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5.9. Fokussierung
Die Erregungen des Objektivs und der Zwischenlinse 1 werden von der eingestellten
Vergrößerung gesteuert, so daß bei Vergrößerungsänderung jeweils nur eine Fein-
korrektur der Fokussierung erforderlich ist. Ab 10000facher Vergrößerung liegt
das erste Zwischenbild in der Selektorblendenebene, auf die die Zwischenlinse 1
feinfokussiert werden muß.
Wird bei defokussierter Abbildung der Elektronenstrahl gegen die Achse der ersten
abbildenden Linse gekippt, dann verschiebt sich das defokussierte Bild propor-
tional zum Kippwinkel und der Defokussierung. Diese Erscheinung wird als Scharf-
stellhilfe bei kleinen bis mittleren Vergrößerungen ausgenutzt. Dazu wird das
Ablenksystem oberhalb des Objektes mit einer periodischen Rechteckspannung
(Frequenz 20 Hz vom Wobbler) angesteuert. Ein defokussiertes Bild erscheint
dann als Doppelbild. Zur Fokussierung werden die beiden Teilbilder mit Hilfe des
Stromeinstellers der ersten abbildenden Linse zur Deckung gebracht. Das Ver-
fahren ist anwendbar, solange der beim Wobbeln in den Endpunkt gekippte Elek-
tronenstrahl noch durch die Aperturblende der ersten abbildenden Linse gelangt
und solange die Defokussierung infolge des Öffnungsfehlers dieser Linse klein ist.
Der Öffnungsfehler des Objektivs ermöglicht die Anwendung des Wobblers bis
zu einer maximalen Vergrößerung von etwa 50000fach. Bei den kleinen Vergrö-
ßerungen (bis 2500fach) muß die Wobbelamplitude wegen der kleinen Linsen-
apertur der Zwischenlinse 1 ohnehin so weit reduziert werden, daß deren Öffnungs-
fehler keine Rolle spielt.
Der Wobbler wird automatisch abgeschaltet, wenn die Aufnahmetaste gedrückt
wird.
zweistufiges
Ablenksystern
Objekt
obgetidele Ebene
Objektiv
Aperturblende
C
erstes Zwischenbild
Bild 15 Doppelbild durch Wobbeln bei defokussiertem Objektiv
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