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Siemens ELMISKOP 102 Betriebsanleitung Seite 52

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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1 5 . Grundzentrierung des Gerätes
Die Zentrierung des Ablenksystems hängt sehr empfiildlich von der Objektlage ab. Schon eine
15.1. Zentrieren
des
Ablenksystems
Änderung von wenigen Objektiv-Grobrasten macht einen neuen Abgleich erforderlich.
V o r b e d i n g u n
y:
Feinstrahlbetrieb entsprechend Abschnitt 5.5. (Seite 75). Objektiv auf die Ob-
jektebene fokussieren (Seite 2 7 ) . Helligkeitssteuerung ausgetastet (B24).
7 .
Vergrößerung 3000fach einstellen.
2 . Betriebsarter~schalter (B44) in Stellung ,,AUSr' (linker Anschlag).
3 . Feinstrahl mit mechanischer Kondensorverstellung (Stelltrieb 93, Bild 44, S. 4 8 ) auf Leucht-
schirmmifte richten und mit Kondensor 2 ( 6 2 3 ) fokussieren.
4 . Betriebsartenschalter (B44) auf Mittelsteliung (Kleinwinkelkippung) und Tasten ( 8 4 5 ) ein-
tasten. (Dadurch wird die Strahlkippurig abgeschaltet.)
5. M i t Kondensor 2 (1323) fokussieren und mit der Strahiverschiebung (B52) auf Leucht-
schirmmitte bringen.
6. Schalter (B44) auf
,,X"
stellen. Wobbelamplitude (B43) auf Maximum, X-Strahlkippung
(B45) austasten
( X -
Kippung wird eingeschaltet).
7.
X-Abgleichpotentiometer (99, Bild 4 5 ) so einstellen, daß die beiden Teilbilder des Feinstrahles
moglichst dicht zusammen liegen.
8.
Rechtes Potentiometer für seitliche Auswanderung (700, Biid 4 5 ) so einstellen, daß die beiden
Teilbilder zusamn~enfallen; nötigenfalls Spule umpolen (Schalter 701, Bild 45).
9. Abgleich der y-Kipprichtung nach Umschalten von ( 8 4 4 ) auf ,,y"
und Austasten der
y-Taste (B45) in entsprechender Weise.
70. Betriebsartenschalter (B44) auf Großwinkelkippung stellen.
7
7. Einsteller ( 8 4 6 ) für die Großwinkelkippung in Mittelstellung bringen (7,5 Umdrehungen vom
rechten oder linken Anschlag; Nase der Potentiometergriffe steht auf
,,0").
72. Betriebsartenschalter (B44) in Mittelstellung bringen (Klein winkelkippung)
.
Bild
Abgleichpotentiometer
Potentiometer für Auswanderung
Umpolschalter
45
Lage der Zentrierpotentiometer
V o r b e d i n g u n g : 700 kV Strahlspannung, alle Blenden ausgefahren, Patrone ausgeschleust,
15.3.
Zentrieren des
Ablenksystem ausgeschaltet (B44 auf Null), Helligkeitssteuerung ausgetastet
Bestrah'ungssvstems
(624).
1. Kathodenheizung einschalten (B 5 )
2 . C7 ausschalten (B28, ,,C I " ) , Vergroßerung 500fach (B 74) wählen (diese Vergrößerung darf
nur mit dem Wahlschalter (B 74). nicht mit der Taste für die libersichtsvergrößerung eingeschal-
tet werden).
3.
Strahlfleck mit C2 fokussieren (B22, 8 2 3 ) und mit Strahlverschiebung (93, Bild 4 4 ) auf
Leuchtschirmmitte stellen.
4 . C2 überfokussieren ((B22) drei Rasten nach rechts)
5. Endbild-Leuchtschirm durch Kathodenverschiebung gleichmaßig ausleuchten (A2).
6 . C7 (B 28, ,,Clr') einschalten und Erregung wählen ((B54), sechste Raste).
7.
C2 fokussieren (B22).
8. Entfernung des Feinstrahlflecks von der Leuchtschirmmitte abschätzen.

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