Použití - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Bedienungshandbuch

Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby
nesmí překročit 120 °C.
NEBEZPEČÍ! Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře.
NEBEZPEČÍ! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
NEBEZPEČÍ!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího
chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám
na věcech.
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic a vlhkosti (např.
POZOR!
dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad
atmosférickým tlakem).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
13
Návod k Použití
Použití
165/262