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Funktion; Patente; Lieferumfang - Pfeiffer Vacuum CLR 393 Betriebsanleitung

Cermaic capactance cauge
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Funktion

Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein Gleichstrom-Ausgangssignal umgewandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck und
unabhängig von der zu messenden Gasart.
Der auf konstant 160 °C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert. Ein integriertes Baffle schützt den Sensor
vor Beschichtung.

Patente

EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

Lieferumfang

1× Messröhre CLR 39x
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Betriebsanleitung deutsch
1× Betriebsanleitung englisch
BG 5049 BDE / A
(2018-05)
4

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Diese Anleitung auch für:

Clr 394

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