Spülgase; Gasballast-Steuerung - Edwards E2M0.7 Betriebsanleitung

A371–22–882 Issue P
4.1.3 Spülgase
Wenn Sie mit einer Inertgas-Spülung gefährliche Gase bis auf ein sicheres Niveau verdünnen,
müssen Sie sicherstellen, dass die Pumpe bei einer Störung der Inertgas-Versorgung abgeschaltet
wird.
Sie müssen die nachstehenden Anweisungen befolgen und die unten aufgeführten
Vorbeugemaßnahmen ergreifen, um sicherzustellen, dass die gepumpten Gase nicht ihren
zündfähigen Bereich erreichen.
Schalten Sie die Inertgas-Spülung vor Prozessbeginn ein, um Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu spülen.
Schalten Sie die Inertgas-Spülung nach Prozessende erst aus, nachdem alle verbliebenen zündfähigen Gase und
Dämpfe aus der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die zündfähige Dämpfe erzeugen, in der Vorvakuumleitung der Pumpe vorhanden sind, sollte die
Inertgas-Spülung der Pumpe ständig eingeschaltet bleiben, solange diese Flüssigkeiten vorhanden sind. Zündfähige
Flüssigkeiten können in der Vorvakuumleitung aufgrund von Kondensation vorhanden sein oder sie sind während des
Prozesses in die Leitung eingebracht worden.
Wenn Sie die für die Verdünnung erforderliche Durchflussrate des Inertgases berechnen, müssen Sie dabei die
maximal mögliche Durchflussrate der zündfähigen Gase/Dämpfe berücksichtigen. Falls Sie beispielsweise einen
Masseflussregler einsetzen, um dem Prozess zündfähige Gase zuzuführen, müssen Sie für die zündfähigen Gase die
Durchflussrate ansetzen, die bei voller Öffnung des Masseflussreglers maximal möglich wäre.
Messen Sie kontinuierlich den Durchfluss des zur Spülung verwendeten Inertgases. Falls der Durchfluss kleiner ist als
erforderlich, müssen Sie die Zufuhr von zündfähigen Gasen oder Dämpfen zur Pumpe sofort unterbrechen.
Hinweis: Es wird empfohlen, weitere Informationen im Edwards-Handbuch „Sicherheit von Vakuumpumpen und
Vakuumsystemen" (Publikationsnummer P300-20-000) nachzuschlagen, das Sie von Edwards oder Ihrem
Lieferanten beziehen können.
4.2

Gasballast-Steuerung

Verwenden Sie die Gasballast-Steuerung
zugeführte Luftmenge (oder Inertgas-Menge) zu verändern. Die Verwendung von Gasballast verhindert die
Kondensation von Dämpfen in der Pumpe; die Kondensate würden das Öl verunreinigen.
Lassen Sie das Gasballast-Ventil geschlossen:
um den Vakuum-Enddruck zu erreichen
um trockene Gase zu pumpen
Drehen Sie die Gasballast-Steuerung sechs Umdrehungen gegen den Uhrzeigersinn, um das Gasballast-Ventil
vollständig zu öffnen. Es wird vollständig geöffnet:
um hohe Konzentrationen kondensierbarer Dämpfe zu pumpen
um das Pumpenöl zu dekontaminieren
Wenn Sie die Pumpe mit geöffnetem Gasballast-Ventil betreiben, erhöht sich der Ölverbrauch der Pumpe.
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WARNUNG
WARNUNG
(Abbildung 1, Position 5), um die der Niedervakuumstufe der Pumpe
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