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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Transmitter VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisen-
sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem
Kaltkathoden-Ionisationssensor (invertiertes Magnetron).
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Der Kaltkathoden-Sensor vom Typ invertiertes Magnetron erzeugt in einer Gas-
entladung ionisiert Gasmoleküle. Der gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die
Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle und somit für den Absolutdruck.
Schnittstellen
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Trans-
mitters oder über den EtherCAT Anschluss digital ausgelesen werden. Darüber
hinaus können verschiedene Parameter wie Gasart-Korrekturfaktoren program-
miert werden. Weitere Informationen hierzu finden Sie in Kapitel 5.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20 mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N
bzw. trockene Luft abge-
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glichen. Für andere Gase können Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt
werden, so dass unterhalb 0,1 mbar eine korrekte Druckausgabe resultiert (siehe
Abschnitt 5.7).
VSM-EtherCAT-200116
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