Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum CMR 261
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum CMR 261
- Seite 1 Betriebsanleitung Compact Capacitance Gauge CMR 261 CMR 262 CMR 263 CMR 264 CMR 271 CMR 272 CMR 273 CMR 274 CMR 275 BG 805 161 BD / A (2004-05)
- Seite 2 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Technische Daten 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer Vacuum-Messgeräten 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 4 Betrieb 5 Instandhaltung 5.1 Nullpunkteinstellung 5.2 Rekalibrierung 5.3 Messröhre reinigen 5.4 Verhalten bei Störung...
- Seite 3 Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Pfeiffer Vacuum, D - 35614 Asslar Typ: F-No: Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer Gültigkeit PT R24 500 CMR 261 (mit ½" Rohr) PT R24 501...
- Seite 4 Bestimmungsgemässer Die Compact Capacitance Gauges CMR 261, CMR 262, CMR 263, CMR 264, CMR 271, CMR 272, CMR 273, CMR 274, CMR 275 sind Vakuum-Messröhren Gebrauch und erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in den folgenden Bereichen: CMR 261, CMR 271 - 1100 mbar (1000 mbar F.S.)
- Seite 5 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. <..> Beschriftung Alle Massangaben in mm nicht wegwerfen 1.2 Personalqualifikation Fachpersonal...
- Seite 6 1.4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen • das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produkt- dokumentationen nicht aufgeführt ist.
- Seite 7 CMR 264, CMR 274 1.1 mbar (1 mbar F.S.) CMR 275 - 0.11 mbar (0.1 mbar F.S.) Auflösung CMR 261 ... CMR 263 0.0015 % F.S. CMR 271 ... CMR 273 0.0015 % F.S. CMR 264 0.0025 % F.S. CMR 274, CMR 275 0.0025 % F.S.
- Seite 8 CMR 261, CMR 271 4.0 bar (absolut) CMR 262 ... CMR 264 2.6 bar (absolut) CMR 272 ... CMR 275 1.3 bar (absolut) Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte für Kompakt-Messröhren erfüllen diese Anforderungen. BG 805 161 BD / A (2004-05) CMR2xx.bet...
- Seite 9 Umgebung Zulässige Temperatur Lagerung -40 °C ... +65 °C Betrieb CMR 261 ... CMR 264 + 5 °C ... +50 °C CMR 271 ... CMR 275 +15 °C ... +40 °C Ausheizen CMR 261 … CMR 264 +110 °C max. am Flansch CMR 271 …...
- Seite 10 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. Absperrventil Vorsicht Werden die Messröhren (CMR 263, CMR 264, CMR 273, CMR 274 und CMR 275) längere Zeit auf Atmosphärendruck belüftet, geben sie je nach Dauer der Belastung erst nach mehreren Stunden "Erholzeit"...
- Seite 11 Wird die Messröhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für Kompakt- Messröhren betrieben, kann der Nullpunktabgleich am Messgerät erfolgen. Ansonsten ist die Zugänglichkeit des Potentiometers <zero adj.> zu gewährleisten. Den notwendigen Platzbedarf ersehen Sie aus den Massbildern (→ Montage Schutzdeckel entfernen. Schutzdeckel wird bei Instand- haltungsarbeiten benötigt.
- Seite 12 3.2.1 Verwendung mit Wird die Messröhre mit einem Pfeiffer Vacuum- Pfeiffer Vacuum-Messgerät für Kompakt-Messröhren betrieben, Messgeräten wird ein entsprechendes Messkabel benötigt (→ 22). • Stecker an der Messröhre mit der Schraube sichern. 3.2.2 Verwendung mit anderen Die Messröhre kann auch mit anderen Messgeräten betrieben werden. In diesem Auswertegeräten...
- Seite 13 WARNUNG Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (Pin 6) sind in jedem Fall beim Speisegerät mit Erde zu verbinden. Kabeldose so zusammenbauen, dass die Kabeldose mit ab- gehendem Kabel die Öffnung für <zero adj.> nicht zudeckt. Kabeldose einstecken. Stecker an der Messröhre mit der Schraube sichern.
- Seite 14 Vorsicht Die Messröhre gibt erst bei Betriebstemperatur genaue und repro- duzierbare Messwerte aus. Aufwärmzeiten: ca. 30 Min. CMR 261 ... CMR 264 ca. 1 Stunde CMR 271 ... CMR 275 Aufwärmzeiten bei Hochpräzisionsmessungen: bis zu 2 Stunden CMR 263, CMR 264, CMR 273, CMR 274,...
