Herunterladen Diese Seite drucken

Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 70

Hochleistungs-elektronenmikroskop

Werbung

Hochvakuummessung nach
Penning- Prinzip
Meßbereich 1 OP6 bis 1 OP2 Torr
(7
.
1 OP6 bis 1,3. 1 OP2 mbar)
Evakuierungszeit für Betriebsvakuum
bei heißen Diffusionspumpen
Mikroskoprohr
2,5 min
Aufnahmekammer
1,5 min
Objektschleuse
2 s
Dosisleistung der austretenden
Strahlenschutz
Röntgenstrahlung unter normalen
Betriebsbedingungen
<
0,s mR/h (36 pA/kg)
in 5 cm Abstand
(Bauartzulassung liegt vor)
Lochblenden aus Platin-Iridium
Außendurchmesser
Dicke
Lochzahl
Lochdurchmesser
Schlitzblenden aus Platin-Iridium
Außendurchmesser
Dicke
Schlitzabmessung
Netze aus Kupfer und Phosphorbrorize
Außendurchmesser
Objektträger
2,4 mm
1
mm
1 mm
X
0,l mm und 1 mm
X
0,05 mm
2,4 mm und 3,2 mm (1 18")
Einlochblenden aus Platin-Iridium,
Lochdurchmesser
Einlochblenden aus Molybdän,
Lochdurchmesser
Viellochaperturblenden aus Platin-Iridium
Lochdurchmesser
Folienblenden aus Kupfer
Lochdurchmesser
Aperturblenden
5,10,15,20,30,50,100,
200,400,600 und 750 pm
20,30,50,100,200,400
und 750 ,um
20 ,um (37 Löcher)
30 ,um (37 Löcher)
50 ,um (1 9 Löcher)
Netzanschluß
Einphasen-Wechselspannung
Elektrischer
220 V
I
10%
Anschluß
Frequenz
50 oder 60 Hz
I
2%
Leistungsaufnahme
etwa 4, O kVA
Anpassung an andere Netzspannungen
und besondere Netzverhältnisse auf
Anfrage
Wasseranschluß
eine Zuleitung, zwei Abflußleitungen
Kühlwasser-
(Schlauchtülle %")
anschluß
Erforderlicher Wasserdruck
>
2,5 kp/cm2
Wasserverbrauch
1 S O I/h
Temperatur des zufließenden Kiihlwassers
<
20 " C
Zulässiges Störfeld
<
0,4 A l m (bei 50 Hz und bei
langsam veränderlichem Gleichfeld)
Zulässige Gebäudeerschütterungen
Amplitude bei f
=
20 Hz
<
2 ,um
Beschleunigung bei f
=
1,5 Hz
<
I cm/s2
Resonanz bei 3 Hz und 11 I-lz

Werbung

loading