Agilent Technologies 947 Betriebs- Und Servicehandbuch Seite 168

Models 947, 948 and 960 Leak Detectors Operations and Service Manual
Symptom
Turbopumpe läuft nicht.
Beim Auftreten anderer Probleme wenden Sie sich bitte an den Kundendienst von Varian
Vacuum Technologies.
5-8
Tablelle 5-4 Fehlersuche (Continued)
Kein Strom.
Lecks
HINWEIS
Prüfung
Varian Vacuum Technologies verweigert die Annahme
eines zurückgesendeten Teils ohne das vorschriftsmäßig
ausgefüllte Formular Return Materials Authorization
(RMA) und ein Gesundheits- und Sicherheitsdatenblatt.
Ein RMA und Gesundheits- und Sicherheitsdatenblatt ist
vom Kundendienst unter 1-800-8VARIAN erhältlich.
Korrektive Maßnahme
Prüfen Sie Ausgänge,
Stromschalter und
Trennschalter.
Ziehen Sie die KF-Klemmen
an.
Vorvakuumpumpen-Manifold
oder Vakuumleitung ist
undicht.
Verifizieren Sie, dass das
Systemdruck-Balkendiagram
m den Mindestwert anzeigt.
Verifizieren Sie, dass die
Thermoelement-Messgeräte
TC1 und TC2 angebracht und
sicher sind.
Verifizieren Sie, dass das
handbetätigte Ventil
geschlossen ist. Für den
Normalbetrieb muss es
geschlossen sein.
Prüfen Sie alle Ventile,
Vakuumleitungen, Anschlüsse
und Vakuumdichtungen auf
ihren vorschriftsmäßigen
Betrieb. Ein Leck oder Bruch
in der Vakuumintegrität kann
einen anormalen Betrieb zur
Folge haben.