Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Bedienungshandbuch Seite 116

9 Instruksjon Manual
Installasjon
Tab. 1
FLENS
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For
detaljer henvises det til "Technical Information".
TPS-compact må ikke festes gjennom fundamentet.
MERK
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information".
116/262
TYPE KLEMME
Dobbel klemme, gjenge M10
Dobbel klemme, gjenge M10
Dobbel klemme, gjenge M10
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
ANT. STRAMME-MOMENT
4 22 Nm
4 22 Nm
4 22 Nm
(C)