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die Pumpenheizung abschaltet und einen Summer in Betrieb setzt. Bei einem
Defekt der Heizplatten in der Oldiffusionspumpe schaltet sich der Heizkreis selbst
aus, indem die Taste ,,D" (B21) ausrastet. Gegen Fehlbedienung und Lufteinbrüche
ist die Vakuumanlage durch mechanisch gegeneinander verriegelte Bedienungs-
tasten und durch Vakuumventile geschützt, die sich bei unzulässigem Druckanstieg
oder Netzspannungsausfall schließen.
Die V a k u u m k o n t r o l l e wird von drei Vakuummeßröhren durchgeführt, welche
die Schaltautomatik und die Sicherheitseinrichtungen der Vakuumanlage steuern.
Bei einem Druck unter 1 0-3 Torr (1,3. 1 0-3 mbar) Iäßt sich die Hochspannung
einschalten. Das Endvakuum im Mikroskoprohr kann Werte
<
5
-
1 OP6 Torr
(6,6
1 0-6 mbar) erreichen.
Zur Anzeige des Vakuumzustandes dienen zwei Meßinstrumente, von denen das
linke (B1 5) das Hochvakuum im Mikroskoprohr anzeigt. M i t dem rechten Anzeiger
(B1 6) kann das Vorvakuum wahlweise im Bereich der Vorvakuumpumpe (Meß-
stelle V M I ) oder am Mikroskoprohr (Meßstelle VM2) gemessen und angezeigt
werden.
A
Auspuff
AK
Aufnahmekammer
EX
Exsikkator
HGD Hg-Dampfstrahlpumpe
H M
Meßstelle für Hochvakuum im
Mikroskoprohr
MR
Mikroskoprohr
OB
Objektschleuse
ÖD
Öl-Diffusionspumpe
S
Innere Schleusentür
V1 bis V1 4 Vakuumventile
VB
Vorvakuumbehälter
VM1 Meßstelle für Vorvakuum im Vor-
vakuumbehälter, im Exsikkator und
in der Fotokammer
VM2 Meßstelle für Vorvakuum im
Mikroskoprohr
VP
Vorvakuumpumpe
Bild 5
Schema der Vakuumanlage
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