Bruk - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Bedienungshandbuch

Bruk

Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye
gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens
oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120 °C.
ADVARSEL! Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene
kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller
gjenstander.
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved forsyning av
FORSIKTIG!
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over
atmosfærisk trykk).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
Instruksjon Manual

Bruk

117/262
9