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7 Technische Daten
Messprinzip
Messbereich
Max. Überlast
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Materialien mit
Vakuumkontakt
Anodenmaterial
Anodenspannung
Reaktionszeit
Betriebstemperatur
Lagertemperatur
Ausheiztemperatur
Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode
(Invertiertes Magnetron), gasartabhängig
-9
1000 - 5,0x10
mbar (750 - 5,0x10
10 bar abs.
1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
-3
10 ... 2,0x10
mbar: 10% v. Messwert
-3
2,0x10
... 1,0x10
-2
10 ... 1,0x10
mbar: ca. 2% v. Messwert
-2
1,0x10
... 1,0x10
Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas,
Molybdän, Al
O
Keramik
2
3
Molybdän
< 2,5 kV
50 ms (Einschalten Kaltkathode < 2 s)
5 ... 60 C
-40 ... +65 C
max. 160 C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
-9
-8
mbar: 25% v. Messwert
-8
mbar: ca. 7% v. Messwert
VSM-EtherCAT-200116
21
Torr)
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