Pfeiffer Vacuum ASM 390 Betriebsanleitung Seite 74

Anhänge
WARTUNG
Auswahl
Information Pumpen Vorpumpe 1
HV-Pumpe 1
HV-Pumpe 2 (nur
ASM 392)
Ereignisspeicher
Kalibrierverlauf
Einlaufzyklus Funktionsstart
Wartung HV-Pumpe Funktionsstart
& Zelle
Letzte Wartung Wartungsarbeit 1
Wartungsarbeit 2
Wartungsarbeit 3
OPTIONEN
Auswahl
Einheit/Datum/Zeit/ Einheit
Sprache
Datum
Zeit
Sprache
Funktionstasten Einstellung
74
Aktiv
Status
Drehzahl
Synchro
ACP-Information Zugang zu allgemei-
nen Informationen
Status
Rotation
Drehzahl (U/min)
TMP-Information Zugang zu allgemei-
nen Informationen
Status
Rotation
Drehzahl (U/min)
TMP-Information Zugang zu allgemei-
nen Informationen
Datum
Anz. Stunden
Inspektion durch
Datum
Anz. Stunden
Inspektion durch
Datum
Anz. Stunden
Inspektion durch
Auswahl – Werks-
Einstellbereich einstellungen
- Ja
- Ein
- Mini
- Ja
- -
- Ein
- Synchro
- 90000
- -
- Ein
- Synchro
- 90000
- -
- Vakuum
- Vakuum
- -
- -
- -
- -
- -
- -
- -
- -
- -
- -
- -
Auswahl – Werks-
Einstellbereich einstellungen
mbar·l/s / Einstellung
3 erforderlich
Pa·m /s /
Torr·l/s /
atm·cc/s /
ppm /
sccm /
sccs
mtorr·l/s
mm/dd/yyyy Einstellung
erforderlich
hh:mm:ss Einstellung
erforderlich
Englisch /Französich / Einstellung
erforderlich
Deutsch /Italienisch /
Chinesisch /Japa-
nisch /Koreanisch /
Spanisch /Russisch /
- -