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Abbildung 67 Vereinfachtes Systemdiagramm - Edwards GXS-Serie Betriebsanleitung

Trockenlaufende schrauben vakuumpumpe
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Drucksensors zu dem angegebenen PID-Schaltpunkt passt. Wir empfehlen, den PID
automatisch fein abzustimmen, nachdem der PID-Schaltpunkt eingestellt wurde.

Abbildung 67 Vereinfachtes Systemdiagramm

Klassische PID-Gleichung
wobei
u = Steuersignal.
e = Steuerfehler.
K
= Zunahme für einen Proportional-Controller.
c
T
= Parameter, der den Integral-Controller skaliert.
i
T
= Parameter, der den Differential-Controller skaliert.
d
t = Zeit für die Fehlermessung.
b = Schaltpunkt des Signals, auch systematische Messabweichung oder Absetzung
genannt.
An der Pumpe können die Parameter Kc, T
vom Anwender eingestellt werden, oder die Pumpe kann eine automatische
Abstimmung durchführen, die diese Parameter auf der Grundlage der Reaktion des
Systems beim Solldruck berechnet.
Die PID-Drucksteuersequenz der Pumpe wurde für den Einsatz mit einer unserer
Dehnungs-Messröhre oder Aktiv-Pirani-Messröhre (als Zubehör erhältlich) ausgelegt.
Aufgrund der Ungenauigkeiten in den Messröhren empfehlen wir nicht, zu versuchen,
mittels einer Dehnungs-Messröhre unter 20 mbar zu steuern. Siehe
anderen Messröhre
Drucksensors.
Die folgenden Menüs werden von der PDT verwendet, um die PID-Funktion zu
konfigurieren und zu nutzen.
Seite 160
M58800882_H - Pumpen-Display-Terminal
auf seite 161 für Informationen zur Verwendung eines anderen
und T
sowie die Zeitkonstante entweder
i
d
Verwendung einer
07/2020

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