Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Zu dieser Anleitung 1.3.2 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ►...
Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber weist darauf hin, dass das Produkt den Vorschriften für den Umgang mit Elektro- und Elektronik-Altgeräten unterliegt (siehe die EU-Konfor- mitätserklärung für Produkte). Typenschild Schnüffelsonde (Zubehör) Made in France Artikelnummer Seriennummer S/N : P/N : 1.3.4 Abkürzungen Eingang / Ausgang Helium 4 Helium 3...
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
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Sicherheit WARNUNG Stromschlaggefahr bei Kontakt mit Produkten, die nicht elektrisch isoliert sind Beim Abschalten – Netzschalter auf O – enthalten bestimmte Komponenten zwischen dem Netzan- schluss und dem Sicherungsautomaten weiterhin eine elektrische Ladung (stehen unter Spannung). Bei Kontakt besteht daher Stromschlaggefahr. ►...
Sicherheit 2.1.2 Sicherheitsmaßnahmen Informationspflicht zu möglichen Gefahren Der Halter oder Betreiber des Produktes ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen. Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Produk- tes befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen und befolgen.
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
Transport und Lagerung 3.3 Handhabung WARNUNG Quetschgefahr bei Handhabung des Produkts Durch das Gewicht des Produkts entsteht Quetschgefahr im Zuge der Handhabung und des Be- triebs. Der Hersteller ist unter keinen Umständen haftbar, wenn die folgenden Anweisungen nicht ein- gehalten werden: ►...
Transport und Lagerung 3.4 Lagerung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer Originalverpackung. Lagerung des neuen Produkts ► Lagern Sie das Produkt in einer sauberen und trockenen Umgebung und unter den erforderlichen Temperaturbedingungen (siehe Kapitel „Technische Daten“). ► Bei einer Lagerung über den Zeitraum von 3 Monaten hinaus können Faktoren wie Temperatur, Feuchtigkeit, salzhaltige Atmosphäre usw.
Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Lecksuchgerät ● 1 Dokumentationssatz (USB-Stick, Betriebsanleitung, laminierte Kurzanleitung für Lecksuchgerät) ●...
Produktbeschreibung 4.3 Beschreibung der Steuereinheit 1 Touchscreen ZERO-Taste 2 Zugriffstaste für Bildschirm Anschluss Verbindungskabel Lecksuchgerät 3 START/STOP-Taste Fixiermagnet (4x) 4 CAL-Taste 4.4 Beschreibung der Schnüffelsonde Die Schnüffelsonde ist ein Zubehörteil (auf Kosten des Benutzers). Die Schnüffelsonde ist nicht im Lieferumfang des Lecksuchgeräts enthalten. Die Schnüffelsonde ist für die Verwendung des Lecksuchgeräts unabdingbar.
Produktbeschreibung Darstellung Status EIN, durchgehend, zwei Farben z. B. durchgehend grün und orange EIN, blinkend z. B. grün blinkend EIN, Scan einer LED nach der anderen z. B. 1. durchgehende Farbe, dann 2. durchgehende Farbe, Farbe variiert Tab. 1: LED-Anzeige-Codes der Schnüffelsonde 4.5 Beschreibung des Testlecks Das Testleck ist ein Zubehörteil (auf Kosten des Benutzers).
Installation 5 Installation 5.1 Installation des Lecksuchgeräts HINWEIS Lecksuchgerätentlüftung Bei schlechter Entlüftung besteht die Gefahr, dass die internen Komponenten des Lecksuchgeräts durch Erwärmung geschädigt werden. ► Die Betriebsumgebungstemperatur muss stets eingehalten werden. ► Lüftungsgitter nicht abdecken. ► Die Lüftungsgitter sollten regelmäßig gereinigt werden. ►...
Installation Am Lecksuchgerät befindet sich eine bequem erreichbare Aufnahme speziell für das Testleck. Diese Aufnahme ist mit einer Abdeckung versehen. Die Unterbringung des Testlecks in dieser Aufnahme ist optional. 1. Konfigurieren Sie das Testleck (siehe Kapitel „Parameter Prüfleck“). 5.4 Elektrische Anschlüsse WARNUNG Gefahr eines Stromschlags aufgrund von nicht konformen elektrischen Anlagen Dieses Produkt verwendet Netzspannung für seine Stromversorgung.
