Verwandte Anleitungen für Edwards Diffstak Mk2 63/150 Serie
Inhaltszusammenfassung für Edwards Diffstak Mk2 63/150 Serie
- Seite 1 B344-21-882 Ausgabe N Betriebsanleitung Diffusionspumpen Diffstak® Mk2 Diffstak-Pumpen 63/150, 100/300, 160/700 und 250/2000, Modelle M-, P-, C- und F...
- Seite 2 Diese Seite bleibt frei.
- Seite 3 Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, Diffstak 63 Diffstak 100...
- Seite 4 Konformitätserklärung Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, Diffstak 160 Diffstak 250...
- Seite 5 Bedienung ..................31 Einführung .......................31 Einschalten der Pumpe ....................31 Belüften Ihres Vakuumsystems ..................34 Erneute Evakuierung Ihres Vakuumsystems .................34 Ausschalten der Pumpe ....................34 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 6 Ersatzteile für alle Diffstak-Pumpen .................52 7.3.3 Ersatzteile für Diffstak-Pumpenmodelle M und P ..............52 Zubehör ........................53 Für die Rückführung von Ausrüstung an Edwards füllen Sie bitte die HS-Formulare am Ende dieses Handbuchs aus. Seite ii © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten.
- Seite 7 Warenzeichen von Ausimont SpA. Viton™ ist ein Warenzeichen von DuPont Dow Elastomers L.L.C. Diffstak ist ein Warenzeichen der Edwards-Unternehmensgruppe. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 8 B344-21-882 Ausgabe N Diese Seite bleibt frei. Seite iv © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 9 Einführung Umfang und Definitionen Diese Anleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Edwards Diffusionspumpen Diffstak Mk2. Die Diffstak-Pumpe darf nur so, wie in diesem Handbuch erläutert, verwendet werden. Lesen Sie sich die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch. Wichtige Sicherheitsangaben sind durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben.
- Seite 10 (Baffle) eine mit flüssigem Stickstoff gekühlte Scheibe von hohem Leitwert. Die Pumpen sind für Anwendungen ausgelegt, die beim Pumpen unter hohen Dampfdrücken minimale Abpumpzeiten erfordern. Seite 2 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 11 Die Ausstoß-Düse reinigt das Treibmittel ebenfalls von allen kontaminierenden Stoffen, wenn es zum Dampferzeuger zurückkehrt, und gleichzeitig wird ein hoher kritischer Vorvakuumdruck auch bei der Verwendung von Treibmitteln mit niedrigem Dampfdruck sichergestellt. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 12 28. Treibmittelablass 8. Vorvakuumanschluss 20. Strahlungsschild 9. Vorvakuumkondensator 21. Dampfrohr 10. Montageplatte für Schalter 22. Düsenbaugruppe für die „Pumpe betriebsbereit“ 3. Stufe Seite 4 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 13 14. Klemmenblock Wasserkühlung 7. Zugstange 15. Elektrokabel 23. Obere Düsenbaugruppe 8. Vorvakuumanschluss 16. Heizelement 24. Kappe Schalendampfsperre 9. Vorvakuumkondensator 17. Dampferzeuger (Baffle) © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 14 16. Düsenbaugruppe für die 3. Stufe Messstab 7. Vorvakuumanschluss 17. Montageplatte für 23. Treibmittelablass 8. Baffle-Kondensator Thermoschalter 9. Auslauf der Vorvakuumpumpe „Kühlung defekt“ 10. Ejektordüse 18. Dampfrohr Seite 6 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 15 16. Strahlungsschild 7. Zugstange 17. Montageplatte für Thermoschalter 8. Vorvakuumanschluss „Kühlung defekt“ 9. Baffle-Kondensator 18. Pumpengehäuse 10. Auslauf der Vorvakuumpumpe 19. Hochvakuum-Absperrventil © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 16 B344-21-882 Ausgabe N Diese Seite bleibt frei. Seite 8 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 17 Drehmoment Befestigungsschrauben 0,4 Nm 0,4 Nm Für alle Anwendungen, die keinen maximalen Durchsatz erfordern, kann die RV3 verwendet werden. † Nur Pumpenmodell P © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 18 46 kg Modell F 10 kg 20 kg Abmessungen Siehe Abbildung 7 Angaben zum Pumpentreibmittel Hinweis: Edwards-Materialsicherheitsdatenblätter für die folgenden Betriebsmittel sind auf Anfrage erhältlich. Treibmitteltyp Kritischer Vorvakuumdruck Endvakuum Santovac 5 0,6 mbar 6,0 x 10 3 x 10 mbar...
