thyracont VSM77E Betriebsanleitung Seite 25

Contents
1 Safety Instructions
2 Vacuum Transducer VSM
2.1 For Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2 Delivery Content . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3 Product Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3 Installation
3.1 Notes for Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2 Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.3 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.3.1 Voltage Supply / RS485 Interface . . . . . . . . . . . . . . .
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In . . . . . . . . . . . . . . . . .
4 Operation
4.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.2 Status LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.3 Bake-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5 Communication
5.1 The Serial Interface of the VSM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.2 The EtherCAT Interface of the VSM . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.3 Survey of Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.4 Device Parameters and Information . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.5 Measurement Query . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.6 Readjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5.7 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6 Maintenance and Service
7 Technical Data
8 Declaration of Conformity
Manufacturer:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
email: info@thyracont-vacuum.com
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSM-EtherCAT-200116
25
26
27
27
27
28
29
29
29
30
30
31
32
32
33
33
34
34
35
36
37
38
38
39
41
43
45