Pfeiffer Vacuum ASM 390 Betriebsanleitung Seite 4

Inhaltsverzeichnis
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7.8.12 Eingang/Ausgang: E/A Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
7.8.13 Menü SD Karte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
7.8.14 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
8 Wartung / Austausch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
8.1 Wartungsintervalle und -zuständigkeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
9 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
10 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
11 Technische Daten und Maßbilder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
11.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
11.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
11.3 Maßeinheiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
11.4 Maße. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
12 Anhänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
12.1 Baumstruktur der Menüs „Einstellungen" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Zertifikat UL 61010-1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
Zertifikat SEMI S2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82