Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Dieses Wartungshandbuch richtet sich an die Kunden der Firma Pfeiffer Vacuum. Es be- schreibt die Wartungsvorgänge, die der Nutzer am betreffenden Produkt vornehmen kann. Diese Dokumentation muss zusammen mit der Betriebsanleitung des gleich- namigen Produkts verwendet werden.
Konventionen 1.2.1 Sicherheitshinweise Die in den Handbüchern für Produkte von Pfeiffer Vacuum enthaltenen Sicherheitshin- weise richten sich nach den Zertifizierungsnormen UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 und DIN 4844. Das vorliegende Dokument gibt Auskunft über folgende Gefahren- stufen und Hinweise:...
Zu dieser Anleitung 1.2.2 Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument 1.2.3...
Produkts zur Verfügung zu stellen. HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum lehnt jegliche Haftung für Materialschäden, Betriebsstörungen und kör- perliche Schäden ab, die darauf zurückzuführen sind, dass Wartungsarbeiten von ei- nem Techniker durchgeführt wurden, der nicht in die Sicherheitsvorschriften eingeführt wurde (EMV, elektrische Sicherheit, chemische Verunreinigung).
Sie bitte das Kundendienstverfahren und füllen Sie die Kontaminations- erklärung auf unserer Website aus. ● Verwenden Sie bitte für die Rücksendung des Produkts in ein Pfeiffer Vacuum Ser- vicezentrum die Originalverpackung: Der Hersteller lehnt jegliche Haftung für Schä- den ab, die auf den Transport in einer nicht geeigneten Verpackung zurückzuführen...
Sicherheit und Informationen bezüglich der Wartung WARNUNG Verbrennungsgefahr Die Produkte sind so ausgelegt, dass normalerweise keine Gefährdung des Benutzers durch Hitze auftreten kann. Unter bestimmten Betriebsbedingungen können jedoch Temperaturen entstehen, die besondere Aufmerksamkeit erfordern (Oberflächen > 70 °C bei an den Innenseiten der Abdeckungen angebrachten Teilen). Vor dem Eingriff am Gerät abwarten, bis es abgekühlt ist.
(7) Internes Kalibriermodul als Option / Zube- OS = Vor Ort II = Technischer oder geschulter Benutzer hör WS = Im ServiceCenter Pfeiffer Vacuum. III = ServiceCenter Verfolgung der Wartungszeiten Die Zähler der Molekularpumpe informiert den Bediener über die Notwendigkeit durch-...
Wartung / Austausch Wartung / Austausch Zugang zu den Komponenten der Elektronikbox Es wird empfohlen, die Elektronikbox für alle Wartungsarbeiten aus der Anlage des Kun- den zu entnehmen. 4.1.1 Werkzeug ® ● Im Wartungsset enthaltener Torx -Schraubendreher 4.1.2 Vorgehensweise Das Lecksuchgerät ausschalten (Sicherungsautomat auf O gestellt, Steuereinheit ausgeschaltet und Netzkabel von der Stromversorgung getrennt).
Wartung / Austausch Bei Eingriffen im Inneren des Moduls muss das Modul in bestimmten Fällen in die 'War- tungs'-Position gebracht werden (Kippen des oberen Teil des Moduls). Die 'Wartungs'-Position wird wie folgt hergestellt. Die 4 Befestigungsschrauben herausdrehen (1) und die 2 Schrauben (2) leicht lösen. Den oberen Teil des Moduls um 90°...
Zur Gewährleistung der Zuverlässigkeit des Tests wird zur Überprüfung seiner Leckrate dennoch eine regelmäßige Kalibrierung jedes Lecks empfohlen (nach 2 Jahren): Dies gilt sowohl für interne als auch für externe Kalibrierlecks. Senden Sie ein gebrauchtes Leck zwecks Neukalibrierung an Ihr Pfeiffer Vacuum-Ser- viceCenter. 4.3.3...
Wartung / Austausch 4.4.2 Austausch der Dichtungen Kontrollieren Sie den Zustand der Dichtungen, wenn Sie einen Eingriff an der Spekt- rometerzelle (z. B. Austausch eines Heizfadens) vornehmen: Dichtungen ggf. austau- schen. Abb. 2: Austausch der Dichtungen Die Spektrometerzelle aus dem Lecksuchgerät nehmen (siehe 4.4.1). Die 2 Dichtungen (3) austauschen.
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Wartung / Austausch Abb. 4: Positionierung des Heizfadens Setzen Sie den neuen Heizfaden in seinen Sitz auf die 2 Zentrieranschläge (7). Be- festigen Sie den Heizfaden mit der mitgelieferten Schraube (4) und der Unterlegschei- ® be mit Hilfe des Torx -Schraubendrehers.
Wartung / Austausch Wartung der Turbomolekularpumpe WARNUNG Verbrennungsgefahr an den heißen Oberflächen Während des Betriebs können einige mechanische Teile hohe Temperaturen erreichen. Wenn das Lecksuchgerät kürzlich verwendet wurde: Vor Eingriffen an der Turbomolekularpumpe mindestens 10 Minuten abkühlen las- sen. Gegebenenfalls Schutzhandschuhe gemäß der Norm EN 420 anlegen. 4.5.1 Auswechseln des Stellrads Zum Schutz der Turbomolekularpumpe vor ungewolltem Lufteinlass kann das Stellrad...
