Inhaltsverzeichnis
Werbung
Verfügbare Sprachen
Verfügbare Sprachen
Quicklinks
TV 301SF
Navigator
Pump model:
969-8917
Kit models:
969-8822
Controller models:
969-8972
87-900-957-01(D)
MAY 2005
969-8823
969-8973
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian TV 301SF Navigator
Inhaltszusammenfassung für Varian TV 301SF Navigator
- Seite 1 MANUALE DI ISTRUZIONI TV 301SF BEDIENUNGSHANDBUCH Navigator NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Pump model: MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8917 BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG Kit models: BRUKSANVISNING 969-8822 969-8823 INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Controller models: ODHGIES CRHSEWS 969-8972 969-8973 FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ...
- Seite 2 TV 301SF Navigator...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 301SF NAVIGATOR...............52 Pump Description ......................52 Controller Description ......................53 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 TV 301SF NAVIGATOR OUTLINE ....................54 INTERCONNECTIONS........................57 P3 - Vent ..........................57 P5 –... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza tenzione a non lasciar cadere il TV 301SF Navigator e a non totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'am- personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso biente. -
Seite 8: Arresto Di Emergenza
NOTA − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con- Il TV 301SF Navigator non può essere fissato tramite la sua dizione di errore. base. Arresto del TV 301SF Navigator Per arrestare il TV 301SF Navigator è sufficiente togliere la ATTENZIONE! tensione di alimentazione. -
Seite 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 10: Allgemeine Informationen
Haftung. angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Modell TV 301SF Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förde-... -
Seite 11: Wartung
Kategorie entspricht. Stoppen von Modell TV 301SF Navigator Der TV 301SF Navigator hat Verbinder für den Ein-und Aus- gang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außen- Zum Stoppen von Modell TV 301SF Navigator ist die Versor- kreise angeschlossen werden müssen, sodaß... -
Seite 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 13: Indications Generales
PREPARATION POUR L'INSTALLATION bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant Le TV 301SF Navigator est livré dans un emballage de protec- supporter un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe. tion spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant La turbopompe à... - Seite 14 COLLIER SERRAGE ISO 100 Collier double 22 Nm Pour allumer le TV 301SF Navigator il suffit de fournir la tension à filet M10 d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique- Collier simple 11 Nm ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il à...
-
Seite 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 16: Información General
INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no INFORMACIÓN GENERAL se caiga el TV 301SF Navigator y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. - Seite 17 Parada del TV 301SF Navigator entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser Para parar el TV 301SF Navigator nte con desenchufarlo de la conectados a los circuitos externos de manera que ninguna corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la parte bajo tensión quede accesible.
-
Seite 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Seite 19: Instalação
Para ulteriores local da Varian. detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 301SF Navigator deve ser ligado a uma bomba primária PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 301SF Navigator é fornecido numa embalagem O TV 301SF Navigator pode ser instalado em qualquer protectora especial;... - Seite 20 Paragem do TV 301SF Navigator instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Para parar o TV 301SF Navigator é suficiente desligar a tensão Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a apropriada para esta categoria.
-
Seite 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 22: Algemene Informatie
De turbopomp met ISO inlaatflens contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301SF Navigator niet 87-900-957-01(D) - Seite 23 Navigator benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze Om de TV 301SF Navigator in te schakelen is het voldoende vastgezet moeten worden. om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller...
-
Seite 24: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Seite 25 TV 301SF Navigator kan installeres i en hvilken som helst Varian repræsentant. position. Fastgør TV 301SF Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Turbopumpen FORBEREDELSE FØR INSTALLATION...
- Seite 26 Stop af TV 301SF Navigator klasse. For at afbryde TV 301SF Navigator er det tilstrækkeligt at TV 301SF Navigator er forsynet med konnektorer til ind- afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder /udgange og til seriel kommunikation.
-
Seite 27: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 28: Allmän Information
Varian före användning av utrustningen. emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av transporten. Se till att TV 301SF Navigator inte tappas eller åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av utsätts för stötar vid uppackningen. - Seite 29 TV 301SF Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut Om du vill stänga av TV 301SF Navigator behöver du bara dra därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter denna klass.
-
Seite 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 31: Klargjøre Til Installasjon
Når TV 301SF Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av slippes ned eller utsettes for noen form for støt. - Seite 32 BRUKERVEILEDNING TV 301SF Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV Starte og bruke TV 301SF Navigator 301SF Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet TV 301SF startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm...
-
Seite 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-957-01(D) -
Seite 34: Yleisiä Tietoja
Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden myyntitoimistoon. täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV ammattitaidottoman henkilön virheellisestä... - Seite 35 KÄYTTÖOHJEET TV 301SF Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset TV 301SF Navigatorin käynnistys ja käyttö tiedot” -liitteen kaaviota). TV 301SF Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään TV 301SF Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa Kiinnittäkää 301SF...
-
Seite 36: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 37 £llh prÒsqeth plhrofor∂a mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H ◊rceste se epafÿ me to topikÒ tmÿma pwlÿsewn. Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ...
- Seite 38 Stam£thma tou TV 301SF Navigator Gia na stamatÿsete to TV 301SF Navigator e∂nai arketÒ na afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktÿj PROSOCH stamat£ am◊swj thn antl∂a. O TV 301SF Navigator anhvkei sth deuvterh kathgoriva egkatavstashÇ...
