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V a c u u m I n s t r u m e n t s VSR53E, VSR54E, VCR53E, VCR54E Vakuum Transmitter Vacuum Transducer ®Registered trademark of Beckhoff Automation GmbH Betriebsanleitung Operating Instructions...
1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSR/VCR unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbe- dingungen;...
2 Vakuum Transmitter VSR/VCR 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSR53E, VSR54E, VCR53E, VCR54E. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh- ne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören:...
2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Transmitter VSR dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me- dien im Bereich 1,0x10 - 1200 mbar. Der Transmittertyp VCR mit Pt/Rh Filament ist für den Einsatz in vielen Korrosivgas-Anwendungen geeignet und misst Abso- lutdruck im Bereich 5,0x10 - 1200 mbar.
3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C ... +60 C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 C, max. 50% bei 40 C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-...
Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun- gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch- verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien herbeiführen! Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten.
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker 2x M12, D-kodiert, 4polig, weiblich Pin1: Tx+ / Transmit Data + Pin2: Rx+ / Receive Data + Pin3: Tx- / Transmit Data - Pin4: Rx- / Receive Data - Falscher Anschluss kann zu Schäden am Transmitter führen!
4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Vakuum Transmitter des Typs VSR und VCR besitzen eine interne Kombination aus einem piezoresistiven Membransensor und einem Piranisensor, der die Wär- meleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Piezosen- sors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist.
4.2 Status LED Die Status LED des VSR/VCR signalisiert folgende Betriebszustände: 4.3 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSR/VCR ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 150 C keinesfalls überschreiten. Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen! VSR/VCR-EtherCAT-200616...
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen. Danach den Gummistopfen wieder einset- zen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi- on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
5.2 Die EtherCAT Schnittstelle des VSR/VCR EtherCAT® ist eine eingetragene Marke und patentierte Technologie, lizensiert durch die Beckhoff Automation GmbH, Deutschland. Für die Kommunikation über die EtherCAT Schnittstelle existiert eine separate An- leitung, welche dem Gerät beiliegt. Die Beschreibung auf den folgenden Seiten bezieht sich daher auf die über RS485 ansprechbaren Parameter.
5.3 Parameterübersicht RS485 Command EtherCAT Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 2 (Piezo) Adjust High (Atmosphere Pressure) Adjust Low (Zero Pressure) Sensor Transition...
5.4 Geräte-Parameter und Information Type of Device (TD): Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSR205 Product Name (PN): Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer) Serial Number Device (SD): Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head (SH): Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device (VD): Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware (VF): Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts...
5.5 Messwertabfrage Measurement Range (MR): Abfragen des Messbereichs Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M2: Abfragen des aktuell vom Piezosensor gemessenen Druckwertes ) Nicht über EtherCAT ansprechbar 5.6 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h.
5.7 Sensor Parameter Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST) Im VSR/VCR erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Piezobereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt. Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas- sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon- figuriert werden: »0«: Keine Wertangleichung, d.h.
»UR« via RS485 Messbereich (Druck liegt unterhalb der unterschritten Messgrenze) »ERROR1« via RS485 / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder Status LED dauer-rot defekt Sensor ersetzen Access Code »7« via Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte RS485 Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSR/VCR-EtherCAT-200616...