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Inhalt
Beschreibung
Einleitung
Literatur zur Elektronenmikroskopie
1.
Aufbau des Mikroskops
2.
Arbeitsweise des Mikroskops
4.
Vakuumanlage
5.
Beschreibung und Einrichtung
der elektronenoptischen
Strahlengänge
5.2.
Elektronenstrahler
Seite
4
4
4
6
8
11
12
Bedienung
3. Betriebsablaufschema
Bild A
5.3.
Einschalten von Beschleunigungs-
Spannung und Kathodenheizung
5.5.
Arbeiten mit Feinstrahl
5.6.
Arbeiten mit Kondensor 2
5.7.
Vergrößerungswahl
5.9.
Fokussierung
5.1 1.
Bestrahlungsrichtung
22
5.1 3.
Astigmatismus
22
5.1 5.
Elektromagnetische Bildverschie-
bung
5.1 6.
Beugung
5.1 6.1. Feinbereichsbeugung
5.1 6.3. Kleinwinkelbeugung
5.1 6.5. Beugung ohne abbildende Linsen
5.1 7.
Hochauflösende Dunkelfeldabbil-
dung
5.1 7.1. Strahlkippung
5.1 7.3. Hohlkegelbestrahlung
5.1 7.4. Zentraler Auffänger
8.
Aufnahmeeinrichtung
8.1.
Belichtungsmessung
2
5.8.
Einstellen der Vergrößerung
5.10.
Fokussieren
5.10.1. Vergrößerungen 3000 bis 500 000x
5.10.2. Vergrößerungen unter 3 0 0 0 ~
5.12.
Einstellen der Bestrahlungsrichtung
5.14.
Korrektur des Astigmatismus
5.74.1. Objektiv (Vergrößerungen ab 3000x )
5.14.2. Zentrierung des Objektivstigmators
5.14.3. Korrektur des Zwischenlinsen-Astigmatismus
5.14.4. Elektronenoptische Bildverschiebung
24
26
26
5.16.2. Feinbereichsbeugung
28
5.1 6.4. Kleinwinkelbeugung
28
28
-
I
-
-
. -
-/-
--
28
5.7 7.2. Dunkelfeldabbildung mit Strahlkippung
29
28
28
6.
Ein- und Ausschleusen der
Objektpatrone
30
7.
Einlegen des Präparates und
Präparatwechsel
31
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