-
Seite 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely FIGYELEM információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
- Seite 41 Rögzítse a TV 301SF Navigatort stabil helyzetben, a használata turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli A TV 301SF Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a nyomatéknak. tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
-
Seite 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Seite 43 INFORMACJA uszkodzenia ciała. System TV 301SF Navigator, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca UWAGA ! się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
- Seite 44 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz NIEBEZPIECZEŃSTWO! dodatek “Informacje Techniczne” Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów TV 301SF Navigator musi być podłączony do głównej pompy toksycznych, łatwo palnych radioaktywnych, należy (patrz schemat w dodatku “Informacje Techniczne”) wykonać...
-
Seite 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Seite 46 Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly POZNÁMKA způsobit vážný úraz. V normálním prostředí se vývěva TV 301SF Navigator nemůže poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila VAROVÁNÍ...
- Seite 47 Zapnutí a používání vývěvy TV 301SF Navigator Vývěvu TV 301SF Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze Pro uvedení vývěvy TV 301SF Navigator do provozu je nutné a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje která...
-
Seite 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... -
Seite 49: Všeobecné Informácie
štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie v dodatku „Technické informácie“. nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, Zariadenie TV 301SF Navigator sa musí pripojiť k primárnej alebo vibráciám. výveve (pozri „Technické informácie“). 87-900-957-01(D) - Seite 50 NÁVOD K POUŽITIU Zariadenie TV 301SF Navigator môže byť nainštalované Zapnutie a použitie zariadenia TV 301SF v ľubovoľnej polohe.. Upevnite TV 301SF Navigator do stabilnej Navigator polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim Ak chcete zapnúť...
-
Seite 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Seite 52 OPOMBA POZOR Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave TV 301SF Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste poškodbe opreme.
- Seite 53 • Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«; Po direktivi EN 61010-1 spada TV 301SF Navigator v skupino • Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka. za drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
-
Seite 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 55: General Information
The material is 100% recyclable and complies with specific national standards. EEC Directive 85/399. The TV 301SF Navigator is an integrated system with a turbo- molecular pump for high and ultra-high vacuum applications CAUTION with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. - Seite 56 Switching on and Use of TV 301SF Navigator the TV 301SF Navigator in a stable position connecting the inlet To switch on the TV 301SF Navigator it is necessary to supply flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of the mains.
-
Seite 57: Technical Information
3rd stage with a blade angle of 24°, flange. • 4th and 5th stages with a blade angle of 20°, The TV 301SF Navigator kit two models are: • 6th, 7th, 8th and 9th stages with a blade angle − Model 969-8822 with ISO 100 high vacuum of 10°. -
Seite 58: Controller Description
NOTE Recommended fore- mechanical: Varian DS 302 pump dry pump: Varian SH 100 When the TV 301SF Navigator has been stored at a Operating position temperature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. Cooling... -
Seite 59: Tv 301Sf Navigator Outline
TECHNICAL INFORMATION TV 301SF NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 301SF Naviga- tor outlines (dimensions are in inches [mm]). TV 301SF Navigator outline 87-900-957-01(D) - Seite 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (main port) Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (side port) 87-900-957-01(D)
- Seite 61 TECHNICAL INFORMATION Graph of compression ratio (main port) vs foreline pressure Graph of compression ratio (side port) vs foreline pressure 87-900-957-01(D)
-
Seite 62: Interconnections
The following figure shows the TV 301SF inter- connections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 301SF Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. - Seite 63 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must - reference quantity: frequency - threshold: 500 Hz be the following: • - hysteresis: 1% frequency: 100 Hz +/-20% - activation type: "high level" •...
- Seite 64 How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 301SF Navigator to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
-
Seite 65: J6 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972 The following figure shows a typical logic output The following figure shows the input power con- connection (relay coil) but any other device may be nection relevant to the model n. - Seite 66 TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following re- sponse types: NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION it means that the indicated data is the correspond- After a read instruction ing ASCII character.
-
Seite 67: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Window Meanings Source: PC Read/ Data Description Admitted Destination: Controller Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 the window is a STX ADDR WINDOW OFF ETX read only) Remote Remote = 1 Source: Controller (default) or Serial Serial = 0... - Seite 68 Off = 0 are variable) (on = closed) (default = 1) CRC Parameter "XXXX" structure Reserved to Varian service Reserved to Varian service Set the vent valve Automatic = 0 RS 485 address 0 to 31 operation (see note 1.)
-
Seite 69: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screen mod. 969-9302 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%. -
Seite 70: Air Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301SF with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 301SF cooling during heavy op- erational conditions (optional). Fan specifications: − air flow: 140 m − input voltage: 24 Vdc −... -
Seite 71: Water Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION The metallic model is assembled as shown in the WATER COOLING KIT INSTALLATION figure. Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (me- tallic model), and 969-9347 (plastic model). -
Seite 72: Vent Accessories
TV 301SF Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up CAUTION to about 220 min. -
Seite 73: Vibration Isolator Installation
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION A vibration isolator (P/N 969-9342) is available as accessory. It typically reduces the vibration transmitted from the TV 301SF Navigator to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. PURGE VALVE INSTALLATION... -
Seite 74: Serial Cable Installation
The supplied serial cable must be installed when the TV 301SF Navigator or the optional vent valve 4. Press the controller towards the pump; have to be controlled by means of a remote com- puter. -
Seite 75: Connection A - High Vacuum Flange
TECHNICAL INFORMATION Side mounting Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V301SF pump to the ISO NOTE inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. The L-shaped bracket (P/N 969-9349) is available as an option. -
Seite 76: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. -
Seite 77: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Turn off the Turbopump. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. Open the Turbo-V vent port slowly until to As a matter of fact, in case of high magnetic fields, reach atmospheric pressure in the system. - Seite 78 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Seite 79 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 80 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.