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Durch Drücken der Taste ► wird die Einstellung abgeschlossen und die Kalibrierung akti-
viert. Das Gerät kehrt in den normalen Messmodus zurück.
8.1.1.4.2.2 Zweipunkt-Kalibrierung
Mit einer Zweipunkt-Kalibrierung kann die Messgenauigkeit der Sonde in einem Schichtdi-
ckenbereich optimiert werden.
Hierzu wird zunächst eine Messfolie, deren Dicke in der Nähe der unteren Grenze des er-
warteten Schichtdickenbereiches liegt, auf das unbeschichtete Substrat aufgelegt und die
Sonde auf der Folie aufgesetzt. Mit den Tasten ▲ bzw. ▼ kann der Messwert justiert wer-
den, bis er die Dicke der Folie anzeigt. Durch Drücken der Taste ► wird die Einstellung be-
stätigt.
Anschließend wir die Sonde auf einer Messfolie aufgesetzt, deren Dicke in der Nähe der
oberen Grenze des Schichtdickenbereiches liegt. Wieder wird mit den Tasten ▲ bzw. ▼ der
Messwert justiert, bis er die Dicke der Folie anzeigt. Durch Drücken der Taste ► wird die
Einstellung abgeschlossen und die Kalibrierung aktiviert. Das Gerät kehrt in den normalen
Messmodus zurück.
8.1.1.4.3 Änderung des Namens einer anwendungsspezifischen Kalibrierung
Die Änderung des Namens einer anwendungsspezifischen Kalibrierung erfolgt wie in
§ 8.1.1.3 beschrieben.
Nach Änderung des Namens springt das Gerät automatisch zurück zu dem Menüpunkt ge-
mäß § 8.1.1.4.
8.1.1.4.4 Löschen einer anwendungsspezifischen Kalibrierung
Durch Drücken der Taste ► erscheint in der Anzeige "OK" bzw. "Abbrechen".
8.1.2
Mittlere Nullreferenz bei rauen Oberflächen
Bei rauen Substratoberflächen schwanken die Werte der Nullreferenz bei wiederholtem Auf-
setzen der Messsonde. Die Schwankungen sind umso größer, je rauer die Oberfläche ist.
Deshalb besteht die Möglichkeit, eine mittlere Nullreferenz zu bestimmen. Dazu kann eine
frei wählbare (max. 19) Anzahl von Nullreferenz-Messwerten definiert werden, die mit der
Sonde aufzunehmen sind, bevor das Gerät daraus die mittlere Nullreferenz errechnet und
abspeichert.
Nach dem Aufruf dieses Menüpunktes werden durch nochmaliges Drücken der Taste ► die
Optionen "Aus" und "Anzahl" aufgerufen.
Wird die Option "Aus" gewählt, erfolgt die Einstellung der Nullreferenz durch einmaliges Auf-
setzen der Messsonde auf dem Substrat.
Nach der Wahl der Option "Anzahl" kann über die Tasten ▲ und ▼ die Anzahl der Werte
eingestellt werden, die für die Berechnung der mittleren Nullreferenz aufgenommen werden
müssen.
Wenn mit dieser Einstellung die Nullreferenz aufgenommen wird, so wird die Anzahl der
noch aufzunehmenden Messwerte angezeigt. Nach Aufnahme der Einzelmesswerte er-
scheint der mittlere Nullwert in Normalgröße in der Anzeige.
8.1.3
Menügeführte Einstellung der Nullreferenz
Über die Menüpunkte „Null" und „Infi" können die entsprechenden Referenzwerte separat
eingestellt werden.
Wählen Sie zur Aufnahme des Nullwerts den Menüpunkt „Null" aus und setzen Sie die Son-
de auf eine der im Gerätekoffer befindlichen Referenzplatten oder ein entsprechendes unbe-
schichtetes Fe- bzw. NFe-Metallteil (siehe auch § 6). Alternativ können Sie den Menüpunkt
„Null" auch bei bereits aufgesetzter Sonde auswählen.
Bedienungsanleitung QNix
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