Geschwindigkeit - Renishaw ATOM DX Installationshandbuch

Geschwindigkeit

20 µm Messsystem
Zählerfrequenz
getakteter
D X
Ausgang (MHz)
(5 µm) (1 µm)
50 10 10
40 10 10
25 10 10
20 10 10
12 10 10
10
10 8,53
08 10 6,91
06 10 5,37
04 10 3,63
01 4,53 0,91
40 µm Messsystem
Zählerfrequenz
getakteter
T D
Ausgang (MHz)
(10 µm) (5 µm)
50 20 20
40
20 20
25 20 20
20
20 20
12
20 20
10 20 20
08 20 20
06 20 20
04 20 18,13
01 9,06 4,53
*
Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
Drehzahl abhängig vom Scheibendurchmesser, Umrechnung nach:
V × 1000 × 60
Drehzahl (min-1) =
Wobei V = maximale Umfangsgeschwindigkeit (m/s) und D = optischer Durchmesser der RCDM ist (in mm).
p
D
ATOM DX
Winkelmesssystem – Installationshandbuch
Maximale Geschwindigkeit (m/s) *
Z W Y
(0,5 µm) (0,2 µm) (0,1 µm)
10 7,25 3,63
10 5,80 2,90
9,06 3,63 1,81
8,06 3,22 1,61
5,18 2,07 1,04
4,27 1,71 0,85
3,45 1,38 0,69
2,69 1,07 0,54
1,81 0,73 0,36
0,45 0,18 0,09
Maximale Geschwindigkeit (m/s) *
G
X Z
(2 µm)
(1 µm) (0,5 µm) (0,2 µm)
20 20 18,13
20 20 14,50
20 18,13 9,06
20 16,11 8,06
20 10,36 5,18
17,06 8,53 4,27
13,81 6,91 3,45
10,74 5,37 2,69
7,25 3,63 1,81
1,81 0,91 0,45
Abtastkopftyp
H M I
(50 nm) (40 nm) (20 nm)
1,813 1,450 0,725
1,450 1,160 0,580
0,906 0,725 0,363
0,806 0,645 0,322
0,518 0,414 0,207
0,427 0,341 0,171
0,345 0,276 0,138
0,269 0,215 0,107
0,181 0,145 0,073
0,045 0,036 0,018
Abtastkopftyp
W Y H
(0,1 µm) (50 nm) (40 nm)
7,25 3,63 1,813 1,450
5,80 2,90 1,450 1,160
3,63 1,81 0,906 0,725
3,22 1,61 0,806 0,645
2,07 1,04 0,518 0,414
1,71 0,85 0,427 0,341
1,38 0,69 0,345 0,276
1,07 0,54 0,269 0,215
0,73 0,36 0,181 0,145
0,18 0,09 0,045 0,036
O Q R
(10 nm) (5 nm) (2,5 nm)
0,363 0,181 0,091
0,290 0,145 0,073
0,181 0,091 0,045
0,161 0,081 0,040
0,104 0,052 0,026
0,085 0,043 0,021
0,069 0,035 0,017
0,054 0,027 0,013
0,036 0,018 0,009
0,009 0,005 0,002
M
I O Q
(20 nm) (10 nm) (5 nm)
0,725 0,363 0,181
0,580 0,290 0,145
0,363 0,181 0,091
0,322 0,161 0,081
0,207 0,104 0,052
0,171 0,085 0,043
0,138 0,069 0,035
0,107 0,054 0,027
0,073 0,036 0,018
0,018 0,009 0,005
Mindestflankenabstand *
(ns)
25,1
31,6
51,0
57,5
90,0
109
135
174
259
1038
Mindestflankenabstand *
(ns)
25,1
31,6
51,0
57,5
90,0
109
135
174
259
1038
18