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Einbau; Vakuumanschluss - Pfeiffer Vacuum CLR 393 Betriebsanleitung

Cermaic capactance cauge
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3

Einbau

3.1

Vakuumanschluss

14
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >100 kPa
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va-
kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum-
fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >250 kPa
Bei KF- und Tri Clamp-Anschlüssen können elasto-
mere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht
mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschä-
den durch ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.
BG 5049 BDE / A
(2018-05)

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Diese Anleitung auch für:

Clr 394

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