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Abbildung 20 - Hochvakuum-Absperrventil: Diffstak-Pumpen 63/150, 100/300 und 160/700
1. Ventilschaft
2. O-Ringe für Ventilschaft
3. Schraube (3 Stück)
Abbildung 21 - Hochvakuum-Absperrventil: Diffstak-Pumpen 250/2000
1. Nadelwalzenlager
2. O-Ringe für Ventilschaft
3. Ventilplatte
4. Ventilschaft
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Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
4. Ventilplatte
5. Abschlussplatte
6. Ventilplattendichtung
5. Schraube (4 Stück)
6. Abschlussplatte
7. Ventilplattendichtung
B344-21-882 Ausgabe N
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