Inbetriebnahme 6 Inbetriebnahme 6.1 Vorsorgemaßnahmen für die Verwendung Bei jeder Inbetriebnahme: ► Die Sicherheitshinweise beachten. ► Überprüfen, dass das Gerät richtig angeschlossen wurde. ► Sicherstellen, dass sich das Lecksuchgerät in nicht mit dem Prüfgas kontaminierter Umgebung befindet. Das Gesamtgewicht der Teile, des Zubehörs usw. im Aufbewahrungsfach darf 5 kg nicht überschreiten. 6.2 Lecksuchgerät in Betrieb nehmen 1.
Betrieb 7 Betrieb 7.1 Voraussetzungen für eine optimale Messung Zur Optimierung der Messgeschwindigkeit: ► Ausschließlich saubere und trockene Teile/Anlagen testen, die keine Spuren von Wasser, Dampf, Farben, Reinigungsmitteln oder Spülprodukten aufweisen. ► Sicherstellen, dass der Prüfbereich nicht durch Prüfgas verunreinigt ist. ► Es sollten keine Informationsmeldungen angezeigt sein. ●...
Betrieb Integrale Prüfung (A) Lokalisierende Prüfung (B) Der Prüfling wird in eine Kammer Die Schnüffelsonde wird über die Bereiche bewegt, bei denen platziert, in der sich eine Schnüffel- Lecks erwartet werden. sonde befindet. Die Position des Lecks kann gefunden werden. Die Position des Lecks kann nicht Das Lecksuchgerät misst das Leck nicht direkt.
Betrieb Art der Stö- Steuereinheit Schnüffelsonde rung Warnung Tippen Sie auf das Pikto- Modus „Bereit“ gramm i Next, um die Störung ● LED-Status anzuzeigen. ● LED-Balkenanzeige Modus „Messung“ ● LED-Status ● LED-Balkenanzeige Farbe entsprechend Schaltpunktwert Störung Nachrichtenanzeige ● LED-Status ● LED-Balkenanzeige Tippen Sie auf das Pikto- gramm i Next, um die Störung anzuzeigen.
Betrieb 1. Überprüfen Sie dabei die folgenden Einstellungen (Zugriff: Menü [Messen]). ● Das eingestellte Prüfgas muss dem Prüfgas im Testleck entsprechen. ● Der Name des gewählten Testlecks muss dem verwendeten Testleck entsprechen. ● Die Informationen zum verwendeten Testleck müssen den Informationen in der Steuereinheit entsprechen.
Betrieb 1 Hauptbildschirm [Home]: Informationen zum Fenster Grafik: Überwachung und Aufzeich- laufenden Test nung der Leckrate Die hier dargestellten Bildschirminhalte dienen lediglich als Beispiel. Je nach den Einstellungen Ihres Lecksuchgeräts kann das Display anders aussehen. ► Ziehen Sie nach der Lieferung den Schutzfilm vom Touchscreen ab. ►...
Betrieb Symbol Beschreibung Zugriff auf Fehler-/Warnmeldung [ i Next ] in den Anweisungen Konfigurationstool ● Der grüne Schieber zeigt den eingestellten Wert an. ● Um diesen Wert zu erhöhen/senken, Tippen Sie rechts/ links vom Cursor. Zugriff auf die Einstellungsmenüs Zurück zum Startbildschirm [ X ] in den Anweisungen Änderung speichern [ ✔...
Betrieb Ziffer Funktion Piktogrammna- me in der Be- triebsanleitung Prüfgas Digitale Leckratenanzeige Grauer Bildschirm: Lecksuchgerät im Modus „Bereit“, keine Leckrate an- gezeigt (-·-·10 Die Bildschirmfarbe ändert sich je nach Testergebnis: ● Grüner Bildschirm: Die gemessene Leckrate liegt unterhalb des Schaltpunkts ●...
Betrieb Ziffer Funktion Piktogrammna- me in der Be- triebsanleitung Digitale Leckratenanzeige COR-Anzeige: Korrekturfaktor angewendet Einheit der Leckrate Aktueller Status des Lecksuchgeräts Zugang zu Kommentaren COMMENTS Gesamtdauer der Aufzeichnung Aufzeichnung starten/unterbrechen START REC Aufzeichnung beenden STOP REC Balkenanzeige das Lecksuchgerät ● Grüne Balkenanzeige: die gemessene Leckrate liegt unterhalb der Warnschwelle ●...
