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Das Mikroskop kann frei von Glimm- und Mikroentladungen betrieben werden,
wenn der Elektronenstrahler kurze Zeit mit einer Uberspannung beaufschlagt
wird (I<onditionierung). Diese Überspannung von 8% schaltet sich nach einer
Minute selbsttätig ab. Sie stellt sich auch nach einem Überschlag kurzzeitig ein.
Zur Zentrierung des Elektronenstrahls gegenüber den Abbildungslinsen Iäßt sich
die Hochspannung wobbeln, entweder peri~disch oder in festen Stufen um
+
0,5% oder
-
0,5% (nähere Ausführungen dazu in Abschnitt 5.12.).
V o r b e d i n g u n g : Hochvakuum
<
10-4 Torr (1,3. 10-4 mbar an Anzeigeeinheit ( 6 1 5 ) ) . Die
5.3.
Einschalte''
"On
Beschleunigungs-
Lebensdauer der Kathode ist um so höher, je besser das Vakuum ist.
spannungund
I . Strahlstromeinsteller ( 6 8 ) auf Minimum (linker Anschlag).
Kathodenheizung
2. A n den Hochspannungswahltasten ( 6 4 ) gewünschte Spannung eintasten. 1st ein Betrieb
bei 100 kV oder 125 kV Beschleunigungsspannong vorgesehen, dann empfiehlt es sich, von
einer kleinen Spannung aus (höchstens 8 0 kV) stufenweise die Spannung zu erhöhen und
jeweils einen genügend kleinen Glimmstrom (etwa 10 PA, auf dem Anzeiger für Strahlstrom
( 6 9 ) ) abzuwarten. Das Risiko, daß die Kathode durch Uberschlag beschädigt wird, ist da-
durch geringer.
3. Hochspannung durch Drücken der Taste ,,P ( 6 I ) e;nschalten.
4. Vor dem Wechseln der Beschleunigungsspannung Taste ,,O"
( B I ) drücken.
5. Konditionierung des Isolators mit Uberspannung: Taste „8%"
( 6 2 ) drücken. Die Uberspan-
nung schaltet sich nach einer Minute selbsttätig ab (Beleuchtung der Taste
„8%"
erlischt),
sie läßt sich nicht von Hand abschalten.
6 . Uberschreitet der Glimmstrom trotz dieser Maßnahmen 2 PA, dann sollten Wehnelt-Elektrode
und Isolator gereinigt werden (Abschnitt 76.1.)
7. Kathodenheizung mit Drehschalter ( 6 5 ) auf 2 bis 2-3 V einstellen. Wird auf dem Endbild-
Leuchtschirm nicht der helle Strahlfleck sichtbar, dann muß der Elektronenstrahler vorzentriert
werden.
Vorzentrieren des Elektronenstrahlers
8 . Alle Linsen ausgeschaltet (Tasten ( 6 2 8 ) ausgetastet).
I'
9.
Stelltrieb fur Kondensorblenden (A4) auf „0':
Kondensor-Schwenkblende (A22) zurück-
ziehen und durch Drehen einrasten.
10. Falls erforderlich: Objektpatrone durch Drehen des Schleusengriffes (A5) im Uhrzeigersinn
bis zum Anschlag aus dem Objekttisch in die Schleusenkammer schwenken.
I I . Stelltrieb für Objektiv-Aperturblende (A8) auf „0".
12. Stelltrieb für Selektorblende ( A l O ) auf „0': Schwenkblende (A18) durch Drehen gegen den
Uhrzeigersinn einrasten.
73. Betriebsartenschalter für Ablenksystem ( 6 4 4 ) auf Mittelstellung.
74. Kathode mit Unterspannung heizen: M i t Einsteller ( 6 5 ) Kathodenheizung auf etwa 1,8 V
(Anzeiger ( 6 7 ) ) , mit Einsteller (Ba) Strahlst!om auf 10 bis 2 0 P A (Anzeiger ( 6 9 ) ) .
Der Elektronenstrahler emittiert so in einem sehr großen Winkelbereich und ist im all-
gemeinen als Leuchtfleck auf dem Endbildschirm sichtbar.
15. Unterheizung langsam rückgängig machen und dabeigleichzeitig den auswandernden Leucht-
fleck mit den Stellmotoren in die Mitte rücken: Schalter ( 6 4 2 ) für die Stellmotoren einschalten
und Steuerschalter ( 6 4 1 ) für Kathodenverschiebung betätigen. Die Mittelstellung der Ka-
thodenverschiebung ist erreicht, wenn die Schrauben i n den Federgehäusen für die Rück-
stellfedern ( A I ) mit dem Federgehäuse bündig abschließen. Es ist zweckmäßig, nach einem
Kathodenwechsel von dieser Stellung auszugehen.
Achtung:
U m bei dieser Zentrierung nicht den Leuchtschirm durch zu hohe Stromdichte zu
beschädigen, Projektiv einschalten, sobald der Strahlfleck erscheint.
Feinzentrierung des Elektronenstrahlers bei eingeschalteten Linsen.
76. Beidefekter Kathode leuchtet beim Einschalten der Kathodenheizung die Meldelampe (136) auf.
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