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5.4. Objekt-
M i t den beiden Kondensorlinsen zwischen Elektronenstrahler und Objektschleuse
bestrah'ung
wird die Bestrahlungsintensität dem Objekt und der Vergrößerung angepaßt. Im
allgemeinen werden beide Kondensoren eingeschaltet, wobei der Kondensor 1
ein stark verkleinertes Bild des Cross-over (engster Strahlquerschnitt vor der Ka-
thode) erzeugt und der Kondensor 2 dieses Bild auf der Objektebene oder in deren
Nähe abbildet.
Beim Arbeiten nur mit Kondensor 2 wird das Objekt thermisch höher belastet.
Bleibt dadurch das Objekt und die Bildqualität unbeeinflußt, dann ist diese Be-
triebsart bei kleinen bis zu mittleren Vergrößerungen vorteilhaft, weil wegen der
geringen Objektverschmutzung meist keine Qbjektraumkühlung nötig ist.
Beim Arbeiten mit Kondensor 1 allein können sehr kleine Bestrahlungsaperturen
( < 1OP5) erreicht werden. Der bestrahlte Objektbereich kann mit der Blende im
Kondensor 2 variiert werden.
Die Bestrahlung des Objektes wird gekennzeichnet durch die Stromdichte j
B,
die
Bestrahlungsapertur
a,
und den Durchmesser d B des bestrahlten Bereiches.
Zusätzlich muß die Wirkung des vor dem Objekt liegenden Anteils des Objektiv-
feldes (Vorfeld) berücksichtigt werden. Dieser Feldanteil vergrößert die Bestrah-
lungsapertur und die Stromdichte und verkleinert den bestrahlten Objektbereich
bei normaler Objektiverregung um 25% (bei f,
=
2,15 mm: 11 0%) der ohne das
Vorfeld gemessenen Werte.
Sind beide Kondensoren eingeschaltet und der Elektronenstrahl mit Hilfe von
Kondensor 2 auf die Objektebene fokussiert, dann hängt die Bestrahlungsapertur
a w
in diesem Fall allein vom Durchmesser d K der Kondensoraperturblende ab.
a„
=
1,25 RaB2
(2,l Ra„*)
(1
1
Hier ist a
=
145 mm der Abstand der Blende von der Objektebene. Der ~ a k t o r '1.25
berücksichtigt die Wirkung des Objektivvorfeldes. Die Stromdichte j B f in der Ob-
jektebene ist von der Bestrahlungsapertur nach der Gleichung
jBf
= n .
R
.aW2
(2)
abhängig, wobei der Richtstrahlwert R durch den Elektronenstrahler bestimmt
ist (Bilder 7 und 8).
Der Durchmesser d B f des bestrahlten Bereiches der Objektebene bei fokussiertem
Kondensor 2 hängt von den Abständen der Kondensoren von den benachbarten
Bauteilen des Mikroskoprohres und der Brennweite von Kondensor 1 ab. In Bild 9
ist der auf den Cross-over-Durchmesser bezogene Durchmesser d B f als Funktion
der Erregung des Kondensors 1 dargestellt (Fortsetzung S. 16).
B i l d 9
Durchmesser des bestrahlten
Bereichs d„, bezogen auf den Durchmesser
des Cross-over d, als Funktion der reduzierten
Kondensor-I -Erregung N l/VU*,
Kondensor 2 fokussiert
(N
=
12 200)
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