Geschwindigkeit - Renishaw ATOM DX Installationshandbuch

Geschwindigkeit

20 µm Messsystem
Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang
D
(MHz)
(5 µm) (1 µm)
50 10
40 10
25 10
20 10
12 10
10 10 8,53
08 10 6,91
06 10 5,37
04 10 3,63
01
4,53 0,91
40 µm Messsystem
Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang
T D
(MHz)
(10 µm) (5 µm)
50 20 20
40 20 20
25 20 20
20 20 20
12 20 20
10 20 20
08 20 20
06 20 20
04 20 18,13
01 9,06 4,53
* Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
ATOM DX Wegmesssystem – Installationshandbuch
X Z W
(0,5 µm) (0,2 µm)
10 10 7,25
10 10 5,80
10 9,06 3,63
10 8,06 3,22
10 5,18 2,07
4,27 1,71
3,45 1,38
2,69 1,07
1,81 0,73
0,45 0,18
G X Z
(2 µm) (1 µm) (0,5 µm)
20 20 18,13
20 20 14,50
20 18,13 9,06
20 16,11 8,06
20 10,36 5,18
17,06 8,53 4,27
13,81 6,91 3,45
10,74 5,37 2,69
7,25 3,63 1,81
1,81 0,91 0,45
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Abtastkopftyp
Y H M
(0,1 µm) (50 nm) (40 nm)
3,63 1,813 1,450
2,90 1,450 1,160
1,81 0,906 0,725
1,61 0,806 0,645
1,04 0,518 0,414
0,85 0,427 0,341
0,69 0,345 0,276
0,54 0,269 0,215
0,36 0,181 0,145
0,09 0,045 0,036
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Abtastkopftyp
W Y H
(0,2 µm) (0,1 µm) (50 nm)
7,25 3,63 1,813
5,80 2,90 1,450
3,63 1,81 0,906
3,22 1,61 0,806
2,07 1,04 0,518
1,71 0,85 0,427
1,38 0,69 0,345
1,07 0,54 0,269
0,73 0,36 0,181
0,18 0,09 0,045
I O Q
(20 nm) (10 nm) (5 nm)
0,725 0,363 0,181
0,580 0,290 0,145
0,363 0,181 0,091
0,322 0,161 0,081
0,207 0,104 0,052
0,171 0,085 0,043
0,138 0,069 0,035
0,107 0,054 0,027
0,073 0,036 0,018
0,018 0,009 0,005
M I O
(40 nm) (20 nm) (10 nm)
1,450 0,725 0,363
1,160 0,580 0,290
0,725 0,363 0,181
0,645 0,322 0,161
0,414 0,207 0,104
0,341 0,171 0,085
0,276 0,138 0,069
0,215 0,107 0,054
0,145 0,073 0,036
0,036 0,018 0,009
Mindestflankenabstand *
(ns)
R
(2,5 nm)
0,091 25,1
0,073 31,6
0,045 51,0
0,040 57,5
0,026 90,0
0,021 109
0,017 135
0,013 174
0,009 259
1038
0,002
Mindestflankenabstand *
(ns)
Q
(5 nm)
0,181 25,1
0,145 31,6
0,091 51,0
0,081 57,5
0,052 90,0
0,043 109
0,035 135
0,027 174
0,018 259
0,005 1038
31