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Pfeiffer Vacuum CLR 393 Betriebsanleitung Seite 11

Cermaic capactance cauge
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Erdkonzept
Vakuumflansch–Looperde
Werkstoffe gegen Vakuum
Flansch, Rohr
Sensor und Membran
Verbindung Sensor-Membran
Verbindung Keramik-Metall
Inneres Volumen
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Betriebstemperatur
Zulässige Temperatur
Lagerung
Umgebung
Ausheizen
Relative Feuchte
Verwendung
Schutzart
BG 5049 BDE / A
(2020-11)
potentialgetrennt
Edelstahl AISI 316L
Keramik (Al
O
≥99.5%)
2
3
Glaskeramiklot
AgTiCu-Hartlot, Vacon 70
(28% Ni, 23% Co, 49% Fe)
3
≤4.2 cm
260 kPa
600 kPa
160 °C
–40 °C ... +65 °C
+10 °C ... +50 °C
≤200 °C am Flansch
≤80% bei Temperaturen
≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
IP 40
11

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Diese Anleitung auch für:

Clr 394

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