Betrieb Zugriff: Tippen Sie auf den Bildschirm, um die Anzeigeeinstellungen aufzurufen. Auswahl – Ein- stellbereich Auto Bereichswahl Zur Aktivierung Aktiv Mit der automatischen Bereichswahl kann die gemessene Leckrate auf 2 oder 4 Inaktiv Dekaden zentriert angezeigt werden. Die Skala ist von der gemessenen Leckra- te abhängig.
Betrieb 6. Wiederholen Sie die vorangehenden Schritte so oft wie nötig. 7. Tippen Sie das Piktogramm STOP REC, um die Aufzeichnung zu beenden. Die Meldung „Datenaufnahme beenden und speichern“ wird angezeigt. ● Um fortzufahren, kehren Sie zur laufenden Aufzeichnung zurück (die bereits gespeicherten Messungen bleiben erhalten): tippen Sie hierzu [Abbrechen].
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Betrieb 1 Taste zum Speichern einer .csv-Datei: [EXPORT ALS *.CSV-DATEI] Zeitachse 2 Taste zum Löschen des Bildschirms: [GRAPH LÖSCHEN] Sie können die Historie jederzeit abrufen oder einen Ausschnitt daraus vergrößern, ohne die laufende Aufzeichnung zu beenden, indem Sie den Grafikbildschirm doppelt antippen. 1.
Betrieb 1. Rufen Sie das Menü [Dateimanager] auf. 2. Wählen Sie den Speicherort ([Interner Speicher] oder [USB-Stick]) für die anzuzeigende Datei aus. 3. Wählen Sie die einzusehende Datei (.csv). 4. Tippen Sie auf [ÖFFNEN]. ● Die gespeicherten Messungen werden nicht direkt sondern über einen Verlauf entsprechend der gespeicherten Messungen angezeigt.
Betrieb 7.9.8 Funktionstastenleiste Die Funktionstastenleiste dient dazu, Einstellungen einzusehen, Menüs aufzurufen (Shortcut) und Handlungen direkt auszulösen. Sie besteht aus zwei Teilen: ● Rechts sind 5 Funktionstasten permanent angezeigt: ─ [STUMM] ─ [SIGNALTON] ─ [PRÜFGAS] ─ [SCHALTPUNKT] ─ [KORREKTURFAKTOR] ● Links sind zusätzliche Funktionstasten nicht-permanent angezeigt: ─...
Menü Einstellungen 8 Menü Einstellungen Das Menü Einstellungen ermöglicht die Konfigurierung des Produkts für bestimmte Einsätze. Die Funktionen des Menüs „Einstellungen“ sind in 6 Menüs unterteilt. ► Tippen Sie das Piktogramm SETTINGS an der Steuereinheit (siehe Kapitel „Hauptbildschirm (Ho- me)“ oder „Fenster Grafik“). Funktionen nach Menü...
Menü Einstellungen XXXXXXXX 1 Digitalanzeige der Leckrate und deren Einheit COR-Anzeige: Korrekturfaktor aktiv 8.1 Menü Messen 8.1.1 Prüfgas Über dieses Menü wird das Prüfgas gewählt. Zugriff: Menü [Messen] [Prüfgas] Auswahl – Einstellbereich Prüfgas Zur Auswahl Helium 4 Beim Test wird nach dem gewählten Prüfgas gesucht. Helium 3 Wasserstoff 1) Standardeinstellungen: siehe Kapitel „Baumdiagramm des Menüs Einstellungen“...
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Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Messen] [Schaltpunkte] Auswahl – Einstell- bereich Methode Schnüf- Zur Auswahl Lokalisierung feln ● Lokalisierung Dicht-Undicht ─ Lokalisiert ein Leck ─ Dabei ist es möglich, den Schaltpunkt, aber nicht die Warnschwelle zu berücksichtigen. ● Dicht-Undicht ─ Stellt den Wert eines Lecks fest ─...
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Menü Einstellungen Testergebnis Display Display Steuereinheit Schnüffelsonde Leckrate liegt unter der Bildschirm: grün LED-Balkenanzeige oder Warnschwelle je nach Schaltpunkteinstel- Balkenanzeige: weiß lung Grafik: weiße Linie LED-Status Leckrate liegt zwischen Bildschirm: grün LED-Balkenanzeige Warnschwelle und Schalt- Balkenanzeige: orange LED-Status punkt Grafik: orangefarbene Linie Leckrate liegt über dem Bildschirm: rot LED-Balkenanzeige...