- Seite 19 110 - 125 V, einphasig, 50/60 Hz B346-40-976 B348-40-976 210 - 225 V, einphasig, 50/60 Hz B346-40-977 B348-40-977 230 - 250 V, einphasig, 50/60 Hz B346-40-978 B348-40-978 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 20 B344-21-882 Ausgabe N Abbildung 5 - Abmessungen (mm) der Diffstak-Pumpen, Modell M 1. 63/150M 3. 60/700M 2. 100/300M 4. 250/2000M Seite 12 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 21 B344-21-882 Ausgabe N Abbildung 6 - Abmessungen (mm) der Diffstak-Pumpen, Modell P 1. 63/150P 3. 160/700P 2. 100/300P 4. 250/2000P © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 22 B344-21-882 Ausgabe N Abbildung 7 - Abmessungen (mm) der Diffstak-Pumpen, Modell C 1. 63/150C 3. 160/700C 2. 100/300C 4. 250/2000C Seite 14 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 23 Diffstak-Pumpe 250/2000 mit einem dünnen Film dieser Flüssigkeit beschichtet. Die Pumpe ist zu reinigen, bevor sie mit einer anderen Flüssigkeit als Santovac 5 befüllt wird (vgl. Abschnitt 3.9). © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 24 Typische Konfigurationen eines Vakuumsystems, in dem eine Diffstak-Pumpe installiert ist, zeigen die Abbildungen 18 und 19. Die zum Anschluss der Vorvakuum- und Grobvakuumleitungen erforderlichen Edwards-Komponenten sind in Abbildungen 12 gezeigt. Einige dieser Komponenten werden im Montagesatz geliefert – um welche es sich dabei handelt, entnehmen Sie bitte dem Schlüssel der jeweiligen Abbildung.
- Seite 25 M10 x 120 M10 x 110 Abbildung 8 - Angaben zur Befestigung des Einlassflansches 1. Einlassflansch 3. Bolzen 2. Befestigungsloch 4. Schraube © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 26 1. Kupferkompressionsdichtung 2. Diffstak-Einlassflansch 3. CF-Flansch Abbildung 11 - Einlassanschluss Diffstak-Modell C 1. CoSeal-Dichtung 2. ISO-Rohr mit Kragenflansch 3. Flanschklemme 4. Diffstak-Einlassflansch Seite 18 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 27 Für die Pumpen der Modellreihe C nicht erforderlich. Verwenden Sie Spannklammern, um den ISO-Hochvakuumflansch der Pumpe direkt auf das ISO-Rohr mit Kragenflansch zu schrauben. Die Schrauben sind nicht von Edwards erhältlich. Für die Pumpen der Modellreihe C sind keine Schrauben erforderlich. Verwenden Sie Spannklammern, um den ISO-Hochvakuumflansch der Pumpe direkt auf das ISO-Rohr mit Kragenflansch zu schrauben.
- Seite 28 ISO-Hochvakuumflansch der Pumpe direkt auf das ISO-Rohr mit Kragenflansch zu schrauben; für den ISO250-Flansch verwenden Sie 6 Flanschklemmen. Die Schrauben sind nicht von Edwards erhältlich. Für die Pumpen der Modellreihe C sind keine Schrauben erforderlich. Verwenden Sie Spannklammern, um den ISO-Hochvakuumflansch der Pumpe direkt auf das ISO-Rohr mit Kragenflansch zu schrauben.
- Seite 29 7) oder alternativen Lieferanten erhältlich. Wir empfehlen Ihnen, ein kombiniertes Edwards Vorvakuum-/Grobvakuumventil, Modell BRV, zu verwenden, weil es speziell für die Diffstak-Pumpen 63/150, 100/300 und 160/700 ausgelegt ist. Zur Auswahl der Betriebsarten „Grobvakuum“ bzw. „Vorvakuum“ müssen zwei separate Ventile (z.B. das Edwards-Modell PV40) verwendet werden, um eine Diffstak-Pumpe 250/2000 an Ihr Vakuumsystem anzuschließen.
