Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Bedienungshandbuch Seite 176

14 Návod na Obsluhu
Inštalácia
Tab. 1
PRÍRUBA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k
vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical
Information".
TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
POZNÁMKA
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku "Technical
Information".
176/262
UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS
Svorky M10
Svorky M10
Svorky M10
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
UPEVŇOVACÍ KRÚTIACI
POČET
MOMENT
4 22 Nm
4 22 Nm
4 22 Nm
(C)