Verwandte Anleitungen für thyracont VSM77E
Inhaltszusammenfassung für thyracont VSM77E
- Seite 1 V a c u u m I n s t r u m e n t s VSM77E, VSM78E, VSM79E Vakuum Transmitter Vacuum Transducer ®Registered trademark of Beckhoff Automation GmbH Betriebsanleitung Operating Instructions...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
5.7 Sensor Parameter ......6 Wartung und Service 7 Technische Daten 8 Konformitätserklärung Hersteller: Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max-Emanuel-Straße 10 D-94036 Passau Tel.: ++49/851/95986-0 E-Mail: info@thyracont-vacuum.com Internet: https://www.thyracont-vacuum.com... -
Seite 4: Hinweise Für Ihre Sicherheit
1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSM unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun- gen;... -
Seite 5: Vakuum Transmitter Vsm
2 Vakuum Transmitter VSM 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSM77E, VSM78E, VSM79E. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh- ne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören: Transmitter VSM... -
Seite 6: Produktbeschreibung
2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Transmitter VSM dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Medien im Bereich 5,0x10 - 1000 mbar. Er überträgt Messwerte und Daten per EtherCAT Schnittstelle und darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Kom- ponenten angeschlossen werden. Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra- gung (siehe Abschnitt 5.1). -
Seite 7: Installation
3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Starkes Magnetfeld! Das Gerät enthält starke Permanentmagnete. Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C ... +60 C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 C, max. 50% bei 40 C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-... -
Seite 8: Elektrischer Anschluss
Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann zur mechanischen Beschädigung führen! Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun- gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch- verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien herbeiführen! Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem... -
Seite 9: Ethercat Ecat Out / Ecat In
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker 2x M12, D-kodiert, 4polig, weiblich Pin1: Tx+ / Transmit Data + Pin2: Rx+ / Receive Data + Pin3: Tx- / Transmit Data - Pin4: Rx- / Receive Data - Falscher Anschluss kann zu Schäden am Transmitter führen! -
Seite 10: Betrieb
4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Transmitter VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisen- sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem Kaltkathoden-Ionisationssensor (invertiertes Magnetron). Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü- ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken- spannung ist ein Maß... -
Seite 11: Status Led
4.2 Status LED Die Status LED des VSM signalisiert folgende Betriebszustände: 4.3 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSM ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 160 C keinesfalls überschreiten. Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen! VSM-EtherCAT-200116... -
Seite 12: Kommunikation
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen. Danach den Gummistopfen wieder einset- zen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi- on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«. -
Seite 13: Die Ethercat Schnittstelle Des Vsm
5.2 Die EtherCAT Schnittstelle des VSM EtherCAT® ist eine eingetragene Marke und patentierte Technologie, lizensiert durch die Beckhoff Automation GmbH, Deutschland. Für die Kommunikation über die EtherCAT Schnittstelle existiert eine separate An- leitung, welche dem Gerät beiliegt. Die Beschreibung auf den folgenden Seiten bezieht sich daher auf die über RS485 ansprechbaren Parameter. -
Seite 14: Parameterübersicht
5.3 Parameterübersicht RS485 Command EtherCAT Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Adjust High (Atmosphere Pressure) Adjust Low (Zero Pressure) Sensor Transition... -
Seite 15: Geräte-Parameter Und Information
5.4 Geräte-Parameter und Information Type of Device (TD): Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSM207 Product Name (PN): Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer) Serial Number Device (SD): Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head (SH): Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device (VD): Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware (VF): Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts... -
Seite 16: Messwertabfrage
5.5 Messwertabfrage Measurement Range (MR): Abfragen des Messbereichs Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M4: Abfragen des aktuell vom Kaltkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei aus- geschalteter Kaltkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben. ) Nicht über EtherCAT ansprechbar 5.6 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. -
Seite 17: Sensor Parameter
5.7 Sensor Parameter Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST) Im VSM erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Kaltkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt. Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas- sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon- figuriert werden: »0«: Keine Wertangleichung, d.h. - Seite 18 Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1 / C4) Das Mess-Signal des VSM ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem entsprechende Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt werden.
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Seite 19: Wartung Und Service
»UR« via RS485 Messbereich (Druck liegt unterhalb der unterschritten Messgrenze) »ERROR1« via RS485 / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder Status LED dauer-rot defekt Sensor ersetzen Access Code »7« via Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte RS485 Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSM-EtherCAT-200116... - Seite 20 VSM-EtherCAT-200116...
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Seite 21: Technische Daten
7 Technische Daten Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode (Invertiertes Magnetron), gasartabhängig Messbereich 1000 - 5,0x10 mbar (750 - 5,0x10 Torr) Max. Überlast 10 bar abs. Genauigkeit 1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert 10 ... 2,0x10 mbar: 10% v. Messwert 2,0x10 ... - Seite 22 Spannungsversorgung 20 - 30 VDC Leistungsaufnahme max. 3 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT RS485 Schnittstelle 9,6 ... 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity Anschluss: M12 Rundsteckverbinder A-codiert, 5polig, weibl., verschraubbar EtherCAT Schnittstelle Anschluss: M12 Rundsteckverbinder D-codiert, 4polig, weibl., verschraubbar Vakuumanschluss VSM77: Kleinflansch DN25 ISO KF VSM78: Kleinflansch DN40 ISO KF...
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Seite 23: Konformitätserklärung
8 Konformitätserklärung VSM-EtherCAT-200116... - Seite 24 VSM-EtherCAT-200116...
- Seite 25 5.7 Sensor Parameters ......6 Maintenance and Service 7 Technical Data 8 Declaration of Conformity Manufacturer: Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max-Emanuel-Straße 10 D-94036 Passau Tel.: ++49/851/95986-0 email: info@thyracont-vacuum.com Internet: https://www.thyracont-vacuum.com...