- Seite 30 5.8), trocknen Sie die Heizelemente etwa 8 Stunden in einem Ofen bei einer Temperatur von 180 C und bauen Sie die Heizelemente wieder in die Pumpe ein. Seite 22 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 31 2. Heizelementanschluss 3. Heizelementanschluss 4. Schutzrohradapter 5. Erdungs- (Masse-) Anschluss 6. Strahlungsschild 7. Klemmenblock aus Keramik 8. Heizelementkabel aus Nickel 9. Anschlusskasten © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 32 Der Schalter ist auf einer voreingestellten Temperaturstufe in Kraft, wenn das Düsensystem in der Pumpe die Betriebstemperatur erreicht hat. Dieser Schalter kann am Ende des Ejektorstufen-Gehäuses angebracht werden. Hinweise zur Installation enthält die zum Schalter zugehörige Betriebsanleitung. Seite 24 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 33 Die Anschlussklemme, die dem Antrieb am nächsten liegt, ist die gemeinsame Anschlussklemme; die Anschlussklemme am anderen Ende des Mikroschalters ist der Ruhekontakt; die Anschlussklemme in der Mitte des Mikroschalters ist der Arbeitskontakt. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 34 Der erforderliche Grad der Dichtigkeit hängt von der konkreten Anwendung des Systems ab. Zur Gewährleistung der Integrität Ihres Systems und der zugehörigen Vakuumdichtungen sind die Dichtigkeitsprüfungen unbedingt durchzuführen. Seite 26 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 35 Potenziell lenwasserstoffe, Substanzen. tödlich einschließlich Giftig und ätzend, Fluorwasserstoff- wenn sie Perfluorpolyether säure eingeatmet werden und mit der Haut in Kontakt kommen. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 36 8. Diffstak Hochvakuum-Absperrventil (für eine 3. Filter ausfallsichere, geschlossene Installation) 4. Druckregler 9. Diffstak Hochvakuum-Absperrventil (für eine 5. Schmiervorrichtung ausfallsichere, offene Installation) 6. Standardmäßiges 5-Wege-Steuerventil Seite 28 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 37 6. Setzen Sie den Messstab ein und bringen Sie den O-Ring an. Drehen Sie die Rändelmutter an den Treibmitteleinfüllanschluss auf und ziehen Sie diese fest. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 38 B344-21-882 Ausgabe N Diese Seite bleibt frei. Seite 30 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 39 Pa) oder niedriger erreicht ist, wählen Sie „Vorvakuum“ aus und öffnen Sie dann langsam das Hochvakuum-Absperrventil. Wird das Ventil zu schnell geöffnet, könnte die Pumpe abgewürgt werden. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 40 Abbildung 18 - Typisches Pumpsystem: Diffstak-Pumpen 63/150, 100/300 und 160/700 1. Hochvakuum-System 5. Vorvakuum-Messzelle 2. Lufteinlassventil 6. Lufteinlassventil 3. Hochvakuum-Messzelle 7. Drehschieber-Vorvakuumpumpe 4. Kombiniertes Grobvakuum- und 8. Diffstak-Pumpe Vorvakuumventil 9. Hochvakuum-Absperrventil Seite 32 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 41 Abbildung 19 - Typisches Pumpsystem: Diffstak-Pumpen 250/2000 1. Hochvakuum-System 6. Lufteinlassventil 2. Lufteinlassventil 7. Drehschieber-Vorvakuumpumpe 3. Hochvakuum-Messzelle 8. Vorvakuumventil 4. Grobvakuumventil 9. Diffstak-Pumpe 5. Vorvakuum-Messzelle 10. Hochvakuum-Absperrventil © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 42 Schalten Sie die Vorvakuumpumpe nicht aus, sofern keine Luft in die Vorvakuumleitung eingelassen wird, anderenfalls wird Öl aus der Vorvakuumpumpe in die Vorvakuumleitung gezogen. 4. Schalten Sie die Kühlwasserzufuhr ab. Seite 34 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 43 Diese Zersetzungsprodukte sind sehr gefährlich. Die Diffstak-Pumpe könnte überhitzt worden sein, falls die Pumpe bestimmungsfremd verwendet wurde oder falls eine Störung auftrat. Auf Wunsch sind Edwards-Materialsicherheitsdatenblätter für die in der Diffstak-Pumpe verwendeten fluorierten Substanzen erhältlich. Zur Reinigung der Pumpe keine scheuernden oder reaktiven Chemikalien verwenden.
