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Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die unge-
schützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressi-
ven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandge-
fahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
NEIN !
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf keinen Fall und
aus keinem Grunde in die Eingangsöffnung der Turbopumpe
gefaßt werden; aus dem gleichen Grunde dürfen keine Ge-
genstände in diese Öffnung gegeben werden. Es wird der
Einsatz eines Schutzgitters (Sonderzubehör) empfohlen. Bei
Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines Metall-
balges auf der Eingangsöffnung muß die Turbopumpe am
Unterteil befestigt werden
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Informationen: siehe Schema in "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V6000 dürfen nur mit den
Varian-Spezial-Controllern (Serie 969-9491, 969-9591) benutzt werden
und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe
Schema in "Technical Information").
Die Turbopumpen müssen in vertikaler Position und mit einer
maximalen Neigung von 10° zur vertikalen Achse installiert wer-
den.
Dabei kann die Pumpe auf ihren Standfüßen ruhend installiert
oder über den Flansch am Pumpeneingang in schwebender Posi-
tion angeschlossen werden.
Installieren Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem
Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um die eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für die jewei-
ligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 500
Doppelklemme mit M
16 Gewinde
Einzelschelle mit M-16
Gewinde
Wenn die Pumpen auf ihren Standfüßen ruhend installiert werden
sollen, müssen in diese über die dafür vorgesehenen M12-
Gewindebohrungen angeschlossen werden.
ANZ.
ANZUGS-
MOMENT
12
80 Nm
12
80 Nm
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
Diese Bohrungen sind auf einem Kreis mit einem Durchmesser
von 550 mm (21,6 Zoll) angebracht.
Die Pumpen werden mit in einem separaten Behälter befindlichen
Schmieröl ausgeliefert, das vor Inbetriebsetzung der Pumpe in die
Ölwanne gegeben werden muß. Weitere Angaben zur Installation
finden Sie im Anhang "Technical Information"
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der entsprechenden Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
!
ACHTUNG !
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen
Druck sein.
!
ACHTUNG !
Um eine Beschädigung der Pumpe auszuschließen, darf der
Schmierölstand während des Pumpenbetriebs nicht unter den
vorgesehenen Mindeststand MIN absinken.
!
ACHTUNG !
Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch ruck-
artigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager beschädigt
werden können.
!
GEFAHR!
Zum Pumpen von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven
Gasen müssen die für das jeweilige Medium vorgeschriebenen
Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Ga-
sen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V6000 sind wartungsfrei. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
Das Schmieröl muß alle 6 Monate oder aber bei sichtbarer Trü-
bung ausgewechselt werden. Ölwechsel: siehe "Technical Infor-
mation".
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " Varian Ad-
vanced Exchange Service" in Anspruch genommen werden, der
Ihnen als Austausch für die beschädigte Pumpe eine general-
überholte Pumpe der gleichen Bauart zur Verfügung stellen wird.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die Fa. Varian geschickt werden. Eine
Kopie dieses Formulars muß den Frachtpapieren beigelegt wer-
den.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
87-900-838-01(B)
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