6 Wartungsarbeiten
So zerlegen Sie die StepWave Ionenführungseinheit:
1.
Entfernen Sie mit dem kombinierten Werkzeug aus 2,5-mm-Inbus-
schlüssel und Cone-Entnahmehilfe die 2 Schrauben, mit denen die erste
Ionenführungseinheit an der zweiten Ionenführungseinheit befestigt ist.
Erste Ionenführungseinheit
2.
Trennen Sie die erste und die zweite Ionenführungseinheit voneinander.
Erste Ionenführungseinheit
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11. Januar 2016, 715003891DE Rev. E
Zweite Ionenführungseinheit
Sicherungsschraube
Zweite Ionenführungseinheit