Aufbau; Funktionsprinzip - Edwards 18B4B Betriebsanleitung

B06510882 Issue D
1.3

Aufbau

Abbildung 1 zeigt eine Teilschnittansicht der Pumpe 18B4B. Die Pumpe besteht aus:
Einer vertikalen oberen Konusbaugruppe (45) mit den drei Stufen der Diffusionspumpe (42, 6 und 5).
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Einer horizontalen seitlichen Konusbau-gruppe (14).
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Einem Siedegefäß (33) im Pumpenfuß.
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Ein T-Stück (38) zur Verbindung von oberem Konus (45), seitlichem Konus (14) und Siedegefäß (33).
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Ein vertikaler Vorvakuumkondensator (17) mit Baffle-Baugruppe (18).
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Die Düsenstufen der Diffusionspumpe bestehen aus einem oberen Dampfrohr (5), einem Dampfrohr der zweiten Stufe
(6) und einem unteren Dampfrohr (42), von denen jedes mit einem Düsenhut ausgestattet ist (47, 44, 43). Über dem
Düsenhut der oberen Düse befindet sich ein Schutzring (2), der die Rückströmung von Pumpentreibmittel minimiert.
Für eine einfache Zugänglichkeit bei der Reinigung ist das untere Dampfrohr an das T-Stück (38) der Ejektorstufe,
und das T-Stück an die Siedegefäß-Baugruppe (33) mit Schrauben angeflanscht.
Die Ejektordüse (8) befindet sich im T-Stück (38), das mit dem seitlichen Konus (14) verschraubt ist, in den der
Ejektor mündet. Der seitliche Konus führt in einen vertikalen Vorvakuumkondensator (17).
Das Treibmittel der Pumpe wird von ein elektrischen Heizelementen (27) erwärmt und zum Verdampfen gebracht.
Die Pumpe verfügt über drei Heizelemente mit gleicher Nennleistung bei sämtlichen Betriebsspannungen. Das
Siedegefäß (33) ist mit einem Messstab- / Treibmitteleinfüllanschluss (21) und einem Treibmittelentleerungs-
anschluss (29) ausgestattet.
Die Stromversorgungskabel der Heizelemente werden an eine Anschluss-Box (31) im Fuß der Pumpe angeschlossen,
um den Anschluss an die Stromversorgung des Anwenders zu erleichtern.
Die Siedegefäß-Baugruppe der Pumpe (33) verfügt über einen Reinigungsöffnung mit Verschluss (10). Zur Entfernung
von Rückständen von den Innenwänden des Siedegefäßes über die Reinigungsöffnung kann dieser Verschluss entfernt
werden. Das Siedegefäß ist zur Erhaltung einer optimalen Pumpenleistung regelmäßig zu reinigen. Ein unter den
Heizelementen installierter Strahlungsschild (22) reflektiert von der Heizerunterseite (27) abgestrahlte Wärme zum
Siedegefäß, wodurch der Wirkungsgrad der Pumpe erhöht wird.
Die Pumpe wird durch Wasser gekühlt, das durch um den oberen Konus, den seitlichen Konus und den
Vorvakuumkondensator gelegte Kupfer-Kühlschlangen (13, 19, 41) geleitet wird. Die Kühlungskupplungen (36, 40)
verbinden diese Schlangen zu einem geschlossenen Kühlkreislauf um die Pumpe.
Zusammen mit der Pumpe kann einer oder beide der folgenden optionalen Posten mitbestellt werden.
Ein Treibmittel-Tiefstandswächter (12): siehe
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Ein Temperaturfühler Pt100 (30): siehe
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1.4

Funktionsprinzip

Siehe Abbildung 1. Im Siedegefäß (33) wird Treibmittel verdampft, das anschließend innen durch die Stufen der
Diffusionspumpe (42, 6, 5) gedrückt wird und den Düsenhutspalten (43, 44, 47) als Dampfstrom mit hoher
Geschwindigkeit entweicht. Das dampfförmige Treibmittel kondensiert an den gekühlten Wänden des oberen Konus
(45) sowie des seitlichen Konus (Ejektorkonus) (11) und sammelt sich im Siedegefäß (33), wo es dem Kreislauf wieder
zur Verfügung steht.
Ein Teil des Systemgases, der den Pumpeneinlass (1) erreicht, gerät in den Dampfstrom vom Düsenhut (47) der ersten
Stufe. Die Gase werden komprimiert und zur nächsten Stufe weitergeleitet. Anschließend gelangen die Gase über die
Ejektordüse (8) in den Vorvakuumkondensator (17), wo sie (über den Auslass 16) durch Ihre Vorvakuumpumpe
entfernt werden.
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Abschnitt 1.6.
Abschnitt 1.7.
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