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Sensor Parameter - thyracont VSM77E Betriebsanleitung

Vakuum transmitter
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5.7 Sensor Parameter

Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST)
Im VSM erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und
Kaltkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas-
sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon-
figuriert werden:
»0«:
»1«:
D[p]:
F[p1] T[p2]:
Wertebereich:
) Nicht über EtherCAT ansprechbar
Kaltkathode aktivieren und deaktivieren - Cathode Control (CC)
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der Geräte-
elektronik automatisch gesteuerte Ein- und Ausschalten des Kaltkathoden-Sen-
sors zu unterdrücken.
Hierzu ist es möglich, den Sensor mithilfe des Geräte-Parameters »Cathode Con-
trol« (CC) per Softwarebefehl zu deaktivieren:
»0«:
Kaltkathode deaktiviert, kein Einschalten des Kaltkathoden-Sensors
»1«:
Kaltkathode aktiv, automatisches Ein- / Ausschalten des Kaltkathoden-
Sensors (Default)
Bei deaktivierter Kaltkathode verhält sich der VSM wie ein reiner Pirani-Transmitter
mit Messbereich 1000 - 1,0x10
rielle Schnittstelle ein »UR« Signal für Messbereichsunterschreitung ausgegeben.
Der Parameter »Cathode Control« wird nur temporär im Gerät ge-
speichert. Nach Ausfall oder Ausschalten der Spannungsversor-
gung befindet sich das Gerät immer im Modus »Kaltkathode ak-
tiv«.
Keine Wertangleichung, d.h. direktes Umschalten zwischen
Pirani und Kaltkathode bei 1,0x10
Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
-3
1,0 ... 2,0x10
mbar (Default)
Keine Wertangleichung, direktes Umschalten zwischen Pirani
und Kaltkathode beim Druck p
Kontinuierliche Wertangleichung im Druckbereich p1 ... p2
-4
p, p1, p2: 4,0x10
-4
mbar. Unterhalb 1,0x10
-3
mbar
-3
... 2,0x10
mbar
-4
mbar wird über die se-
VSM-EtherCAT-200116
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Diese Anleitung auch für:

Vsm78eVsm79e

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