- Seite 44 5. Kontrollieren Sie den O-Ring des Messstabs. O-Ring bei sichtbarer Beschädigung oder nach Überhitzung erneuern. 6. Setzen Sie den Messstab und O-Ring wieder ein. Seite 36 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 45 2. Entfernen Sie die Schrauben, welche die Ventilplatte an der Welle sichern, und trennen Sie die Ventilplatte (siehe Abbildungen 20 und 21). 3. Ziehen Sie den Ventilschaft mitsamt dem Hebel vorsichtig vom Ventilkörper herunter. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 46 Düsenkappe der Diffstak 160/700) und heben Sie die komplette innere Düsen-Baugruppe vom Körper ab. An Diffstak-Pumpen 250/2000 schrauben Sie die Kappe der oberen Düse ab und entfernen die Baugruppen der zweiten und dritten Stufe separat. Seite 38 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 47 Abbildung 21 - Hochvakuum-Absperrventil: Diffstak-Pumpen 250/2000 1. Nadelwalzenlager 5. Schraube (4 Stück) 2. O-Ringe für Ventilschaft 6. Abschlussplatte 3. Ventilplatte 7. Ventilplattendichtung 4. Ventilschaft © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 48 Öffnen und schließen Sie das Ventil einige Male langsam, um zu gewährleisten, dass die Ventilplatte mittig auf dem Ventilschaft sitzt. Ziehen Sie die Schrauben dann, wenn das Ventil vollständig geschlossen ist, fest an. (Fortsetzung auf Seite Seite 40 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 49 Abbildung 24 - Pneumatischer Antrieb für das Absperrventil: Diffstak-Pumpen 250/2000P 1. Sicherungsring 2. Pneumatischer Antrieb 3. Halterung 4. Halteschrauben 5. Mikroschalter „Ventil geschlossen“ 6. Ventilkörper 7. Mikroschalter „Ventil offen“ © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 50 1. Entfernen Sie die Heizelement-Baugruppe. 2. Entfernen Sie das Strahlungsschild. 3. Reinigen Sie das Strahlungsschild. 4. Setzen Sie das Strahlungsschild und danach die Heizelement-Baugruppe wieder ein. Seite 42 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 51 5. Bauen Sie das Ventil wieder zusammen und setzen Sie es so, wie in Abschnitt 5.5.6 erläutert, wieder in die Pumpe ein. © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 43 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 52 Erdungsschraube. Bringen Sie die Abdeckung wieder auf dem Anschlusskasten (1) an. Abbildung 25 - Heizelement-Baugruppe: Diffstak-Pumpen 63/150 und 100/300 1. Anschlusskasten 4. Strahlungsschild 2. Heizelement 5. Dampferzeuger 3. Mutter Seite 44 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 53 Abbildung 26 - Heizelement-Baugruppe: Diffstak-Pumpen 160/700 und 250/2000 1. Anschlusskasten 5. Strahlungsschild 2. Heizelement 6. Klemmplatten 3. Mutter 7. Dampferzeuger 4. Mutter © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 54 10. Tragen Sie ein geeignetes Gewindedichtmittel (z.B. Loctite 222e) auf die Klemmschraube (7) auf und ziehen Sie die Klemmschraube auf ein Drehmoment von 0,4 Nm fest. Seite 46 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 55 Abbildung 27 - Justierung oder Erneuerung des Stellungsanzeigers 1. Stellungsanzeiger (Ventil geschlossen) 5. Spalt 2. Spalt 6. Stellungsanzeiger (Ventil offen) 3. Schwalbenschwanznut 7. Klemmschraube 4. Stellungsanzeigerkabel © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 47 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 56 Überprüfen und korrigieren. eingeschlossen? Sind die O-Ring-Dichtungen Überprüfen und korrigieren. übermäßig geschmiert? Ist zu viel Treibmittel eingefüllt? Die entsprechende Menge Treibmittel ablassen. Seite 48 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 57 Bauteile, die mit dem Pumpentreibmittel in Berührung gekommen sind Fluoroelastomere, die eventuell Temperaturen über 315 C ausgesetzt waren (siehe Abschnitt 5.1) Bauteile, die durch gefährliche Prozesschemikalien kontaminiert worden sind © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 49 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 58 B344-21-882 Ausgabe N Diese Seite bleibt frei. Seite 50 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 59 Die Mehrzahl dieser Unternehmen beschäftigt Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen besucht haben. Ersatzteile und Zubehör bestellen Sie bitte bei Ihrer zuständigen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an: Modell und Bestellnummer Ihrer Anlage...
- Seite 60 B3 44-32-023 Für die Diffstak-Pumpen 160/700 und 250/2000 ist jeweils ein Heizelement jeder Nennleistung erforderlich. ▲ 5er-Pack ✝ 2er-Pack ◆ Nur Pumpenmodell P Seite 52 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 61 5-Wege-Steuerventile, Standard 110 V AC, einphasig, 50/60 Hz H062-00-136 230 V AC, einphasig, 50/60 Hz H062-00-137 CoSeal-Dichtung, Polymer/Fluorelastomer ✝ O-Ring Außenstützring, Baugruppe © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Seite 53 Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 62 B344-21-882 Ausgabe N Diese Seite bleibt frei. Seite 54 © Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edward-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 63 Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der...
- Seite 64 edwardsvacuum.com...