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6 Wartungsarbeiten
5.
Wenn am Dichtring Anzeichen von Abnutzung oder Beschädigung zu
sehen sind, entsorgen Sie diesen gemäß den geltenden
Umweltvorschriften.
Hinweis:
Ionenführungssystems zu vermeiden, entfernen Sie nicht die
Differenzialpumpöffnung oder weitere Komponenten der Einheit.
Reinigen der StepWave Ionenführungseinheit
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11. Januar 2016, 715003891DE Rev. E
Um eine Verunreinigung der nicht
Vorsicht:
verunreinigten Oberflächen mit biologisch
gefährlichen, toxischen oder ätzenden Materialien zu
vermeiden, entsorgen Sie die Dichtringe gemäß den
geltenden Umweltvorschriften.
Um eine Fehlausrichtung des StepWave
Um eine Personenkontamination mit biologisch
Vorsicht:
gefährlichen, toxischen oder ätzenden Materialien und die
Verunreinigung nicht verunreinigter Oberflächen zu ver-
meiden, müssen Sie beim Arbeiten mit der ersten und der
zweiten Ionenführungseinheit stets saubere, chemikalien-
beständige, nicht gepuderte Handschuhe tragen.
Hinweis:
• Um eine Beschädigung der Leiterplatteneinheiten der
ersten und der zweiten Ionenführungseinheit zu
vermeiden, gehen Sie während des folgenden Vorgangs
vorsichtig vor.
• Verwenden Sie weder Aceton noch chlorierte
Lösungsmittel oder Säure als Lösungsmittel bei der
Reinigung, da diese die StepWave Ionenführungseinheit
beschädigen können. Verwenden Sie nur die im folgenden
Vorgang angegebenen Lösungsmittel.
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