Herunterladen Diese Seite drucken

Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 6

Hochleistungs-elektronenmikroskop

Werbung

2.
A r b e i t s w e i s e des M i k r o s k o p s
Der Elektronenstrahl wird im Elektronenstrahler(1) mit Hilfe einer Glühkathode (25)
erzeugt. Die von der Glühkathode emittierten Elektronen werden zwischen Wehnelt-
zylinder (24) und Anode (23) auf die eingestellte Hochspannung beschleunigt.
Die Elektronen gelangen danach in den Doppelkondensor (2). Der Kondensor 1
(22) erzeugt von dem engsten Strahlquerschnitt vor der Kathode (Cross-over)
ein stark verkleinertes Bild, das vom Kondensor 2 (21) in die Objektebene abge-
bildet wird. Der Kondensor 1 muß deshalb eine kurze Brennweite haben, d.h.
kleine Polschuhabmessungen. Beim Kondensor 2 mit langer Brennweite wurde
dagegen auf kleine Fehlerkonstanten Wert gelegt. Er hat außerdem einen Stigmator
(20) zur Korrektur des Astigmatismus. Die Objektschleuse (3) dient zum Ein-
bringen der Objektpatronen (18) in das evakuierte Mikroskoprohr und zur Zen-
trierung des Elektronenstrahles mit Hilfe des eingebauten, zweistufigen Ablenk-
Systems (1 9).
Das wichtigste Bauteil des Mikroskops ist das Objektiv (4), das von dem in die
Objektpatrone (1 8) eingelegten Präparat eine erste, stark vergrößerte Abbildung
erzeugt. Seine Fehlerkonstanten bestimmen maßgeblich die Auflösung des Mikro-
skops. Das vom Objektiv erzeugte Bild wird von der Doppel-Zwischenlinse (5)
und dem Projektiv (6) auf den Endbild-Leuchtschirm (9) vergrößert abgebildet.
Objektiv und Zwischenlinse 1 sind ebenfalls mit Stigmatoren (1 7 und 16) ausge-
rüstet.
Das Projektiv arbeitet im Vergrößerungsmaximum, um eine radiale Verzeichnung
zu vermeiden. Die Zwischenlinse 1 (1 5) wurde für einen kleinen Offnungsfehler
bei langer Brennweite ausgelegt. Bei hohen Vergrößerungseinstellungen Iäßt sich
ein Zwischenbild auf dem Leuchtschirm (1 2) oberhalb des Projektivs über einen
Umlenkspiegel (1 3) beobachten. Der Endbild-Leuchtschirm kann schräg gestellt
und mit einer Binokularlupe ( I I ) genau beobachtet werden. Der Endbildtubus (7)
enthält einen Belichtungsverschluß (1 O), der elektrisch gesteuert wird. Das Foto-
material wird über die Aufnahmekammer (8) in das evakuierte Mikroskoprohr ein-
geschleust.
26 Vorvakuumbehälter
29 Quecksilber-Dampfstrahlpumpe
27
Vorvakuumpumpe
30 Ventilblock und Stromversorgung
28
Oldiffucionspumpe
Bild 3
Pumpstand

Werbung

loading