Menü Einstellungen Die nachstehende Tabelle stellt die angezeigte Leckrate mit dem jeweils angewendeten Korrekturfaktor dar. Z. B. Angezeigte Leckrate mit Testleck von 1 · 10 mbar · l/s (1 · 10 Pa · m /s) (mit 100% % He im ver- 100 % 50 % wendeten Gas...
Andere Parameter Muss je nach gewähltem Hersteller eingestellt werden Details siehe unten. 1) Standardeinstellungen: siehe Kapitel „Baumdiagramm des Menüs Einstellungen“ Parameter für „Pfeiffer Vacuum“ Hersteller Zugriff: Menü [Messen] [Parameter Prüfleck] [Parameter] Auswahl – Einstellbereich PV Code Prüfleck Zum Ausfüllen Mit diesem Code werden die Parameter des codierten Testlecks auto- matisch erfasst und gespeichert.
Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Schnüffelsonde] [Einheit Durchfluss Sonde] Auswahl – Ein- stellbereich Einheit Durchfluss Zur Auswahl Sonde Die Durchflussanzeige stellt den aktuellen Durchfluss der Sonde im Ver- sccm gleich zu einer neuen Sonde dar. So kann beispielsweise festgestellt werden, wann ein Sondenfilterwechsel ansteht.
Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Konfiguration] [Lautstärke] Auswahl – Einstellbe- reich Lecksucher Zur Aktivierung Aktiv Der Signalton am Lecksuchgerät weist den Bediener darauf hin, dass der Schaltpunkt Inaktiv überschritten wurde. Zur Einstellung 0 – 9 Pegel 9 = 90 dBA Syn. Stimme Zur Aktivierung Aktiv Über die Sprachausgabe wird der Bediener über den Zustand des Lecksuchgeräts...
Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Konfiguration] [Bildschirmeinstellungen] Auswahl – Einstellbe- reich Helligkeit Zur Einstellung 0 – 20 Parameter Balkenanzeige Details siehe unten. Anzeigeeinstellungen zurücksetzen Aufzurufende Funktion Diese Funktion dient dazu, die Standardeinstellungen der Steuereinheit zu laden. 1) Standardeinstellungen: siehe Kapitel „Baumdiagramm des Menüs Einstellungen“ Einzelheiten zu den Parametern der Balkenanzeige Über dieses Menü...
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Menü Einstellungen Die in den nachstehenden 2 Tabellen definierten Berechtigungen stellen die Standardberechtigungen für jede Berechtigungsstufe dar. Diese Berechtigungen können angepasst werden: sie können zugewiesen/entzogen werden (siehe Ka- pitel „Zugang – Passwort“). Standardberechtigun- Autorisierung gen für das Lecksuch- Eingeschränkter Mittel Voll gerät Tasten START/STOP,...
Menü Einstellungen 8.4 Menü Wartung 8.4.1 Historie Über diese Funktion können Sie den Ereignisspeicher und Kalibrierverlauf einsehen. Ereignisspeicher Ereignisse sind Störungen (Exxx), Warnungen (Wxxx) und Informationen (Ixxx). Der Ereignisspeicher zeichnet die eingetretenen Ereignisse auf. Zugriff: Menü [Wartung] [Historie] [Ereignisspeicher] 1 Fortlaufende Nummer des Ereignisses Code des Ereignisses 2 Datum und Uhrzeit des Ereignisses Beschreibung des Ereignisses...
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Menü Einstellungen Für Schnellzugriff vom Hauptbildschirm aus verwenden Sie die Funktionstaste [INFORMA- TION]. Informationen Messeinheit Erinnerung: in diesem Menü nur zur Einsicht Zugriff: Menü [Wartung] [Information] [Lecksucher] Zähler Betriebsstunden des Lecksuchgeräts Datum und Uhrzeit Datum und Uhrzeit Softwareversion LCD Information zur Firmware der Steuereinheit Softwareversion CPX Informationen zur Firmware des Lecksuchgeräts Softwareversion CEN...
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Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Wartung] [Information] [Spektrometerzelle] Status Analysenzelle Nur lesbar Leistungsanzeige der Spektrometerzelle für den verwendeten Heizfaden ● Standardeinstellung: zwischen 90 % und 100 % ● Normalbetrieb: zwischen 10 % und 100 % Durch die normale Abnutzung an einigen Zellbestandteilen wird dieser Wert im Laufe der Zeit reduziert, ohne dass dabei die Messgenauigkeit des Lecksuchgeräts beeinträchtigt wird.