- Seite 15 Nullpunkt bei dieser Temperatur eingestellt wird ( → 17). Die Einflüsse auf die Gesamt-Messunsicherheit veranschaulicht die nachfolgende Tabelle. Gesamt-Messunsicherheit CMR 261 (bei ∆ t = 1 ° C und F.S. = 1000 mbar) Druck [mbar] 1000 Genauigkeit (0.2 % Messwert) 0.02...
- Seite 16 Niedrigster Druck für Die Messröhre kann in einem Prozessregelsystem integriert werden. Der Regel - Regelungen bereich sollte möglichst zwischen 20% und 80% des Messbereichs der Messröhre liegen. Muss in dem unteren Bereich geregelt werden, ist ein minimaler Abstand vom Nullpunkt zu beachten. Die folgende Tabelle zeigt den niedrigsten Druck für Regelungen im jeweiligen Messbereich für einen Spannungsabstand von 40 mV (Ausgangssignal = 1.040 V).
- Seite 17 1.000 VDC ± 0.200 VDC zero beträgt. Mit <zero fine> gleichen fine Sie nun das Ausgangssignal auf coarse 1.000 VDC ab. Bei Pfeiffer Vacuum-Messgeräten für Kompakt-Messröhren kann der Nullabgleich am Messgerät erfolgen. BG 805 161 BD / A (2004-05) CMR2xx.bet...
- Seite 18 Schutzmassnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Vorsicht Vorsicht: Messkammer nicht reinigen. Reinigungsmittel können die Messkammer beschädigen. Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Gewährleistung, falls der Betreiber versucht, die Messkammer zu reinigen. BG 805 161 BD / A (2004-05) CMR2xx.bet...
- Seite 19 Vorgehen a) Gehäuse mit einem trockenen, sauberen Tuch reinigen. b) Dichtflächen mit einem nichtfasernden, sauberen Tuch sorgfältig reinigen. Vorsicht Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten. 5.4 Verhalten bei Störung Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal dauernd Speisung fehlt Speisung einschalten < 0.4 V Messröhre defekt Messröhre auswechseln Kabel defekt...
- Seite 20 6 Ausbau GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente.
- Seite 21 Messröhre von der Vakuum- apparatur demontieren. Schutzdeckel aufsetzen. BG 805 161 BD / A (2004-05) CMR2xx.bet...
- Seite 22 Wenn Sie das Produkt für Instandhaltungsarbeiten einsenden, versehen Sie es mit einer dichten, schlagfesten Verpackung. 8 Zubehör Bestellnummer Messkabel zu Pfeiffer Vacuum- Messgerät für Kompakt-Messröhren BG 448 250 -T BG 448 251 -T 10 m BG 448 252 -T...
- Seite 23 Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe Produkte, Betriebsmittel usw. müssen unter Umständen speziell entsorgt werden. Zwecks fachgerechter Entsorgung bitte mit Ihrer nächstgelegenen Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt aufnehmen. Unterteilen der Bauteile Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in fol- gende Kategorien zu unterteilen: Bauteile mit Kontakt zu Waren die verwendeten Prozessgase radioaktiv, toxisch, ätzend oder mikrobio-...
- Seite 24 Beziehung zwischen Messsignal und Druck Das Messsignal zwischen 1 ... 9.8 V ist linear mit dem zu messenden Druck zwischen 0 ... 1.1×Vollbereich (F.S.). Die F.S.-Messwerte betragen: CMR 261, CMR 271 1000 mbar CMR 262, CMR 272 100 mbar CMR 263, CMR 273...
- Seite 25 Umrechnungstabelle Messsignal Druck U [V] p [mbar] 0...0.4 Aufnehmerfehler (keine Speisung) 0.4 ... 0.6 Messbereichsunterschreitung (underrange) 0.600 -0.0500 × F.S. 1.000 0.0000 × F.S. 1.800 0.1000 × F.S. 2.600 0.2000 × F.S. 3.400 0.3000 × F.S. 4.200 0.4000 × F.S. 5.000 0.5000 ×...
- Seite 26 Kontaminationserklärung Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung...
- Seite 27 BG 805 161 BD / A (2004-05) CMR2xx.bet...
- Seite 28 Berliner Strasse 43 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.de bg805161bd/ a...