Geschwindigkeit
Digitale Geschwindigkeit
20 µm System
0004
0020
0040
0100
(5 µm)
(1 µm)
(0,5 µm)
(0,2 µm)
10
10
10
6,48
10
10
10
5,4
10
10
8,1
3,24
10
10
6,75
2,7
10
9
4,5
1,8
10
8,1
4,05
1,62
10
6,48
3,24
1,29
10
4,5
2,25
0,9
10
3,37
1,68
0,67
4,2
0,84
0,42
0,16
40 µm System
0004
0020
0040
0100
(10 µm)
(2 µm)
(1 µm)
(0,4 µm)
20
20
20
12,96
20
20
20
10,8
20
20
16,2
6,48
20
20
13,5
5,4
20
18
9
3,6
20
16,2
8
3,24
20
12,96
6,48
2,58
20
9
4,5
1,8
20
6,74
3,36
1,34
8,4
1,68
0,84
0,32
68
ATOM Wegmesssystem
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
0200
0400
1000
2000
(0,1 µm)
(50 nm)
(20 nm)
(10 nm)
3,24
1,62
0,648
0,324
2,7
1,35
0,54
0,27
1,62
0,81
0,324
0,162
1,35
0,675
0,27
0,135
0,9
0,45
0,18
0,09
0,81
0,405
0,162
0,081
0,648
0,324
0,13
0,065
0,45
0,225
0,09
0,045
0,338
0,169
0,068
0,034
0,084
0,042
0,017
0,008
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
0200
0400
1000
2000
(0,2 µm)
(0,1 µm)
(40 nm)
(20 nm)
6,48
3,25
1,296
0,648
5,4
2,7
1,08
0,54
3,24
1,62
0,648
0,324
2,7
1,34
0,54
0,27
1,8
0,9
0,36
0,18
1,62
0,8
0,324
0,162
1,296
0,648
0,26
0,13
0,9
0,45
0,18
0,09
0,676
0,338
0,136
0,068
0,168
0,084
0,034
0,016
Minimale empfohlene
Zählereingangsfrequenz
4000
10KD
20KD
(5 nm)
(2 nm)
(1 nm)
0,162
0,0654
0,032
0,135
0,054
0,027
0,081
0,032
0,016
0,068
0,027
0,013
0,045
0,018
0,009
0,041
0,016
0,0081
0,032
0,013
0,0065
0,023
0,009
0,0045
0,017
0,0068
0,0034
0,004
0,0017
0,0008
Minimale empfohlene
Zählereingangsfrequenz
4000
10KD
20KD
(10 nm)
(4 nm)
(2 nm)
0,324
0,013
0,064
0,27
0,108
0,054
0,162
0,064
0,032
0,136
0,054
0,026
0,09
0,036
0,018
0,082
0,032
0,0162
0,064
0,026
0,013
0,046
0,018
0,009
0,034
0,0136
0,0068
0,008
0,0034
0,0016
Analoge
Geschwindigkeit
20 µm System
10 m/s (−3dB)
(MHz)
50
40
25
20
12
10
8
6
4
1
40 µm System
20 m/s (−3dB)
(MHz)
50
40
25
20
12
10
8
6
4
1