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Seite 26: Safety Instructions
1 Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM;... -
Seite 27: Vacuum Transducer Vsm
2.1 For Orientation These operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSM77E, VSM78E, VSM79E. The article number can be found on the product’s type label. Technical modificati- ons are reserved without prior notification. 2.2 Delivery Content... -
Seite 28: Product Description
2.3 Product Description The VSM vacuum transducer is measuring total gas pressure in the range of 5.0x10 - 1000 mbar. Readings and data are transmitted via EtherCAT interface, the device must be connected to suitable components only. In addition the device has a serial RS485 interface for digital data transfer (see section 5.1). -
Seite 29: Installation
3 Installation 3.1 Notes for Installation Strong magnetic field! The gauge contains strong permanent magnets. Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed! Installation location: Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms: Temperature: +5 C ... +60 C Rel. -
Seite 30: Electrical Connection
When mounting the transducer avoid forced twisting or violent ope- ning. This can damage the transducer! Overpressure in the vacuum system > 1 bar Accidental or unintended opening of clamp elements under stress can lead to injuries due to parts flying around! Unsecured hose connections can release, process media thus can leak and possibly damage your health! Overpressure in the vacuum system 1.5 to 4 bar... -
Seite 31: Ethercat Ecat Out / Ecat In
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket 2x M12, D-coded, 4-pole, female Pin1: Tx+ / Transmit Data + Pin2: Rx+ / Receive Data + Pin3:... -
Seite 32: Operation
4 Operation 4.1 General Measurement Principle The VSM vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani / Cold Cathode. The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum. A sensor filament in a Wheatstone circuit is heated to a constant temperature, so the bridge voltage is a measure for total gas pressure. -
Seite 33: Status Led
4.2 Status LED The status LED of the VSM signalizes the following operational states: 4.3 Bake-Out When a bake-out of the vacuum chamber is performed with the VSM being moun- ted to the chamber, the temperature at the sensor flange must not exceed 160 C. The transducer’s voltage supply must be switched-off while the chamber is heated. -
Seite 34: Communication
Afterwards insert the rubber cap again. Communication telegrams are transmitted as ASCII text according to the Thyra- cont protocol version V2. Detailed information is provided in the separate descrip- tion »Thyracont Communication Protocol«. Download link: www.thyracont-vacuum.com/en/support/downloadcenter/ Interface Parameter: 9.6 / 14.4 / 19.2 / 38.4 / 57.6 / 115.2 kBd, 8 databits, 1 stopbit, no parity... -
Seite 35: The Ethercat Interface Of The Vsm
5.2 The EtherCAT Interface of the VSM EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beck- hoff Automation GmbH, Germany. A separate manual is delivered with the gauge describing the use of the EtherCAT interface. Hence, the description on the following pages refers to parameters accessible via RS485. -
Seite 36: Survey Of Commands
5.3 Survey of Commands Command RS485 EtherCAT Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Adjust High (Atmosphere Pressure) Adjust Low (Zero Pressure) -
Seite 37: Device Parameters And Information
5.4 Device Parameters and Information Type of Device (TD): Query of device type, e.g. VSM207 Product Name (PN): Query of product name (article number) Serial Number Device (SD): Query of device serial number Serial Number Head (SH): Query of sensor head serial number Version Device (VD): Query of the device’s hardware version Version Firmware (VF):... -
Seite 38: Measurement Query
5.5 Measurement Query Measurement Range (MR): Query measurement range of the gauge Measurement Value MV: Query current pressure measurement Measurement Value M1: Query current pressure measurement of the Pirani sensor Measurement Value M4: Query current pressure measurement of the cold cathode sensor. If the cold ca- thode sensor is switched off, error code »_ SEDIS«... -
Seite 39: Sensor Parameters
5.7 Sensor Parameters Sensor Transition (ST) By default the VSM performs a continuous transition between Pirani and cold ca- thode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out. In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process the following options can be configured by means of parameter »Sensor Transition«... - Seite 40 Gas Correction Factor (C1 / C4) The measurement signal of the VSM depends on type and composition of the gas being measured. The unit is adjusted for N and dry air. For other gases the pres- sure display can be corrected below 0.1 mbar by setting correction factors for both sensor types.
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Seite 41: Maintenance And Service
(pressure is below range limit) »ERROR1« via RS485 / defective electronics or send unit for repair or status LED cont. red sensor replace sensor access code »7« via error message / warning see separate RS485 documentation Thyracont Communication Protocol VSM-EtherCAT-200116... - Seite 42 VSM-EtherCAT-200116...
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Seite 43: Technical Data
7 Technical Data Measurement principle heat conduction Pirani / cold cathode (inverted magnetron), depending on gas type Measuring range 1000 - 5.0x10 mbar (750 - 5.0x10 Torr) Max. overload 10 bar abs. Accuracy 1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading 10 ... - Seite 44 Bake-out temperature max. 160 C at the flange (voltage supply switched-off) Voltage supply 20 - 30 VDC Power consumption max. 3 W, 0.8 W for EtherCAT RS485 interface 9.6 ... 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity Connector: M12 round type A-coded, 5-pole, female, lockable EtherCAT interface Connector: M12 round type D-coded, 4-pole,...
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Seite 45: Declaration Of Conformity
8 Declaration of Conformity VSM-EtherCAT-200116... - Seite 46 VSM-EtherCAT-200116...
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