Pfeiffer Vacuum ASM 390 Betriebsanleitung Seite 73

SPEKTRO
Auswahl
Kalibrierleck Prüfgas
Typ
Einheit
Leckrate
Abnahme/Jahr (%)
Referenztemperatur (°C)
Temperaturkoeffizient (%/°c)
Kalibrierjahr
Temperatur intern (°C) (wenn Typ = intern)
Temperatur extern (°C) (wenn Typ = extern)
WARTUNG
Auswahl
Lecksucher
Zähler Lecksucher
Heizfaden 1
Heizfaden 2
Kalibrierleck
Testzyklen
Vorpumpe
HV-Pumpe 1
HV-Pumpe 2 (nur
ASM 392)
Information Messein- Zugang zu allgemeinen Informationen
heit
Zähler
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Zähler
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Zähler
Intervall
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Zähler (h)
Intervall (h)
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Zähler (h)
Intervall (h)
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Drehzahl (U/min)
Zähler (h)
Intervall (h)
Zähler zurücksetzen Funktionsstart
Drehzahl (U/min)
Auswahl – Werks-
Einstellbereich einstellungen
Helium 4 / Helium 4
Helium 3 /
Wasserstoff
Intern / Extern Intern
mbar·l/s / mbar·l/s
3
Pa·m /s /
Torr·l/s /
atm.cc/s /
ppm
- Siehe mitgeliefertes
Prüfzertifikat
0 - 99 6
0 - 99 23
0.0 - 9.9 3.0
- Siehe mitgeliefertes
Prüfzertifikat
- -
Auswahl – Werks-
Einstellbereich einstellungen
- 20
- 20
- 20
- -
- 0
- -
- Zu parametrieren
- 0
+19 5
1·10 - 1 5·10
- -
- 20
0 - 99999 17200
- -
20
17200
- -
- -
20
17200
- -
- -
- -
Anhänge
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