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Geschwindigkeit
Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang
5 µm
1 µm
0,5 µm
(MHz)
(D)
(X)
(Z)
50
12
12
12
40
12
12
12
12
12
9,06
25
12
12
8,06
20
12
10,36
5,18
12
10
12
8,53
4,27
12
6,91
3,45
08
06
12
5,37
2,69
04
12
3,63
1,81
01
4,53
0,910
0,450
*Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
VIONiC RKLC20-S Wegmesssystem – Installationshandbuch
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
0,2 µm
0,1 µm
50 nm
40 nm
25 nm
(W)
(Y)
(H)
(M)
(P)
7,25
3,63
1,81
1,45
0,906
5,80
2,90
1,45
1,16
0,725
3,63
1,81
0,906
0,725
0,453
3,22
1,61
0,806
0,645
0,403
2,07
1,04
0,518
0,414
0,259
1,71
0,850
0,427
0,341
0,213
1,38
0,690
0,345
0,276
0,173
1,07
0,540
0,269
0,215
0,134
0,730
0,360
0,181
0,145
0,091
0,180
0,090
0,045
0,036
0,023
Mindestflankenabstand*
20 nm
10 nm
5 nm
2.5 nm
(I)
(O)
(Q)
(R)
0,725
0,363
0,181
0,091
0,580
0,290
0,145
0,073
0,363
0,181
0,091
0,045
0,322
0,161
0,081
0,040
0,207
0,104
0,052
0,026
0,171
0,085
0,043
0,021
0,138
0,069
0,035
0,017
0,107
0,054
0,027
0,013
0,073
0,036
0,018
0,009
0,018
0,009
0,005
0,002
(ns)
25,3
31,8
51,2
57,7
90,2
110
136
175
259
1038
13
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