstellpotentiometer für Bildverschiebung
A l 5 Arretierhebel
A l 6 Triebe für Objekttischverstellung
A l
7
Einblickfenster
A l 8 Blendentrieb für Selektor-Schwenkblende
A l 9 Kühlgefäß
A20 Kühlfinger
A21 Einblickfenster der Objektschleuse
A22 Blendentrieb für Kondensor-Schwenkblende
A23 Hebevorrichtung
Bild A
Bedienungselemente
arn
Mikroskoprohr
Werbung