Menü Einstellungen 8.4.3 Letzte Wartung Diese Funktion zeigt die letzte Wartung an, die am Lecksuchgerät vorgenommen und vom Techniker dokumentiert wurde. Die Nachricht „Keine Wartung durchgeführt“ wird angezeigt, wenn keine Wartung dokumentiert ist. Erinnerung: in diesem Menü nur zur Einsicht Zugriff: Menü [Wartung] [Letzte Wartung] Datum Datum des Wartungseingriffs Name Prüfer...
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Menü Einstellungen ● Falls Sie das Lecksuchgerät für verschiedene Anwendungen einsetzen, empfehlen wir, dass Sie für jede Anwendung eine Bibliothek mit den entsprechenden Konfigurationen erstellen. ● Dafür kann, unabhängig von der Speichergröße, ein marktüblicher USB-Stick mit FAT-32-Format verwendet werden. 1 Gespeicherter Ordner bzw. gespeicherte Datei Navigationstools 2 Datum und Uhrzeit der Speicherung Im gewählten Medium (USB-Stick oder in-...
Menü Einstellungen Zugang zum Navigations- und Bearbeitungsmodus 1. Tippen Sie auf ein Objekt (Ordner oder Datei). Dieser wird rot markiert. Im Modus „Navigation“ wird jedes ausgewählte Objekt rot markiert dargestellt. 2. Tippen Sie auf dieses Objekt (Ordner oder Datei), bis es grün angezeigt wird. Der Modus „Bear- beiten“...
Menü Einstellungen Zugriff: Menü [Extras] [Eingang / Ausgang] dann [Seriell Schnittstelle 1] oder [Seriell Auswahl – Einstellbereich Schnittstelle 2] Zur Auswahl Seriell Schnittstellentyp nach Verwendung: siehe die jeweilige Betriebsanlei- Nicht benutzt tung des Zubehörs/der Option. Anybus Modus Zur Auswahl Basis Schnittstellenmodus nach Verwendung: siehe die jeweilige Betriebsan- Tabelle leitung des Zubehörs/der Option.
Wartung/Austausch 9 Wartung/Austausch Wartungsintervalle und- zuständigkeiten Die am Lecksuchgerät durchzuführenden Wartungsarbeiten werden in den Wartungsanweisungen für das Lecksuchgerät beschrieben. Hier finden Sie Informationen zu: ● Wartungsintervallen, ● Wartungsanweisungen, ● Stilllegung des Produkts, ● Werkzeugen und Ersatzteilen. 55/70...
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
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6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemein Grundlegende Daten für technische Eigenschaften des Lecksuchgeräts von Pfeiffer Vacuum: ● Technische Eigenschaften nach Norm: ─ AVS 2.3: Verfahren zum Kalibrieren von Gasanalysegeräten des Typs Massenspektrometer ─ EN 1518: Zerstörungsfreie Prüfung. Dichtheitsprüfung. Charakterisierung von massenspekt- rometrischen Leckdetektoren ─...
Anhang 13 Anhang 13.1 Baumdiagramm des Menüs Einstellunge Die folgenden Tabellen zeigen die Standardeinstellungen des Lecksuchgeräts. Beim Ausschalten des Lecksuchgeräts bleiben alle Werte und Parametereinstellungen für die nächste Inbetriebnahme erhalten. Menü [MESSEN] Auswahl – Einstellbereich Prüfgas Helium 4 Helium 3 Wasserstoff Schaltpunkte Methode Schnüffeln Lokalisierung Dicht-Undicht...
Anhang Menü [WARTUNG] Auswahl – Einstell- bereich Historie Ereignisspeicher Kalibrierverlauf Information Lecksucher Zugriff auf allgemeine Informationen Spektrometerzelle Zugriff auf allgemeine Informationen Heizfaden zurücksetzen Funktionsstart Vorpumpe Zugriff auf allgemeine Informationen Heizfaden zurücksetzen Funktionsstart Hochvakuumpumpe Zugriff auf allgemeine Informationen Heizfaden zurücksetzen Funktionsstart Letzte Wartung Zugriff auf allgemeine Informationen Betriebsstunden bis zur nächsten...