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Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die unge-
schützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressi-
ven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
NEIN
!
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall in
die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder irgendwel-
che Gegenstände eingeführt werden. Es wird empfohlen, ein
Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei Installation
eines Erschütterungsdämpfers oder eines flexiblen Metallbal-
ges auf der Einlaßöffnung muß die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-
9562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe ange-
schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
!
GEFAHR!
Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu pum-
penden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe Betriebs-
anleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON (Default:
ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der Pumpe mit
anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu halten.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm um
seine eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für die jewei-
ligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMM-
SCHELLE
ISO 250
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an der
Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befestigen. Tur-
bopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem speziel-
len
Varian-
Befestigungsmaterial
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Tech-
nical Information".
AN.
ANZUGS-
MOMENT
12
22 Nm
12
22 Nm
an
die
Vakuumkammer
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpenge-
häuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden.
Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer darf
die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120°C
nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Wasserkühlung
arbeiten.
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch eventu-
elle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen
Druck sein.
!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager beschädigt werden könnten.
!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer
Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager
ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt werden
darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammba-
ren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen be-
folgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Ga-
sen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. Even-
tuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge-
führt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-
vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
ACHTUNG
!
87-900-914-01(F)
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