Wartung / Austausch – Das Stellrad (oder die Schraube) nicht regelmäßig, sondern ausschließlich zur Wartung benutzen. Eine zu häufige Benutzung kann Lecks verursachen. Das Modul falls erforderlich 10 Minuten lang abkühlen lassen. Das Modul senkrecht positionieren, der Zugang zum Innenraum der Pumpe (2) befin- det sich oben.
Wartung / Austausch Verschlussdeckel 7 an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E her- ausschrauben. Auf O-Ring 305 achten. Betriebsmittelspeicher mit Hilfe zweier Schraubendreher herausheben. Poroplast-Stäbe (8x) mit Hilfe einer Pinzette herausnehmen. Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fus- selfreien Tuch entfernen.
Wartung / Austausch Den Kabelkamm (5) des Lüfters (V1) abklemmen. Filter entfernen (1). Lösen Sie die 4 Befestigungsschrauben (2) des SChutzgitters (3). Die Metallklam- mern (4) des alten Lüfters aufbewahren. Einen neuen Lüfter unter Beachtung der Einbaurichtung (Pfeile) positionieren. Die 4 Metallklammern (4) an den Ecken des Lüfters anbringen. Das Schutzgitter (3) wieder einsetzen.
Wartung / Austausch Das Schutzgitter (4) aufbewahren. Einen neuen Lüfter unter Beachtung der Einbaurichtung positionieren. Das Schutzgitter (4) wieder einsetzen. Die Baugruppe mit den 4 Befestigungsschrauben (3) befestigen. Den Kabelkamm (1) des Lüfters unter Beachtung der Pole (+) und (-) anschließen. Wartung des Luftfilters 4.7.1 Austausch des Luftfilters...
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Wartung / Austausch Die 4 Befestigungsschrauben (1) herausschrauben. Das Schnüffelmodul (2) entfernen. Die Dichtung (3) der Fluss-Reduziervorrichtung (4) entfernen: die Dichtung aufbewah- ren. Die Dichtung (3) in die neue Fluss-Reduziervorrichtung (4) einsetzen. Die neue Fluss-Reduziervorrichtung mit ihrer Dichtung einrichten. Überprüfen, dass die Dichtung (5) immer noch auf dem Lecksuchmodul positioniert ist.
Außerbetriebnahme Außerbetriebnahme Stillsetzen für längere Zeit Soll das Lecksuchgerät nach der Verwendung für eine längere Zeit nicht genutzt werden, empfehlen wir die folgenden Maßnahmen: Das im Kapitel Längere Lagerung in der Betriebsanleitung beschriebene Verfahren für längere Nichtverwendung anwenden. Das Lecksuchgerät in seiner Originalverpackung oder unter seiner Schutzhülle auf- bewahren.
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Außerbetriebnahme Die Verpflichtung des Herstellers zur Rücknahme von Elektro- und Elektronikgeräten gilt nur für von Pfeiffer Vacuum verkaufte als „adixen“ oder „Pfeiffer Vacuum“ gekennzeich- nete Produkte: – Unter die geltenden Bestimmungen hinsichtlich des Recyclings von Altgeräten fallen- de Elektro- und Elektronikgeräte –...
Störungen Störungen Was im Fehlerfall geschieht Auf dem Bildschirm des Lecksuchgerät können jederzeit Warn- oder Fehlermeldungen angezeigt werden. Abb. 8: Standard-Bildschirm mit Warnung [i Next] 7.1.1 Anzeige einer Warn- / Störungsmeldung Zum Anzeigen des Fehlers auf die Taste drücken. Niveau 1: Warnung Drücken Sie auf die Taste [i Next], um die Wartungsinformation anzuzeigen.
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Störungen Ebene Code RS-232 Information Stïrung Evak.pumpe Test Modus Ausfall Dynam.Kalib.gescheitert Typ / Stecker Sonde w145 Wartung erforderlich w150 Wartung Vorpumpe w155 Wartung Vorpumpe w160 Wartung Turbopumpe w180 Leitung Nr. 2 austauschen w181 Leitung Nr. 1 austauschen w182 Keine Sendung auf Leitung2 w183 Keine Sendung auf Leitung1 w202...
Störungen Ebene Code RS-232 Information Temperatur zu hoch Temperatur zu niedrig W230 Autokal erfoderlich W255 Außerh. Startbedingungen Leitfaden für die Störungsbehebung Der Leitfaden für die Störungsbehebung ermöglicht die Behebung von Fehlfunktionen, die auf der Steuereinheit des Lecksuchgeräts erscheinen oder am Lecksuchgerät zu se- hen sind.
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Störungen Wählen Sie die gewünschte Navigationssprache (1). Wählen Sie das Produkt und das entsprechende Schlagwort (2). Starten Sie die Suche (3). Wählen Sie ein Symptom (4): Es erscheinen der Ursprung und die Diagnose dieses Symptoms (5).
Transportbedingungen einschicken. Bei Fehlen bzw. Unvollständigkeit der Erklärung zur Kontaminierung und/oder dem Ein- satz einer nicht geeigneten Transportverpackung, behält es sich Pfeiffer Vacuum vor eine kostenpflichtige Dekontamination durchzuführen und/oder das Produkt zu Lasten des Versenders wieder zurück zu schicken.
Ersatzteile Ersatzteile Ersatzteile für den Vertrieb, nach Funktionen geordnet, werden in diesem Kapitel aufge- führt. Standardwerkzeug Rep. Qté Désignation Ref. Designation Beschreibung Teil Menge Accessoires de raccordement Clé emmanchée Connection accessories Box-shank nut spinner Rohrsteckschlüssel mit Heft Verbindungzubehör Tournevis pour vis TORX ®...
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.